离子源装置及可活动射频扫描离子设备制造方法及图纸

本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另一端接地；射频匹配网络通过输入端接入射频源，射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。上述离子源装置，简化了射频匹配网络的结构，便于移动使用。上述可活动射频扫描离子设备，离子源可以方便移动来实现镜面的扫描处理，提升了射频扫描离子设备使用效果。

Ion source device and movable RF scanning ion equipment

【技术实现步骤摘要】
离子源装置及可活动射频扫描离子设备
本申请涉及射频离子源
，具体而言，本申请涉及一种离子源装置及可活动射频扫描离子设备。
技术介绍
离子源技术是一门用途广，类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术，目前在多个领域中得到运用。例如，由于具有更高的加工确定性，离子束抛光法被引入到光学加工领域中。离子束抛光法需要在真空条件下应用，溅射效应形成的材料去除速率相对较低，离子束抛光法更适合于光学加工中最后为达到更高精度或最终加工目标阶段的应用。对于尺寸很大的工件需要通过离子源移动来实现镜面的扫描处理,一般是利用一种可活动射频扫描离子设备。那就要求离子源本身能满足空间移动的要求。基于这个情况，过去只能使用直流驱动的离子源。而现有的离子束抛光工艺，一般离子源需要能无耗材连续工作(工作时间要100小时以上)，但是直流驱动的离子源一般连续工作时间只能有10小时左右。对于大镜片的情况，加工时间有时会超过几十小时。使得工艺本身受到很大的局限。为此，开始更多使用，射频离子源，是一种通过射频电离产生等离子体，再通过栅网电场，使正离子加速产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子源装置，其特征在于，包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，所述射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；/n所述射频匹配网络的输入端连接射频源，所述射频匹配网络的输出端连接至所述射频离子源的射频线圈一端；/n所述射频离子源的射频线圈另一端接地；/n所述射频匹配网络通过输入端接入射频源，所述射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，所述射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子源装置，其特征在于，包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，所述射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；
所述射频匹配网络的输入端连接射频源，所述射频匹配网络的输出端连接至所述射频离子源的射频线圈一端；
所述射频离子源的射频线圈另一端接地；
所述射频匹配网络通过输入端接入射频源，所述射频源通过输出端传输至射频离子源的射频线圈，所述射频线圈对通过气体管道进入电离室的气体进行电离产生离子，并通过屏极栅网的驱动产生离子束。


2.根据权利要求1所述的离子源装置，其特征在于，所述射频匹配网络与射频离子源为一体化设计，所述射频匹配网络与射频离子源串联内置于一体化外壳内；
其中，所述射频离子源的前端位于所述一体化外壳前部；连接电离室的所述气体管道延伸出到所述一体化外壳后部，所述屏极栅网的驱动电源输入口以及所述匹配网络的射频源输入口设于所述一体化外壳后部。


3.根据权利要求2所述的离子源装置，其特征在于，所述射频匹配网络包括电感L、电容Cload和电容Ctune，其中，所述电感L串联在传输线上，所述电容Cload和电容Ctune分别连接所述电感L两端和接地之间。

【专利技术属性】
技术研发人员：刘伟基，冀鸣，赵刚，易洪波，曾文华，刘运鸿，吴秋生，范奕生，
申请(专利权)人：中山市博顿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44