一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造技术领域，主要由炉体（１１），置于炉体（１１）内的保温笼体（５），置于保温笼体（２）上部的保温顶板（４）、下部带支柱（１０）的保温底板（６），置于保温笼体（５）内固定于保温顶板（４）上的加热器（３），固定于支柱（１０）顶部带坩埚（９）的热交换台（７），置于加热器（３）和热交换台（７）之间的保温环条（１）等构成。由保温笼体与保温底板、保温顶板构成一个封闭的热场腔室，并由保温环条将热场腔室分成上下两部分，使之在腔体内形成一个垂直且稳定的温度梯场，不仅能生产出高品质硅锭，也缩短了整个工艺时间，降低了结晶过程中的能耗。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，属多晶 硅铸锭炉热场结构的设计与制造
技术背景多晶硅铸锭炉是一种硅重熔设备，生产中，将达到一定纯度要求 的多晶硅装入炉中，按工艺要求加热熔化、定向长晶、热处理、冷却 出炉。多晶硅重熔长晶的这样一个核心环境，我们称之为热场。热场 不单为多晶硅熔化提供大量的热能，在长晶过程中又提供合理的温度 梯场以得到合乎要求的多晶硅晶体。多晶硅铸锭炉是一种能耗高、工 时长的多晶硅生产设备，因此合理的多晶硅铸锭炉热场不仅仅要能生 产出高质量符合要求的多晶硅铸锭，更要往节能增效方面深入考虑。 而现有多晶硅铸锭炉由于结构设计上的不足，难以满足生产要求。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种设计合理，节能增效显著的多晶硅 铸锭炉的热场节能增效装置。本技术为多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，包括炉体，其 特征在于炉体内设有保温笼体，保温笼体的上部设有保温顶板，下部 设有带支柱的保温底板，保温笼体内设有固定于保温顶板上的加热 器，固定于支柱顶部带坩埚的热交换台，加热器和热交换台之间设有 保温环条，支柱的底部固定于炉体的底部。所述的保温环条可通过连接器与保温顶板固定连接。本技术设计合理，由保温笼体与保温底板、保温顶板构成一 个封闭的热场腔室，并由保温环条将热场腔室分成上下两部分，使之 在腔体内形成一个垂直且稳定的温度梯场，正常生产时，承装在坩埚 中的多晶硅原材料被搁放在热交换台上完成整个重熔长晶过程。本实 用新型在实际应用中经测试，不仅能生产出高品质硅锭，也縮短了整 个工艺时间，降低了结晶过程中的能耗。附图说明图1为本技术的整体结构剖视图； 图2为本技术使用状态时的结构剖视图。具体实施方式本技术主要由炉体11，置于炉体11内的保温笼体5，置于 保温笼体2上部的保温顶板4、下部带支柱10的保温底板6，置于保 温笼体5内固定于保温顶板4上的加热器3，固定于支柱10顶部带 坩埚9的热交换台7，置于加热器3和热交换台7之间的保温环条1 等构成；支柱4的底部固定于炉体l'的底部。保温环条1通过连接器 2与保温顶板4固定连接。保温顶板4、保温笼体5、保温底板6组 成一个封闭的热场腔体。正常生产时，多晶硅原料8在坩埚9中被加热熔化，当进入长晶 阶段时，保温笼体5被缓慢提起，热交换台7在保温笼体5的底部被 暴露出来，大量的热辐射会经由热交换台7按附图2所示箭头方向从 保温笼体5的底部往炉体11腔室散发，多晶硅原料8的底部被冷却， 开始长晶，但上面的部分多晶硅原料8还必须长时间保持在液态状 态，此时，由于保温环条l的隔离作用，限制了多晶硅原料8上部热 量的散发，缓解了加热器3的耗能时间，同时，由于保温环条l的隔 离作用，还增大了保温笼体5内热场上下两部分的温度差，使得硅液 相变线更为明显，从而长出更为理想的晶体。权利要求1. 一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，包括炉体(11)，其特征在于炉体(11)内设有保温笼体(5)，保温笼体(2)的上部设有保温顶板(4)，下部设有带支柱(10)的保温底板(6)，保温笼体(5)内设有固定于保温顶板(4)上的加热器(3)，固定于支柱(10)顶部带坩埚(9)的热交换台(7)，加热器(3)和热交换台(7)之间设有保温环条(1)，支柱(4)的底部固定于炉体(1)的底部。2、 按权利要求1所述多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，其特 征在于所述的保温环条(1)通过连接器(2)与保温顶板(4)固定 连接。 ，专利摘要一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，属多晶硅铸锭炉热场结构的设计与制造
，主要由炉体(11)，置于炉体(11)内的保温笼体(5)，置于保温笼体(2)上部的保温顶板(4)、下部带支柱(10)的保温底板(6)，置于保温笼体(5)内固定于保温顶板(4)上的加热器(3)，固定于支柱(10)顶部带坩埚(9)的热交换台(7)，置于加热器(3)和热交换台(7)之间的保温环条(1)等构成。由保温笼体与保温底板、保温顶板构成一个封闭的热场腔室，并由保温环条将热场腔室分成上下两部分，使之在腔体内形成一个垂直且稳定的温度梯场，不仅能生产出高品质硅锭，也缩短了整个工艺时间，降低了结晶过程中的能耗。文档编号F27B14/00GK201081541SQ20072011361公开日2008年7月2日 申请日期2007年8月23日 优先权日2007年8月23日专利技术者卫国军, 孙海梁, 徐芳华, 杰 高 申请人:浙江精工科技股份有限公司;绍兴县精工机电研究所有限公司本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置，包括炉体（１１），其特征在于炉体（１１）内设有保温笼体（５），保温笼体（２）的上部设有保温顶板（４），下部设有带支柱（１０）的保温底板（６），保温笼体（５）内设有固定于保温顶板（４）上的加热器（３），固定于支柱（１０）顶部带坩埚（９）的热交换台（７），加热器（３）和热交换台（７）之间设有保温环条（１），支柱（４）的底部固定于炉体（１）的底部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐芳华，卫国军，孙海梁，高杰，
申请(专利权)人：浙江精工科技股份有限公司，绍兴县精工机电研究所有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
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