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提供了一种包括散热构件的沉积设备。所述沉积设备包括：腔室；沉积源；以及工作台，设置在腔室中，在工作台上安装有目标物体。沉积设备还包括：第一板，结合到腔室；以及第二板，设置在第一板与工作台之间，其中，第二板包括多个扩散孔。沉积设备还包括：散热...
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