硅烷中乙硅烷的分析系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种硅烷中乙硅烷的分析系统，包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一至第十接口；第二阀门上沿环向顺时针依次设置有第十一至第十六接口；第一接口为进样孔，第二接口、第五和第十二接口均为放空孔，第三和第十接口之间连接有定量管，第四、第八和第十五接口均为载气进气孔，第一色谱柱的两端分别连接到第六和第九接口，第二色谱柱的两端分别连接到第七和第十三接口，第十一与第十六接口连通，第十四接口连接到PDHID脉冲放电检测器。本实用新型专利技术具有灵敏度高、分离效果好、分析速度快的优点，一个样品检测只需要10分钟左右。

Analysis system of silane in silane

【技术实现步骤摘要】
硅烷中乙硅烷的分析系统
本技术涉及化工生产
，具体涉及一种硅烷中乙硅烷的分析系统。
技术介绍
乙硅烷是一种无机化合物其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢，在300～500℃分解成SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。现有测试方法无法准确测试硅烷中的乙硅烷。
技术实现思路
本技术的专利技术目的是提供一种硅烷中乙硅烷的分析系统，具有灵敏度高、分离效果好、分析速度快的优点，一个样品检测只需要10分钟左右。为达到上述专利技术目的，本技术采用的技术方案是：一种硅烷中乙硅烷的分析系统，包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；所述第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口、第六接口、第七接口、第八接口、第九接口和第十接口；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅烷中乙硅烷的分析系统，其特征在于：包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；/n所述第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口、第六接口、第七接口、第八接口、第九接口和第十接口；/n所述第二阀门上沿环向顺时针依次设置有第十一接口、第十二接口、第十三接口、第十四接口、第十五接口和第十六接口；/n所述第一接口为进样孔，所述第二接口、第五接口和第十二接口均为放空孔，所述第三接口和第十接口之间连接有定量管，所述第四接口、第八接口和第十五接口均为载气进气孔，所述第一色谱柱的两端分别连接到第六接口和第九接口，所述第二色谱柱的两...

【技术特征摘要】
1.一种硅烷中乙硅烷的分析系统，其特征在于：包括第一阀门、第二阀门、第一色谱柱、第二色谱柱和PDHID脉冲放电检测器；
所述第一阀门上沿环向顺时针依次设置有第一接口、第二接口、第三接口、第四接口、第五接口、第六接口、第七接口、第八接口、第九接口和第十接口；
所述第二阀门上沿环向顺时针依次设置有第十一接口、第十二接口、第十三接口、第十四接口、第十五接口和第十六接口；
所述第一接口为进样孔，所述第二接口、第五接口和第十二接口均为放空孔，所述第三接口和第十接口之间连接有定量管，所述第四接口、第八接口和第十五接口均为载气进气孔，所述第一色谱柱的两端分别连接到第六接口和第九接口，所述第二色谱柱的两端分别连接到第七接口和第十三接口，所述第十一接口与第十六接口连通，所述第十四接口连接到PDHID脉冲放电检测器。


2.根据权利要求1所述的硅烷中乙硅烷的分析系统，其特征在于：所述第一阀门为十通阀。


3.根据权利要求1所述的硅烷中乙硅烷的分析系统，其特征在于：所述第二阀门为六...

【专利技术属性】
技术研发人员：金向华，魏入铎，齐相前，王新喜，许军州，
申请(专利权)人：苏州金宏气体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32