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本申请涉及一种离子源装置和可活动射频扫描离子设备，该离子源装置包括：射频匹配网络、射频离子源；其中，射频匹配网络为Π型结构的匹配网络；射频匹配网络的输入端连接射频源，射频匹配网络的输出端连接至射频离子源的射频线圈一端；射频离子源的射频线圈另...
该专利属于中山市博顿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中山市博顿光电科技有限公司授权不得商用。

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