包括散热构件的沉积设备制造技术

提供了一种包括散热构件的沉积设备。所述沉积设备包括：腔室；沉积源；以及工作台，设置在腔室中，在工作台上安装有目标物体。沉积设备还包括：第一板，结合到腔室；以及第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括多个扩散孔。沉积设备还包括：散热构件，与第一板和第二板接触，其中，散热构件包括多个侧壁部，其中，多个侧壁部彼此连接。沉积设备还包括：垫片，结合到多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，垫片平行于第一侧壁部而延伸。

Deposition equipment including cooling elements

【技术实现步骤摘要】
包括散热构件的沉积设备本专利申请要求于2018年12月12日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0160248号韩国专利申请的优先权，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
本公开涉及一种沉积设备，并且更具体地，涉及一种包括散热构件的沉积设备。
技术介绍
因为玻璃基板或塑料基板是透明的并且被制造为具有比硅基基板的表面积大的表面积，所以玻璃基板或塑料基板被广泛地用于制造显示装置。由于玻璃基板和塑料基板的转变温度低，因此应该在约200℃至约300℃的低温下执行膜沉积工艺，以防止基板变形。等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术即使在相对低的温度下也可被用于在大区域上沉积半导体和介电膜，因此，PECVD技术被广泛用于显示装置、太阳能电池等。在PECVD技术中，可基于电场而不是基于热量来供应用于分离沉积源的能量，因此，可将基板维持在相对低的温度。
技术实现思路
根据本专利技术构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，在工作台上安装有目标物体；第一板，结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括设置在第二板中的多个扩散孔；散热构件，与第一板和第二板接触，其中，散热构件包括多个侧壁部，其中，多个侧壁部彼此连接以形成包围第一板和第二板的外侧表面的框架形状；以及垫片，结合到多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，垫片平行于第一侧壁部而延伸。垫片的延伸长度比第一侧壁部的延伸长度短。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片设置在第一侧壁部的中心区域中。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片与第一板和第二板直接接触。在本专利技术构思的示例性实施例中，第二板包括第一侧边和第二侧边，第一侧边彼此面对并在第一方向上延伸，第二侧边彼此面对并在与第一方向交叉的第二方向上延伸，其中，垫片是多个垫片。多个垫片包括第一垫片和第二垫片，其中，第一垫片沿第一侧边延伸并彼此面对，第二垫片沿第二侧边延伸并彼此面对。每个第二垫片的延伸长度比每个第一垫片的延伸长度短。在本专利技术构思的示例性实施例中，每个第一垫片的延伸长度与第二板的第一侧边的长度的比率在约60％至约70％的范围内。在本专利技术构思的示例性实施例中，每个第二垫片的延伸长度与第二板的第二侧边的长度的比率在约20％至约30％的范围内。在本专利技术构思的示例性实施例中，第二板包括：扩散部，包括多个扩散孔；以及外围部，包围扩散部，其中，垫片设置在外围部上。在本专利技术构思的示例性实施例中，散热构件还包括多个底部，其中，多个底部中的每个从每个侧壁部的底端弯曲并且设置在第二板下方，并且每个侧壁部包括：第一部分，包括连接到第一板的内侧表面；第二部分，结合到第一部分的底端，并且包括结合到垫片的内侧表面；以及第三部分，将第二部分的底端连接到散热构件的底部，其中，第三部分的内侧表面连接到第二板。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片包括金属材料。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片包括与散热构件的材料基本相同的材料。在本专利技术构思的示例性实施例中，第二板和散热构件是单个物体。在本专利技术构思的示例性实施例中，孔穿透第一板，并且其中，沉积设备还包括连接到沉积源并围绕孔的圆筒。在本专利技术构思的示例性实施例中，沉积设备还包括电压发生器，电压发生器电连接到第二板并且被构造为向第二板提供电压以在第二板与工作台之间产生电场。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片具有六面体形状。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片包括弯曲表面。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片包括锥形端。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，其中，目标物体设置在工作台上并包括沉积区域；第一板，面对工作台，并且结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板具有矩形形状；散热构件，连接到第一板和第二板，其中，散热构件包括形成包围第一板和第二板的外侧表面的框架形状的多个侧壁部；以及多个垫片，设置在第一板与第二板之间，其中，多个垫片中的每个结合到多个侧壁部的一个侧壁部，并且多个垫片中的每个具有沿多个侧壁部延伸的杆形状。第二板包括：扩散部，与沉积区域叠置，其中，多个扩散孔设置在扩散部中；以及外围部，至少部分地围绕扩散部。多个垫片在外围部上彼此间隔开，并且与第一板和第二板直接接触。在本专利技术构思的示例性实施例中，每个垫片设置在多个侧壁部中的相应侧壁部的内侧表面的中心区域中。在本专利技术构思的示例性实施例中，垫片包括金属材料。根据本专利技术构思的示例性实施例，一种沉积设备包括：腔室；沉积源，包括沉积材料；工作台，设置在腔室中，其中，目标物体安装在工作台上并包括沉积区域；第一板，与工作台叠置，并且结合到腔室以限定空间；第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括在第一方向上延伸的第一侧边和与沉积区域叠置的多个扩散孔；散热构件，连接到第一板和第二板，其中，散热构件包括在第一方向上延伸的第一侧壁部；以及第一垫片，结合到散热构件的第一侧壁部，并且设置在第一板与第二板之间，其中，第一垫片具有在第一方向上延伸的矩形形状。第一垫片在第一方向上的长度比第一侧边在第一方向上的长度短。附图说明本公开的更完整的理解及其多个伴随的方面当结合附图考虑时通过参照以下详细描述，将容易得到，同时本公开的更完整的理解及其多个伴随的方面变得更好理解，在附图中：图1是示意性地示出根据本专利技术构思的示例性实施例的沉积设备的剖视图；图2是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图1的沉积设备的分解透视图；图3是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图2中所示的垫片的放大的透视图；图4是根据本专利技术构思的示例性实施例的图1中所示的散热构件和垫片的俯视平面图；图5是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的安装在散热构件上的第二板的图；图6A、图6B和图6C是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的第二板的温度随着空间变化的曲线图；图7是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的沉积设备的剖视图；图8是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的图7中所示的扩散结构的区域的放大的透视图；图9是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图；图10是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图；以及图11是示出根据本专利技术构思的示例性实施例的扩散结构的俯视平面图。具体实施方式现在将参照附图更全面地描述本专利技术构思的示例性实施例。然而，本专利技术构思的示例性实施例可以以多种不同的形式实施，因此不应被解释为受限于在这里阐述的示例性实施例。在附图中，为了清楚，可夸大层和区域的厚度。附图中的同样的附图标记可表示同样的元件，因此可省略它们的描述。将理解的是，当元件被称为被“连接”或“结合”到另一元件时，所述元件可直接连接或结合到另一元件，或者可存本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种沉积设备，所述沉积设备包括：/n腔室；/n沉积源，包括沉积材料；/n工作台，设置在所述腔室中，在所述工作台上安装有目标物体；/n第一板，结合到所述腔室以限定空间；/n第二板，设置在所述第一板与所述工作台之间，其中，所述第二板包括设置在所述第二板中的多个扩散孔；/n散热构件，与所述第一板和所述第二板接触，其中，所述散热构件包括多个侧壁部，其中，所述多个侧壁部彼此连接以形成包围所述第一板和所述第二板的外侧表面的框架形状；以及/n垫片，结合到所述多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在所述第一板与所述第二板之间，其中，所述垫片平行于所述第一侧壁部而延伸，/n其中，所述垫片的延伸长度比所述第一侧壁部的延伸长度短。/n

【技术特征摘要】
20181212 KR 10-2018-01602481.一种沉积设备，所述沉积设备包括：
腔室；
沉积源，包括沉积材料；
工作台，设置在所述腔室中，在所述工作台上安装有目标物体；
第一板，结合到所述腔室以限定空间；
第二板，设置在所述第一板与所述工作台之间，其中，所述第二板包括设置在所述第二板中的多个扩散孔；
散热构件，与所述第一板和所述第二板接触，其中，所述散热构件包括多个侧壁部，其中，所述多个侧壁部彼此连接以形成包围所述第一板和所述第二板的外侧表面的框架形状；以及
垫片，结合到所述多个侧壁部的第一侧壁部，并且设置在所述第一板与所述第二板之间，其中，所述垫片平行于所述第一侧壁部而延伸，
其中，所述垫片的延伸长度比所述第一侧壁部的延伸长度短。


2.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述垫片设置在所述第一侧壁部的中心区域中。


3.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述垫片与所述第一板和所述第二板直接接触。


4.如权利要求1所述的沉积设备，其中，所述第二板包括第一侧边和第二侧边，所述第一侧边彼此面对并在第一方向上延伸，所述第二侧边彼此面对并在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸，
其中，所述垫片是多个垫片，
其中，所述多个垫片包括：第一垫片，沿所述第一侧边延伸并且彼此面对；以及第二垫片，沿所述第二侧边延伸并且彼此面对，并且
其中，...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟镐，潘淑焕，宋鎭伍，兪炯硕，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR