一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在调压管上装设有调压控制阀；粗滤硅烷储罐、尾气精馏塔、尾气粗分塔、还原粗分塔的排气口分别通过排气管与冷凝罐的进料口连通，在排气管上装设有排气控制阀。优点：采用氢气代替氮气加压，加压气体无需排空，而是通过尾气回收系统对氢气进行回收利用，避免工艺气浪费，降低成本；减少氮气消耗，同时可解决氮气加压带来的产品品质降低的问题。

A pressure charged gas recovery system for polysilicon production system

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统
：本技术涉及多晶硅生产系统
，具体地说涉及一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统。
技术介绍
：多晶硅生产系统包括三氯氢硅合成单元、四氯化硅的热氢化单元、精馏单元、还原单元和尾气回收单元，其中，在精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔在工艺生产过程中均需要氮气进行恒压调节，调压的后氮气放空，采用氮气恒压一方面会造成氮气浪费，成本增加；另一方面，氮气会造成多晶硅氮成分超标，影响产品质量。
技术实现思路
：本技术的目的在于提供一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，以降低成本。本技术由如下技术方案实施：一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，所述氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在所述调压管上装设有调压控制阀；所述粗滤硅烷储罐、所述尾气精馏塔、所述尾气粗分塔、所述还原粗分塔的排气口分别通过排气管与所述冷凝罐的进料口连通，在所述排气管上装设有排气控制阀；所述冷凝罐的出料口通过排液管与所述回收罐的进口连通，在所述排液管上装设有排液控制阀；所述冷凝罐的排气口通过回收管与所述尾气回收单元的进气口连通，在所述回收管上装设有回收控制阀。进一步的，其还包括设置在所述排气管与所述冷凝罐之间的缓冲罐，各个所述排气管的出口与所述缓冲罐灌顶的进气口管线连通，所述缓冲罐的灌顶的出气口与所述冷凝罐的进口管线连通。进一步的，所述缓冲罐罐底的排液口通过管线与所述回收罐的进口连通；在所述缓冲罐与所述回收罐之间的管线上装设有缓冲罐控制阀。本技术的优点：采用氢气代替氮气加压，加压气体无需排空，而是通过尾气回收系统对氢气进行回收利用，避免工艺气浪费，降低成本；减少氮气消耗，同时可解决氮气加压带来的产品品质降低的问题。附图说明：图1为实施例1的整体结构示意图。图2为实施例2的整体结构示意图。氢气气源1、冷凝罐2、回收罐3、调压管4、精馏单元5、粗滤硅烷储罐5.1、尾气回收单元6、尾气精馏塔6.1、尾气粗分塔6.2、还原单元8、还原粗分塔8.1、调压控制阀9、排气管10、排气控制阀11、缓冲罐12、排液管13、排液控制阀14、缓冲罐控制阀15、回收管16、回收控制阀17。具体实施方式：在本技术的描述中，需要说明的是，如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。实施例1：如图1所示，一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其包括氢气气源1、冷凝罐2和回收罐3，氢气气源1为厂区的氢气工艺管线，氢气气源1分别通过调压管4与精馏单元5的粗滤硅烷储罐5.1、尾气回收单元6的尾气精馏塔6.1和尾气粗分塔6.2、还原单元8的还原粗分塔8.1的充压口连通；在调压管4上装设有调压控制阀9，粗滤硅烷储罐5.1、尾气精馏塔6.1、尾气粗分塔6.2、还原粗分塔8.1的排气口分别通过排气管10与冷凝罐2的进料口连通，在排气管10上装设有排气控制阀11；冷凝罐2的出料口通过排液管13与回收罐3的进口连通，在排液管上装设有排液控制阀14；冷凝罐2的排气口通过回收管16与尾气回收单元6的进气口连通，在回收管16上装设有回收控制阀17。本申请中，精馏单元5、尾气回收单元6、还原单元8属于现有技术中公知的多晶硅生产系统的组成单元；氢气气源1为厂区的氢气工艺气管网，氢气气源1送来的高压氢气经各个调压管4输送到对应的塔器中，采用氢气代替氮气加压，氢气为生产多晶硅的原料气，因此不会影响产品品质；同时，排放的加压氢气经过排气管10送入冷凝罐2换热后气液分离，气体经回收管16送回到尾气回收单元6的入口，利用原有的尾气回收单元6对氢气进行回收利用，分离出的液体经排液管13送入到回收罐3进行收集利用。实施例2：如图2所示，其整体结构与实施例1相同，不同之处在于，其还包括设置在排气管10与冷凝罐2之间的缓冲罐12，各个排气管10的出口与缓冲罐12灌顶的进气口管线连通，缓冲罐12灌顶的出气口与冷凝罐2的进口管线连通；各个塔器送来的加压氢气汇聚到缓冲罐12，可进行预混合，防止各个塔器因压力差异而造成冷凝罐2不稳定；缓冲罐12罐底的排液口通过管线与回收罐3的进口连通；在缓冲罐12与回收罐3之间的管线上装设有缓冲罐控制阀15；加压氢气携带的部分液体沉降在缓冲罐12的底部，通过管线一同汇入到回收罐3中。最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本技术的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本技术各实施例技术方案的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其特征在于，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，所述氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在所述调压管上装设有调压控制阀；所述粗滤硅烷储罐、所述尾气精馏塔、所述尾气粗分塔、所述还原粗分塔的排气口分别通过排气管与所述冷凝罐的进料口连通，在所述排气管上装设有排气控制阀；所述冷凝罐的出料口通过排液管与所述回收罐的进口连通，在所述排液管上装设有排液控制阀；所述冷凝罐的排气口通过回收管与所述尾气回收单元的进气口连通，在所述回收管上装设有回收控制阀。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产系统中的充压气体回收系统，其特征在于，其包括氢气气源、冷凝罐和回收罐，所述氢气气源分别通过调压管与精馏单元的粗滤硅烷储罐、尾气回收单元的尾气精馏塔和尾气粗分塔、还原单元的还原粗分塔的充压口连通，在所述调压管上装设有调压控制阀；所述粗滤硅烷储罐、所述尾气精馏塔、所述尾气粗分塔、所述还原粗分塔的排气口分别通过排气管与所述冷凝罐的进料口连通，在所述排气管上装设有排气控制阀；所述冷凝罐的出料口通过排液管与所述回收罐的进口连通，在所述排液管上装设有排液控制阀；所述冷凝罐的排气口通过回收管与所述尾气回收单...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊，刘金鹏，虎登慧，韩继文，
申请(专利权)人：内蒙古鄂尔多斯多晶硅业有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙;15