金属板和使用其的沉积掩模制造技术

根据一个实施方案的用于制造沉积掩模的金属板具有30μm或更小的厚度并且包含含有氧(O)和铬(Cr)的铁(Fe)‑镍(Ni)合金金属材料，其中金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，金属材料包括外部部和排除外部部的内部部，所述外部部包括表面，在距离表面14nm或更小的深度范围内，外部部具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最大原子浓度。

Metal plate and deposition mask using it

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】金属板和使用其的沉积掩模
本专利技术涉及能够防止腐蚀并具有均匀的特性的金属板和使用其的沉积掩模。
技术介绍
显示装置通过应用于各种设备来使用。例如，显示装置不仅通过应用于诸如智能电话和平板PC的小型设备，而且通过应用于诸如TV、监视器和公共显示器(PD)的大型设备来使用。特别地，近来，对500像素每英寸(PPI)或更大的超高清晰度(UHD)的需求增加，并且高分辨率显示装置已应用于小型设备和大型设备。因此，对用于实现低功率和高分辨率的技术的兴趣正在增加。根据驱动方法，通常使用的显示装置可以大致分为液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)等。LCD是通过使用液晶驱动的显示装置，并且具有其中包括冷阴极荧光灯(CCFL)、发光二极管(LED)等的光源设置在液晶的下部处的结构。LCD是通过使用设置在光源上的液晶控制从光源发射的光的量来驱动的显示装置。此外，OLED是通过使用有机材料驱动的显示装置，并且不需要单独的光源，有机材料本身可以用作光源并且可以以低功耗驱动。此外，OLED作为可以表现出无限的对比度，具有比LCD快约1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于制造沉积掩模的金属板，所述金属板包含：/n铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)；/n其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，以及/n所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，/n其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171121 KR 10-2017-0155588;20171212 KR 10-2017-011.一种用于制造沉积掩模的金属板，所述金属板包含：
铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料具有30μm或更小的厚度并且含有氧(O)和铬(Cr)；
其中所述金属材料为铬(Cr)的原子浓度为0.03原子％或更小的殷钢，以及
所述金属材料包括外部部分和除所述外部部分之外的内部部分，所述外部部分包括表面，
其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述外部部分具有60原子％或更小的铁(Fe)的最大原子浓度、40原子％至45原子％的镍(Ni)的最大原子浓度和10原子％或更小的氧(O)的最小原子浓度。


2.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分具有距离所述表面30nm或更小的深度范围，所述外部部分和所述内部部分中的镍的最大原子浓度彼此不同。


3.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述镍(Ni)的最大原子浓度为42原子％至44原子％。


4.根据权利要求1所述的金属板，其中所述外部部分中包含的镍在距离所述表面3nm至9nm的深度范围内具有最大原子浓度值。


5.根据权利要求1所述的金属板，其中在距离所述表面14nm或更小的深度范围内，所述氧(O)的最小原子浓度为5原子％或更小。


6.一种沉积掩模，包含：
铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材料，所述铁(Fe)-镍(Ni)合金金属材...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相侑，金南昊，曹荣得，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR