键合膜及封装结构制造技术

技术编号:24690801 阅读:43 留言:0更新日期:2020-06-27 10:11
本发明专利技术实施例提供了一种键合膜及封装结构。其中,键合膜用于实现芯片与基板的键合,所述键合膜包括:键合层和具有第一标识的标识层,所述第一标识为芯片粘贴位置标记;其中,所述标识层位于所述键合层的一个表面,或者,所述标识层位于所述键合层内。由于所述键合膜上具有作为芯片粘贴位置标记的第一标识,使得键合对准工艺中可以通过识别第一标识对芯片进行对准,从而提高了键合对准工艺的对准精度。

Bonding film and packaging structure

【技术实现步骤摘要】
键合膜及封装结构本申请要求于2018年12月18日提交中国专利局、申请号为201811550752.X、专利技术名称为“一种封装方法和封装结构”的中国专利申请的优先权,其部分内容通过引用结合在本申请中。本申请要求于2018年12月26日提交中国专利局、申请号为201811605525.2、专利技术名称为“键合膜及封装结构”的中国专利申请的优先权,其部分内容通过引用结合在本申请中。
本专利技术实施例涉及半导体制造领域,尤其涉及一种键合膜及封装结构。
技术介绍
随着超大规模集成电路的发展趋势,集成电路特征尺寸持续减小,人们对集成电路封装技术的要求相应也不断提高。其中,系统级封装(SysteminPackage,SIP)是将多个具有不同功能的有源元件、无源元件、微机电系统(MEMS)、光学元件等其他元件组合到一个单元中,形成一个可提供多种功能的系统或子系统,允许异质IC集成。相比于系统级芯片(SystemonChip,SOC),系统级封装的集成相对简单,设计周期和面市周期更短,成本较低,可以实现更复杂的系统,是一种较为普遍的封装技术。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种键合膜,用于实现芯片与基板的键合,其特征在于,所述键合膜包括:键合层和具有第一标识的标识层,所述第一标识为芯片粘贴位置标记;/n其中,所述标识层位于所述键合层的一个表面,或者,所述标识层位于所述键合层内。/n

【技术特征摘要】
20181218 CN 201811550752X;20181226 CN 2018116055251.一种键合膜,用于实现芯片与基板的键合,其特征在于,所述键合膜包括:键合层和具有第一标识的标识层,所述第一标识为芯片粘贴位置标记;
其中,所述标识层位于所述键合层的一个表面,或者,所述标识层位于所述键合层内。


2.如权利要求1所述键合膜,其特征在于,所述第一标识为网格或者对位图形。


3.如权利要求1所述键合膜,其特征在于,所述标识层还具有第二标识,所述第二标识为基板粘贴位置标记。


4.如权利要求1所述键合膜,其特征在于,所述标识层粘结于所述键合层的一个表面,所述标识层背离所述键合层的一侧具有粘性层。


5.如权利要求4所述键合膜,其特征在于,所述标识层还包括用于设置第一标识的标识层本体;
所述第一标识位于所述标识层本体与所述粘性层之间;或者,所述第一标识位于所述标识层本体与所述键合层之间。


6.如权利要求5所述键合膜,其特征在于,当所述第一标识位于所述标识层本体与所述粘性层之间时,
所述粘性层的透光率大于或等于60%,或者,所述标识层本体和所述键合层构成的第...

【专利技术属性】
技术研发人员:石虎刘孟彬敖萨仁李海江李洪昌
申请(专利权)人:中芯集成电路宁波有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1