一种具备检测功能的退火炉制造技术

本发明专利技术提供一种具备检测功能的退火炉，涉及退火炉领域，包括退火炉本体、运输炉车和炉槽，所述退火炉本体的内部开设有炉槽，其中退火炉本体的开口位置处的两端均设置有侧挡板，侧挡板的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板。本发明专利技术中，通过在炉体内部设置上限位板和下限位板，则运输炉车可在上限位板和下限位板之间进行滑动，同时，上限位板和下限位板内部开设有滑槽，运输炉车上的滑动块可在滑槽内部滑动，之后炉车将材料输送到炉体内，前挡板下移挡住炉体，通过这样的设置可使得炉车移动的稳定性更高，且限位块的设置还能够保证炉车移动的位置，同时还可最大程度的保证了退火炉整体的密封性能。

An annealing furnace with detection function

【技术实现步骤摘要】
一种具备检测功能的退火炉
本专利技术涉及退火炉领域，尤其涉及一种具备检测功能的退火炉。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能；热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底；退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的；热处理炉分为退火炉、淬火炉、回火炉、正火炉、调质炉，主要用于大型碳钢、合金钢零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除应力退火、时效等热处理工艺。加热方式有电加热、燃油、燃气、燃煤、热风循环；退火炉是一种新型换热设备。但是，现有的台车式退火炉的运输炉车会随材料一同进入内部进行加工，所以炉体本身的密封性无法得到保障，同时还存在着自动化程度低等缺陷；不满足现有的需求，因此本专利技术提出一种具备检测功能的退火炉来解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具备检测功能的退火炉，以解决上述技术问题。本专利技术为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：一种具备检测功能的退火炉，包括退火炉本体、运输炉车和炉槽，其特征在于：所述退火炉本体的内部开设有炉槽，其中退火炉本体的开口位置处的两端均设置有侧挡板，侧挡板的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板，前挡板正好完全挡住炉槽开口处；所述退火炉本体的内侧底部设置有底座，底座的顶部两侧设置有滚轮槽，其中滚轮槽上通过滚轮滑动连接有运输炉车；所述退火炉本体的内侧底部固定有下限位板，下限位板的上方设置有上限位板，其中运输炉车的两端滑动连接在上限位板和下限位板之间；所述退火炉本体的外侧设置有主控器，退火炉本体的内部设置有温度控制器和计时控制器，所述温度控制器和计时控制器均与主控器电性连接。优选的，所述齿轮驱动机构包含有驱动轮、驱动电机和齿条板，其中齿条板设置在前挡板的两侧，驱动轮设置在侧挡板的内部，且驱动轮与齿条板啮合连接，其中驱动电机设置在侧挡板的外侧，驱动电机通过链条与驱动轮传动连接。优选的，所述驱动电机的控制器与主控器电性连接。优选的，所述上限位板和下限位板的内部均开设有滑槽，且两个滑槽相向设置，运输炉车两端的上下两侧均设置有滑动块，其中滑动块在相应的滑槽内滑动。优选的，所述运输炉车的控制器与主控器电性连接。优选的，所述退火炉本体的内壁上设置有加热板。优选的，所述前挡板的高度与退火炉本体的高度相同。进一步的，。与相关技术相比较，本专利技术提供的具备检测功能的退火炉具有如下有益效果：首先，通过在炉体内部设置上限位板和下限位板，则运输炉车可在上限位板和下限位板之间进行滑动，同时，上限位板和下限位板内部开设有滑槽，运输炉车上的滑动块可在滑槽内部滑动，之后炉车将材料输送到炉体内，前挡板下移挡住炉体，通过这样的设置可使得炉车移动的稳定性更高，且限位块的设置还能够保证炉车移动的位置，同时还可最大程度的保证了退火炉整体的密封性能。其次，驱动电机带动驱动轮转动进而与前档板上的齿条板啮合连接，进而可带动齿条板上下移动，则在材料退火炉工作过程中，可通过前挡板对炉槽的开口处进行密封，且与主控器电性连接，自动化程度高，提高工作效率和质量，给用户提供了便利。最后，炉体内部的设置有温度控制器和计时控制器，通过在炉体的外侧设置主控器，温度控制器和计时控制器分别与主控器电性连接，则在使用的时候，通过主控器对炉体的温度进行设定，并通过温度控制器实时检测，并通过计时控制器进行定时设定，防止炉体内温度不合材料需要，影响材料加工处理，节省成本，精准性更高，耗能低，自动化程度高。附图说明图1为本专利技术一种具备检测功能的退火炉的结构示意图；图2为本专利技术退火炉结构示意图；图3为本专利技术退火炉的平面图；图4为本专利技术齿轮驱动机构的结构示意图；图5为本专利技术退火炉的侧面结构示意图；图6为本专利技术退火炉的侧面剖视图；附图标记：1、退火炉本体；2、前挡板；201、齿条板；3、侧挡板；301、驱动电机；302、驱动轮；4、上限位板；5、运输炉车；6、滑动块；7、底座；8、炉槽；9、下限位板；10、滑槽；11、滚轮；12、滚轮槽；13、主控器；14、温度控制器；15、计时控制器；16、加热板。具体实施方式为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例和附图，进一步阐述本专利技术，但下述实施例仅仅为本专利技术的优选实施例，并非全部。基于实施方式中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得其它实施例，都属于本专利技术的保护范围。下面结合附图描述本专利技术的具体实施例。如图1-6所示，一种具备检测功能的退火炉，包括退火炉本体1、运输炉车5和炉槽8，退火炉本体1的内部开设有炉槽8，其中退火炉本体1的开口位置处的两端均设置有侧挡板3，侧挡板3的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板2，前挡板2正好完全挡住炉槽8开口处；退火炉本体1的内侧底部设置有底座7，底座7的顶部两侧设置有滚轮槽12，其中滚轮槽12上通过滚轮11滑动连接有运输炉车5；退火炉本体1的内侧底部固定有下限位板9，下限位板9的上方设置有上限位板4，其中运输炉车5的两端滑动连接在上限位板4和下限位板9之间；退火炉本体1的外侧设置有主控器13，退火炉本体1的内部设置有温度控制器14和计时控制器15，温度控制器14和计时控制器15均与主控器13电性连接；当在使用的时候，将材料放入到运输炉车5上，通过炉车上的驱动装置带动运输炉车5进行移动，运输炉车5移动的时候，其炉车底部的滚轮11在底座7上的滚轮槽12内进行滑动，同时运输炉车5的两端在退火炉本体1内上限位板4和下限位板9之间进行移动，即上限位板4和下限位板9起到对运输炉车5限位的作用，当材料移动到炉槽8内部的时候，通过齿轮驱动机构带动前挡板2下移，进而对炉槽8的开口处进行遮挡，密封合格后，通过退火炉本体1对材料进行退火处理，在处理过程中，退火炉本体1内部的温度控制器14和计时控制器15可对炉体内部的温度进行检测，并通过计时控制器15进行定时处理，然后显示到主控器13上，供用户进行调整和监测。在具体实施过程中，如图4所示，齿轮驱动机构包含有驱动轮302、驱动电机301和齿条板201，其中齿条板201设置在前挡板2的两侧，驱动轮302设置在侧挡板3的内部，且驱动轮302与齿条板201啮合连接，其中驱动电机301设置在侧挡板3的外侧，驱动电机301通过链条与驱动轮302传动连接。驱动电机301的控制器与主控器13电性连接；则当在前挡板2下移的过程中，首先通过驱动电机301带动驱动轮302进行转动，驱动轮302转动的时候，可与前挡板2上的齿条板201啮合，进而带动前挡板2进行上下移动，当前挡板2完全遮挡住炉槽8开本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备检测功能的退火炉，包括退火炉本体(1)、运输炉车(5)和炉槽(8)，其特征在于：所述退火炉本体(1)的内部开设有炉槽(8)，其中退火炉本体(1)的开口位置处的两端均设置有侧挡板(3)，侧挡板(3)的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板(2)，前挡板(2)正好完全挡住炉槽(8)开口处；/n所述退火炉本体(1)的内侧底部设置有底座(7)，底座(7)的顶部两侧设置有滚轮槽(12)，其中滚轮槽(12)上通过滚轮(11)滑动连接有运输炉车(5)；所述退火炉本体(1)的内侧底部固定有下限位板(9)，下限位板(9)的上方设置有上限位板(4)，其中运输炉车(5)的两端滑动连接在上限位板(4)和下限位板(9)之间；/n所述退火炉本体(1)的外侧设置有主控器(13)，退火炉本体(1)的内部设置有温度控制器(14)和计时控制器(15)，所述温度控制器(14)和计时控制器(15)均与主控器(13)电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种具备检测功能的退火炉，包括退火炉本体(1)、运输炉车(5)和炉槽(8)，其特征在于：所述退火炉本体(1)的内部开设有炉槽(8)，其中退火炉本体(1)的开口位置处的两端均设置有侧挡板(3)，侧挡板(3)的内部通过齿轮驱动机构啮合连接有前挡板(2)，前挡板(2)正好完全挡住炉槽(8)开口处；
所述退火炉本体(1)的内侧底部设置有底座(7)，底座(7)的顶部两侧设置有滚轮槽(12)，其中滚轮槽(12)上通过滚轮(11)滑动连接有运输炉车(5)；所述退火炉本体(1)的内侧底部固定有下限位板(9)，下限位板(9)的上方设置有上限位板(4)，其中运输炉车(5)的两端滑动连接在上限位板(4)和下限位板(9)之间；
所述退火炉本体(1)的外侧设置有主控器(13)，退火炉本体(1)的内部设置有温度控制器(14)和计时控制器(15)，所述温度控制器(14)和计时控制器(15)均与主控器(13)电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种具备检测功能的退火炉，其特征在于：所述齿轮驱动机构包含有驱动轮(302)、驱动电机(301)和齿条板(201)，其中齿条板(201)设置在前挡板(2)的两侧，驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘樟，
申请(专利权)人：安徽鼎华玻璃科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34