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一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件制造技术
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下载一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件的技术资料
文档序号:2481617
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本实用新型涉及一种避免钨坩埚体和盖在高温下粘结的组件。为了解决用高温气相法制备金属氮化物晶体材料时钨坩埚体和盖的粘结问题,本实用新型通过在钨坩埚体和盖之间放置合适大小的石墨环,在高温条件下石墨环将和其相接触的钨坩埚体和盖的表面发生碳化反应,...
该专利属于深圳大学所有,仅供学习研究参考,未经过深圳大学授权不得商用。
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