一种化学气相沉积系统及供气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种化学气相沉积系统及供气装置，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，工艺气体供应支线包括工艺气体储存容器、高纯过滤器、第四电磁气动阀、第五电磁气动阀、第三压力变送器、第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线；所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。本实用新型专利技术的化学气相沉积系统的供气装置可实现在线切换和稳定、安全、连续的供气，保证化学气相沉积过程中工艺供气的稳定性。

A chemical vapor deposition system and gas supply device

【技术实现步骤摘要】
一种化学气相沉积系统及供气装置
本技术属于化学气相沉积
，具体涉及一种化学气相沉积系统及供气装置。
技术介绍
化学气相沉积法是采用气态物质，在真空、高温下发生化学反应，沉积到固体衬体上生成产品的方法。目前被广泛应用到红外材料制备领域如硒化锌、硫化锌、金刚石膜等的生产，以及陶瓷材料制备领域，如氮化硼、碳化硅等。这些产品的生产过程中一般会使用到有毒气体，这些有毒气体的饱和蒸汽也相对偏低，造成在生产过程中供气不稳定，影响产品的性能。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术存在的不足之处而提供一种化学气相沉积系统及供气装置。为实现上述目的，本技术采取的技术方案为：一种化学气相沉积系统的供气装置，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；所述末端总管与化学气相沉积系统的用气装置管路连通，末端总管与第一供气管线管路连通，末端总管与备用供气管线管路连通；所述第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，所述混合气供应支线与所述混气容器连通，工艺气体供应支线与所述混气容器连通，第六电磁气动阀管路连通于混气容器和所述末端总管之间；所述混合气供应支线包括起始端的混合气储气容器、与所述混合气储气容器管路连通的第七电磁气动阀、与所述第七电磁气动阀管路连通的第四压力变送器、以及与所述第四压力变送器管路连通的第二质量流量计，所述第二质量流量计与所述混气容器管路连通；所述工艺气体供应支线包括起始端的工艺气体储存容器、与所述工艺气体储存容器管路连通的高纯过滤器、与所述高纯过滤器管路连通的第四电磁气动阀、与所述第四电磁气动阀管路连通的第五电磁气动阀、与所述第五电磁气动阀管路连通的第三压力变送器、与所述第三压力变送器管路连通的第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线，所述第一质量流量计与所述混气容器管路连通，所述第一吹扫气管线的末端管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上，所述第二吹扫气管线的末端管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上，所述工艺气体储存容器外设置有恒温装置；所述第一吹扫气管线从起始端到末端依次包括第一吹扫气储存容器、与所述第一吹扫气储存容器管路连通的第一电磁气动阀、以及与所述第一电磁气动阀管路连通的第一压力变送器，所述第一压力变送器通过管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上；所述第二吹扫气管线从起始端到末端依次包括第二吹扫气储存容器、与所述第二吹扫气储存容器管路连通的第二电磁气动阀、与所述第二电磁气动阀管路连通的第二压力变送器、与所述第二压力变送器管路连通的文丘里发生器、与所述文丘里发生器管路连通的第三电磁气动阀、以及与所述文丘里发生器管路连通的尾气管路，所述第三电磁气动阀管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上；所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。上述化学气相沉积系统的供气装置设置有相同的第一供气管线和备用供气管线，通过对供气管线采用的装置及连接方式的选用，实现了对供气流量的精确控制；并且利用质量流量控制器实现了第一供气管线和备用供气管线的自动切换；并且通过第一吹扫气管线将管线里面的空气或者有毒气体进行吹扫，通过第二吹扫管线的设置对管线气体进行置换，实现了第一供气管线和备用供气管线的自动切换时保持供应气体的纯净；在工艺气体储存容器外部设置在线恒温装置，能够稳定控温且保证足够的汽化量；上述化学气相沉积系统的供气装置可实现在线切换和稳定、安全、连续的供气，保证化学气相沉积过程中工艺供气的稳定性。优选地，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和一个备用供气管线。优选地，所述恒温装置为水浴恒温装置或者油浴恒温装置。优选地，所述工艺气体储存容器为工艺气体钢瓶，所述混气容器为混气罐。优选地，所述第一吹扫气储存容器中储存有氩气或者氮气，所述第二吹扫气储存容器中储存有氩气或者氮气，所述混合气储气容器中储存有氩气、氢气或者氮气。优选地，所述供气装置还包括PLC控制系统；所述PLC控制系统与第一电磁气动阀电连接并控制第一电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第二电磁气动阀电连接并控制第二电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第三电磁气动阀电连接并控制第三电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第四电磁气动阀电连接并控制第四电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第五电磁气动阀电连接并控制第五电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第六电磁气动阀电连接并控制第六电磁气动阀的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第七电磁气动阀电连接并控制第七电磁气动阀的开、关和调节大小；所述PLC控制系统与第一质量流量计电连接并控制第一质量流量计的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第二质量流量计电连接并控制第二质量流量计的开、关和调节大小；所述PLC控制系统与第一压力变送器电连接并控制第一压力变送器的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第二压力变送器电连接并控制第二压力变送器的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第三压力变送器电连接并控制第三压力变送器的开、关和调节大小，所述PLC控制系统与第四压力变送器电连接并控制第四压力变送器的开、关和调节大小。本技术还提供一种化学气相沉积系统，所述化学气相沉积系统包括上述任一所述的化学气相沉积系统的供气装置、以及与所述供气装置管路连通的用气装置，所述用气装置为真空炉体。优选地，所述化学气相沉积系统还包括过滤器、喷淋塔和收尘桶；所述真空炉体设置有排气口，所述排气口和过滤器管路连通，所述过滤器和喷淋塔管路连通，所述过滤器与收尘桶连通。本技术的有益效果在于：本技术提供了一种化学气相沉积系统及供气装置，本技术的化学气相沉积系统的供气装置可实现在线切换和稳定、安全、连续的供气，保证化学气相沉积过程中工艺供气的稳定性。附图说明图1为本技术实施例的一种化学气相沉积系统及供气装置的示意图。图2为本技术实施例的一种化学气相沉积系统的示意图。其中，1、末端总管，2、第一供气管线，3、一个备用供气管线，4、第六电磁气动阀，5、混气罐，6、第二质量流量计，7、第四压力变送器，8、第七电磁气动阀，9、混合气储气容器，10、第一质量流量计，11、第三压力变送，12、第五电磁气动阀，13、第四电磁气动阀，14、高纯过滤器，15、工艺气体钢瓶，16、恒温装置，17、第一压力变送器，18、第一电磁气动阀，19、第一吹扫气储存容器，20、第三电磁气动阀，21、第二压力变送器，22、第二电磁气动阀，23、第二吹扫气储存容器，24、尾气管路，25、真空炉体，26、过滤器，27、收尘桶，28、喷淋塔，29、文丘里发生器。具体实施方式为更好的说明本技术的目的、技术方案和优点，下面将结合具体实施例对本技术作进一步说明。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气相沉积系统的供气装置，其特征在于，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；/n所述末端总管与化学气相沉积系统的用气装置管路连通，末端总管与第一供气管线管路连通，末端总管与备用供气管线管路连通；/n所述第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，所述混合气供应支线与所述混气容器连通，工艺气体供应支线与所述混气容器连通，第六电磁气动阀管路连通于混气容器和所述末端总管之间；/n所述混合气供应支线包括起始端的混合气储气容器、与所述混合气储气容器管路连通的第七电磁气动阀、与所述第七电磁气动阀管路连通的第四压力变送器、以及与所述第四压力变送器管路连通的第二质量流量计，所述第二质量流量计与所述混气容器管路连通；/n所述工艺气体供应支线包括起始端的工艺气体储存容器、与所述工艺气体储存容器管路连通的高纯过滤器、与所述高纯过滤器管路连通的第四电磁气动阀、与所述第四电磁气动阀管路连通的第五电磁气动阀、与所述第五电磁气动阀管路连通的第三压力变送器、与所述第三压力变送器管路连通的第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线，所述第一质量流量计与所述混气容器管路连通，所述第一吹扫气管线的末端管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上，所述第二吹扫气管线的末端管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上，所述工艺气体储存容器外设置有恒温装置；/n所述第一吹扫气管线从起始端到末端依次包括第一吹扫气储存容器、与所述第一吹扫气储存容器管路连通的第一电磁气动阀、以及与所述第一电磁气动阀管路连通的第一压力变送器，所述第一压力变送器通过管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上；/n所述第二吹扫气管线从起始端到末端依次包括第二吹扫气储存容器、与所述第二吹扫气储存容器管路连通的第二电磁气动阀、与所述第二电磁气动阀管路连通的第二压力变送器、与所述第二压力变送器管路连通的文丘里发生器、与所述文丘里发生器管路连通的第三电磁气动阀、以及与所述文丘里发生器管路连通的尾气管路，所述第三电磁气动阀管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上；/n所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。/n...

【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积系统的供气装置，其特征在于，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和至少一个备用供气管线；
所述末端总管与化学气相沉积系统的用气装置管路连通，末端总管与第一供气管线管路连通，末端总管与备用供气管线管路连通；
所述第一供气管线包括混合气供应支线、工艺气体供应支线、混气容器和第六电磁气动阀，所述混合气供应支线与所述混气容器连通，工艺气体供应支线与所述混气容器连通，第六电磁气动阀管路连通于混气容器和所述末端总管之间；
所述混合气供应支线包括起始端的混合气储气容器、与所述混合气储气容器管路连通的第七电磁气动阀、与所述第七电磁气动阀管路连通的第四压力变送器、以及与所述第四压力变送器管路连通的第二质量流量计，所述第二质量流量计与所述混气容器管路连通；
所述工艺气体供应支线包括起始端的工艺气体储存容器、与所述工艺气体储存容器管路连通的高纯过滤器、与所述高纯过滤器管路连通的第四电磁气动阀、与所述第四电磁气动阀管路连通的第五电磁气动阀、与所述第五电磁气动阀管路连通的第三压力变送器、与所述第三压力变送器管路连通的第一质量流量计、第一吹扫气管线和第二吹扫气管线，所述第一质量流量计与所述混气容器管路连通，所述第一吹扫气管线的末端管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上，所述第二吹扫气管线的末端管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上，所述工艺气体储存容器外设置有恒温装置；
所述第一吹扫气管线从起始端到末端依次包括第一吹扫气储存容器、与所述第一吹扫气储存容器管路连通的第一电磁气动阀、以及与所述第一电磁气动阀管路连通的第一压力变送器，所述第一压力变送器通过管路连通在所述高纯过滤器与第四电磁气动阀之间的管路上；
所述第二吹扫气管线从起始端到末端依次包括第二吹扫气储存容器、与所述第二吹扫气储存容器管路连通的第二电磁气动阀、与所述第二电磁气动阀管路连通的第二压力变送器、与所述第二压力变送器管路连通的文丘里发生器、与所述文丘里发生器管路连通的第三电磁气动阀、以及与所述文丘里发生器管路连通的尾气管路，所述第三电磁气动阀管路连通在所述第四电磁气动阀和第五电磁气动阀之间的管路上；
所述备用供气管线与所述第一供气管线相同。


2.根据权利要求1所述的供气装置，其特征在于，所述供气装置包括末端总管、第一供气管线和一个备用供气管线。

【专利技术属性】
技术研发人员：于金凤，朱刘，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34