一种电子级吡唑的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种电子级吡唑的制备方法，包括以下步骤：1)将工业级吡唑、氨羧络合剂、高纯水混合后加热搅拌溶解；2)将上一步骤得到的混合物进行蒸馏，得到提纯后的吡唑产品。与现有技术相比，本发明专利技术的优点在于：使用本发明专利技术的制备方法，可以得到各种金属离子浓度均小于30ppb的吡唑，满足了电子级试剂对杂质含量的要求；而且该方法简单易行，成本低，效率高，可以进行批量生产。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级吡唑的制备方法
本专利技术涉及化合物制备领域，尤其涉及一种电子级吡唑的制备方法。
技术介绍
电子级试剂是集成电路行业必不可少的原料之一，随着集成电路的飞速发展，电子级试剂需求越来越高，品类越来越多，当前主流半导体工艺技术为28nm，尖端已经达到7nm工艺，对应的电子级试剂要求也达到了相应提高，因此逐渐成为限制集成电路发展的因素之一。目前，生产电子级试剂的方法，一般是采用对应的工业级产品为原料，通过后处理提纯除去原料中的目标杂质。通常，试剂可以按其沸点分为低沸点试剂和高沸点试剂。低沸点试剂(即熔点低于或者接近室温)的提纯方法较多，而高沸点试剂，尤其是熔点高于室温的高沸点试剂，其在常温下为固体，所以在无溶剂的情况下，络合搅拌、过离子柱时均会有固体析出，导致上述步骤无法进行。如果配置成水溶液，后续需要将化合物与水分离，在分离过程中试剂中可能再次混入杂质。吡唑作为一种高沸点试剂，市场上可以买的到的吡唑(工业级吡唑)杂质含量为ppm级别，而电子级吡唑的杂质含量为ppb级别，这种电子级吡唑的生产制备方法，国内外的文献、专利报道较少本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子级吡唑的制备方法，包括以下步骤：/n1)将工业级吡唑、氨羧络合剂、高纯水混合后加热搅拌溶解；/n2)将上一步骤得到的混合物进行蒸馏，得到提纯后的吡唑产品。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子级吡唑的制备方法，包括以下步骤：
1)将工业级吡唑、氨羧络合剂、高纯水混合后加热搅拌溶解；
2)将上一步骤得到的混合物进行蒸馏，得到提纯后的吡唑产品。


2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，
所述氨羧络合剂包括亚氨基二乙酸、氨基三乙酸、乙二胺四乙酸、丙二胺四乙酸、二乙三胺五乙酸、三乙四胺六乙酸、环己二胺四乙酸中的一种或多种。


3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，
所述吡唑与氨羧络合剂的质量比为100:0.01至100:1。


4.根据权利要求1所述的制备方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁姜宏，刘兵，彭洪修，肖林成，赵鹏，
申请(专利权)人：安集微电子科技上海股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31