【技术实现步骤摘要】
一种离子源灯丝结构及离子源装置
本技术涉及离子注入设备，尤其涉及一种离子源灯丝结构及离子源装置。
技术介绍
离子注入设备在半导体工艺中用于对半导体晶圆中的待掺杂区进行离子注入，而离子源装置则是离子注入设备中用于产生离子的核心部件。离子源装置通过将高能电流通入灯丝中，使灯丝产生热电子以不停地撞击热阴极，进而使热阴极也产生热量并发射高能的自由电子，以撞击掺杂气体最终形成离子源。现有技术中，离子源装置都是采用单一灯丝结构，而灯丝的使用周期短且更换灯丝需要停机、拆卸、更换、氦气检测、去除更换灯丝过程中进入的空气等步骤，整个过程耗时较长且更换频率高，导致离子注入设备停机时间长，影响生产效率。
技术实现思路
为了解决上述现有技术的不足，本技术提供一种离子源灯丝结构，可降低对离子注入设备进行保养维护的人力成本和时间成本，还可提高生产效率。本技术还提供一种离子源装置。本技术所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现：一种离子源灯丝结构，包括底座、至少两个灯丝和切换开关模块，所述至少两个...
【技术保护点】
1.一种离子源灯丝结构，其特征在于，包括底座、至少两个灯丝和切换开关模块，所述至少两个灯丝设置于所述底座的同一侧上且通过所述切换开关模块连接至外部电源；所述切换开关模块具有与所述外部电源连接的输入端和分别与所述至少两个灯丝对应连接的至少两个输出端，所述输入端可切换连接至其中一个输出端。/n
【技术特征摘要】
1.一种离子源灯丝结构，其特征在于，包括底座、至少两个灯丝和切换开关模块，所述至少两个灯丝设置于所述底座的同一侧上且通过所述切换开关模块连接至外部电源；所述切换开关模块具有与所述外部电源连接的输入端和分别与所述至少两个灯丝对应连接的至少两个输出端，所述输入端可切换连接至其中一个输出端。
2.根据权利要求1所述的离子源灯丝结构，其特征在于，所述切换开关模块包括第一切换开关和第二切换开关，所述第一切换开关具有与所述外部电源的第一电极连接的第一电极输入端和分别与所述至少两个灯丝的第一电极对应连接的至少两个第一电极输出端，所述第一电极输入端可切换连接至其中一个第一电极输出端；所述第二切换开关具有与所述外部电源的第二电极连接的第二电极输入端和分别与所述至少两个灯丝的第二电极对应连接的至少两个第二电极输出端，所述第二电极输入端可切换连接至其中一个第二电极输出端。
3.根据权利要求2所述的离子源灯丝结构，其特征在于，还包括贯穿于所述底座的至少两根第一电极导入轴和至少两根第二电极导入轴，所述至少两个灯丝的第一电极分别连接于对应的第一电极导入轴上，以通过对应的第一电极导入轴分别连接至所述第一切换开关对应的第一电极输出端；所述至少两个灯丝的第二电极分别连接于对应的第二电极导入轴上，以通过对应的第二电极导入轴分别连接至所述第二切换开关对应的第二电极输出端。
4.根据权利要求2或3所述的离子源灯丝结构，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷明伟，周波，杨曲，林锦辉，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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