金属板和使用其的沉积掩模制造技术

根据一个实施方案的用于制造沉积掩模的金属板具有30μm或更小的厚度并且包含含有氧(O)和铬(Cr)的铁(Fe)‑镍(Ni)合金金属材料，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部和排除外部部的内部部，所述外部部包括表面，在距离表面14nm或更小的深度范围内，外部部具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最大原子浓度。

Metal plate and deposition mask using it

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属板和使用其的沉积掩模
本专利技术涉及能够防止腐蚀并具有均匀的特性的金属板和使用其的沉积掩模。
技术介绍
显示装置通过应用于各种设备来使用。例如，显示装置不仅通过应用于诸如智能电话和平板PC的小型设备，而且通过应用于诸如TV、监视器和公共显示器(PD)的大型设备来使用。特别地，近来，对500像素每英寸(PPI)或更大的超高清晰度(UHD)的需求增加，并且高分辨率显示装置已应用于小型设备和大型设备。因此，对用于实现低功率和高分辨率的技术的兴趣正在增加。根据驱动方法，通常使用的显示装置可以大致分为液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等。LCD是通过使用液晶驱动的显示装置，并且具有其中包括冷阴极荧光灯(CCFL)、发光二极管(LED)等的光源设置在液晶的下部处的结构。LCD是通过使用设置在光源上的液晶控制从光源发射的光的量来驱动的显示装置。此外，OLED是通过使用有机材料驱动的显示装置，并且不需要单独的光源，有机材料本身可以用作光源并且可以以低功耗驱动。此外，OLED作为可以表现出无限的对比度，具有比LCD快约1000倍的响应速度，以及可以以优异的视角代替LCD的显示装置而引起关注。特别地，OLED的发光层中包含的有机材料可以通过称为精细金属掩模(finemetalmask，FMM)的沉积掩模沉积在基底上，并且沉积的有机材料可以形成为对应于形成在沉积掩模上的图案的图案以充当像素。详细地，沉积掩模通常由金属板形成，金属板包括形成在对应于像素的图案的位置处的通孔。在这种情况下，诸如红色、绿色、蓝色的有机材料可以通过如图5所示的金属板的通孔沉积在基底上，并且像素图案可以形成在基底上。通常，沉积掩模可以由由铁(Fe)和镍(Ni)合金制成的金属板制造。例如，沉积掩模可以由殷钢(Invar)合金制成。虽然用制造的金属板立即制造沉积掩模是有利的，但存在实践上困难的原因。例如，由于金属板的制造过程和沉积掩模的制造过程可能在不同的区域中进行，因此当制造金属板然后将其转移至制造沉积掩模的区域时，金属板可能长时间暴露于空气。或者，即使在转移金属板时，也难以将所有的金属板同时放入沉积掩模的制造过程，并且当将它们顺序放置时，应存在将长时间储存的金属板。可以考虑单独的储存方法，但可以预期过高的成本。因此，金属板还可以包含除铁(Fe)和镍(Ni)之外的铬(Cr)以防止表面腐蚀。铬(Cr)是可以确保耐腐蚀性的元素，并且金属板可以由于铬(Cr)而具有改善的耐腐蚀性，但存在用于制造金属板的组成中的铬(Cr)难以均匀地分散或分布的问题。此外，当铬(Cr)不均匀地分散或分布并集中在特定部分中时，在制造金属板的过程中，其促进偏析和第二析出相等的形成，并因此金属板的物理特性可能改变。因此，金属板的耐腐蚀性和可加工性降低，并且存在在使用金属板制造高分辨率沉积掩模期间出现缺陷的问题。具体地，当使用金属板制造沉积掩模时，存在在金属板的一个表面和另一表面上形成凹槽的可加工性由于上述问题而劣化的问题。因此，需要能够解决上述问题的金属板和使用其的沉积掩模。
技术实现思路
技术问题一个实施方案涉及提供具有改善的耐腐蚀性的金属板。此外，实施方案涉及提供这样的沉积掩模：其可以在由具有改善的耐腐蚀性的金属板制造沉积掩模的过程中以及在使用沉积掩模形成图案的过程中防止腐蚀。此外，一个实施方案涉及提供金属板和沉积掩模，其能够防止在制造沉积掩模之前在转移和储存金属板的过程期间发生的腐蚀。即，实施方案涉及提供金属板和沉积掩模，其能够防止可能由于腐蚀而发生的蚀刻不均匀现象并实现高分辨率。此外，一个实施方案涉及提供金属板和使用其的沉积掩模，所述金属板因为可以通过使铬(Cr)的含量最小化而具有均匀的特性，因此具有改善的可加工性。技术方案根据一个实施方案的用于制造掩模沉积的金属板包含铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部分和除外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，其中在距离表面14nm或更小的深度范围内，外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。此外，根据一个实施方案的沉积掩模包含铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料包括沉积区域和除沉积区域之外的非沉积区域，其中沉积区域包括在纵向方向上间隔开的复数个有效部分和除有效部分之外的非有效部分，其中有效部分包括：形成在金属材料的一个表面上的复数个小表面孔；形成在金属材料的与所述一个表面相反的另一表面上的复数个大表面孔；分别连通小表面孔和大表面孔的复数个通孔；以及形成在相邻通孔之间的岛部分(islandportion)，其中通孔的分辨率为400PPI或更大，金属材料含有铁(Fe)、镍(Ni)、氧(O)和铬(Cr)，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部分和除外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，在距离非沉积区域、非有效部分和岛部分中的至少一者的表面14nm或更小的深度范围内，铁(Fe)的最大原子浓度为60原子％或更小，镍(Ni)的最大原子浓度为40原子％至45原子％，氧(O)的最小原子浓度为10原子％或更小。有益效果根据一个实施方案的金属板可以具有改善的耐腐蚀性。详细地，金属板可以通过增加金属板的表面上的镍(Ni)含量来改善金属板的耐腐蚀性，从而防止金属板的腐蚀。因此，可以改善由金属板制成的沉积掩模的耐腐蚀性。此外，根据实施方案的金属板可以包含原子浓度为0.03原子％或更小的铬(Cr)。即，可以使金属板10中包含的铬(Cr)的含量最小化。详细地，由于金属板包含非常少量的铬(Cr)，因此铬(Cr)可以在金属板的制造过程中均匀地分散，并且可以防止金属板上的偏析和第二析出相等的形成。因此，金属板可以具有均匀的特性并改善可加工性。因此，形成在金属板的一个表面和另一表面处的小表面孔和大表面孔可以均匀地形成，并且由小表面孔和大表面孔形成的通孔可以更精确且均匀地形成。因此，根据实施方案的沉积掩模可以均匀地沉积具有400PPI或更大的分辨率、500PPI或更大的高分辨率和800PPI或更大的超高分辨率的OLED像素图案。附图说明图1是示出根据一个实施方案的金属板的截面图的图。图2至图4是示出根据一个实施方案的金属板的组成图的图。图5至图7是描述使用根据一个实施方案的沉积掩模在基底上沉积有机材料的过程的概念图。图8是示出根据一个实施方案的沉积掩模的平面图的图。图9是示出根据一个实施方案的沉积掩模的有效部分的平面图的图。图10是从平面观看的根据一个实施方案的沉积掩模的有效部分的显微镜图像。图11是示出根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造沉积掩模的金属板，所述金属板包含：/n铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)；/n其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，以及/n所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，/n其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171121 KR 10-2017-0155588;20171212 KR 10-2017-011.一种用于制造沉积掩模的金属板，所述金属板包含：
铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)；
其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，以及
所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，
其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。


2.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分具有距离所述表面30nm或更小的深度范围，所述外部部分和所述内部部分中的镍的最大原子浓度彼此不同。


3.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述镍(Ni)的最大原子浓度为42原子％至44原子％。


4.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分中包含的镍在距离所述表面3nm至9nm的深度范围内具有最大原子浓度值。


5.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述氧(O)的最小原子浓度为5原子％或更小。


6.一种沉积掩模，包含：
铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相侑，金南昊，曹荣得，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR