【技术实现步骤摘要】
一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手
本专利技术涉及金属掩膜板清洗
,具体是一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手。
技术介绍
有机电致发光器件,具有自发光、反应时间快、视角广、成本低、制造工艺简单、分辨率佳及高亮度等多项优点,被认为是下一代的平面显示器新兴应用技术。在OLED(OrganicLight-EmittingDiode,有机电发光二极管)技术中,用于真空蒸镀的掩膜板是一项非常重要和关键的部件,该部件的质量直接影响OLED产品的质量和制造成本。掩膜板(Mask),特别是细小网格的掩膜板(FineMask),在初加工成型后,会在网格内或表面残留金属边角料等颗粒物质,影响掩膜板的正常使用。在循环使用的过程中,掩膜板上会沾上有机发光材料等杂质,这些杂质将影响掩膜板的精度或正常使用,在将掩膜板再次投入使用前必须清除。目前用于清洗金属掩膜板的清洗系统包括若干个并排布置的清洗槽,通过机械手将装载金属掩膜板的吊具依顺序过清洗槽,现有的机械手结构复杂,投入成本较高,维护费用高。
技术实现思路
本专利技术的目的就是为了解决现有金属掩膜板清洗系统的机械手结构复杂,投入成本较高,维护费用高的问题,提供一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手。本专利技术的具体方案是:一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手,包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构,行走机构上装有升降机构,行走机构包括矩形框架,矩形框架的一根横梁上装有减速电机,减速电机的两个输出端各装有一根传动轴,每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮 ...
【技术保护点】
1.一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手,包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构,行走机构上装有升降机构,其特征是:行走机构包括矩形框架,矩形框架的一根横梁上装有减速电机,减速电机的两个输出端各装有一根传动轴,每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮,矩形框架另一横梁的两端装有从动轮,矩形框架中间固定装有一个龙门架,龙门架上装有抓取支架,抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用,龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于金属掩膜板清洗系统的机械手,包括安装在清洗系统纵向梁上的行走机构,行走机构上装有升降机构,其特征是:行走机构包括矩形框架,矩形框架的一根横梁上装有减速电机,减速电机的两个输出端各装有一根传动轴,每根传动轴末端装有沿纵向梁行走的驱动轮,矩形框架另一横梁的两端装有从动轮,矩形框架中间固定装有一个龙门架,龙门架上装有抓取支架,抓取支架与装载金属掩膜板的吊具配合作用,龙门架上装有用于驱动抓取支架升降的升降驱动机构。
2.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:唐军,
申请(专利权)人:湖北浚山光电有限公司,
类型:发明
国别省市:湖北;42
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