【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置
本专利技术涉及太阳能电池片制备
，更具体地说，涉及一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置。
技术介绍
太阳能电池片生产制造过程中，太阳能电池片的生产工艺流程分为硅片检测—表面制绒—扩散制结—去磷硅玻璃—等离子刻蚀—镀减反射膜—丝网印刷—快速烧结等工艺流程。其中去磷硅玻璃为一个非要重要的工艺流程，由于在磷扩散过程中，硅片表面会形成一层含有磷元素的SiO2，称之为磷硅玻璃(PSG)。所形成的磷硅玻璃增加了发射区电子的复合，导致少子寿命降低；在空气中容易受潮，导致电流降低和功率衰减；磷硅玻璃也容易使PECVD镀膜后产生色差，这就需要对硅片表面的磷硅玻璃进行去除，去磷硅玻璃工艺最常见通过化学腐蚀法对硅片上的磷硅玻璃进行去除，具体操作为将硅片在氢氟酸溶液中浸泡。目前，一般是将待处理的硅片放置于盛装有氢氟酸溶液的清洗槽内，使其产生化学反应生成可溶性的络和六氟硅酸，硅片在氢氟酸溶液中浸泡，使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸，而这种简单的清酸洗操作其酸洗效...
【技术保护点】
1.一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，包括操作台(1)和固定安装于操作台(1)上端前侧的酸洗箱(2)，其特征在于：所述酸洗箱(2)内部开设有多个清洗槽(201)，相邻两个所述清洗槽(201)之间通过多个通孔(202)相连通，所述操作台(1)的上端后侧固定安装有腐蚀酸制备箱(3)，所述腐蚀酸制备箱(3)位于酸洗箱(2)的侧上方，所述腐蚀酸制备箱(3)的底端沿其水平方向固定连接有多个带有电磁阀的连通管(4)，多个所述连通管(4)的底端分别与多个清洗槽(201)的内壁相连通，所述腐蚀酸制备箱(3)的顶端固定连接有带有进料口(501)的第一防护箱(5)；/n所述酸洗箱...
【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，包括操作台(1)和固定安装于操作台(1)上端前侧的酸洗箱(2)，其特征在于：所述酸洗箱(2)内部开设有多个清洗槽(201)，相邻两个所述清洗槽(201)之间通过多个通孔(202)相连通，所述操作台(1)的上端后侧固定安装有腐蚀酸制备箱(3)，所述腐蚀酸制备箱(3)位于酸洗箱(2)的侧上方，所述腐蚀酸制备箱(3)的底端沿其水平方向固定连接有多个带有电磁阀的连通管(4)，多个所述连通管(4)的底端分别与多个清洗槽(201)的内壁相连通，所述腐蚀酸制备箱(3)的顶端固定连接有带有进料口(501)的第一防护箱(5)；
所述酸洗箱(2)上固定安装有前侧带有开口的第二防护箱(6)，所述操作台(1)的前端固定连接有对开口进行密封的密封机构，多个所述清洗槽(201)内均套设有清洗篮(8)，所述第二防护箱(6)的顶端沿其水平方向固定安装有多个与清洗槽(201)位置对应的旋转电机(7)，多个所述旋转电机(7)的驱动端贯穿第二防护箱(6)的顶端并固定连接有对清洗篮(8)进行固定的固定机构，所述操作台(1)的一侧设有气体过滤池(16)，所述第一防护箱(5)和第二防护箱(6)的侧壁上分别固定连接有第一导气管(14)和第二导气管(15)，且第一导气管(14)和第二导气管(15)的底端均延伸至气体过滤池(16)内。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述酸洗箱(2)和腐蚀酸制备箱(3)分别为超声波清洗机和超声波分散机，所述酸洗箱(2)和腐蚀酸制备箱(3)的内壁上均涂覆有高强度防腐涂料。
3.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述第一防护箱(5)的顶端面设置有透明观望窗，所述第一防护箱(5)靠近下端的左右两侧侧壁上均固定连接有卡块，所述腐蚀酸制备箱(3)靠近上端的左右两侧侧壁上均转动连接有与卡块卡设连接的卡扣。
4.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述清洗篮(8)为上端设有装料口的圆柱形装料篮，所述圆柱形装料篮为镂空结构，所述清洗篮(8)的内底部固定连接有连杆(801)，所述连杆(801)的两侧侧壁上均固定连接有分隔网(802)，所述连杆(801)的顶端延伸至分隔网(802)的上部，所述清洗篮(8)上也同样涂覆有高强度防腐涂料。
5.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片制备用硅片去除磷硅玻璃酸洗装置，其特征在于：所述固定机构包括固定连接于旋转电...
【专利技术属性】
技术研发人员：汤叶华，徐永锋，王孟，施成军，
申请(专利权)人：南通欧贝黎新能源电力股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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