高贴膜平整度的贴膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高贴膜平整度的贴膜机，其技术方案要点是，包括本体，还包括沿本体宽度方向设置的薄膜解卷辊、设于本体顶面的嵌槽、安装于嵌槽用于对放置的硅片进行定位的定位模具、沿本体宽度方向设置的压膜辊和沿本体宽度方向设置的薄膜收卷辊；所述薄膜解卷辊和薄膜收卷辊分别位于本体长度方向的两端，所述压膜辊位于薄膜解卷辊和薄膜收卷辊之间；还包括沿本体长度方向滑移设置的安装架和用于产生动力驱使安装架沿本体长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊安装于安装架。本实用新型专利技术具有贴膜高效、平整的优势。

Film applicator with high film flatness

【技术实现步骤摘要】
高贴膜平整度的贴膜机
本技术涉及半导体切割加工
，更具体地说，它涉及一种高贴膜平整度的贴膜机。
技术介绍
图1、图2所示的是由硅单晶棒制的矩形硅片9、圆形硅片9，其中圆形的硅片9又称晶圆。硅片9经由切割可得到尺寸更小、适用于制作各类电子元器件的小型硅片9。由于硅片9容易被污染或损坏，且为了便于后续切割，在上机切割前需要对硅片9进行覆膜保护。常规的覆膜操作是手工作业。如图3所示，选择环状模片92作为基础支撑件，在环状模片92上覆一层透明塑料膜91，然后将硅片9手工贴合于透明塑料膜91表面的中央位置。借助金属材质的环状模片92可方便地实现对硅片9的夹持固定，不会造成硅片9污染或损伤。手工贴膜时，需要拉拽塑料膜使其覆盖于环形模片和硅片，容易因为塑料膜宽度方向各处受力不均匀，或拉拽用力过猛造成塑料膜变形，使得贴覆于环状模片的塑料膜起皱，导致需要返工，影响贴膜效率的提升。因而，有必要针对硅片切割前的覆膜操作设计一种专用的、能够高效贴膜且贴膜平整的贴膜装置。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种高贴膜平整度的贴膜机，其具有贴膜高效、平整的优势。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种高贴膜平整度的贴膜机，包括本体，还包括沿本体宽度方向设置的薄膜解卷辊、设于本体顶面的嵌槽、安装于嵌槽用于对放置的硅片进行定位的定位模具、沿本体宽度方向设置的压膜辊和沿本体宽度方向设置的薄膜收卷辊；所述薄膜解卷辊和薄膜收卷辊分别位于本体长度方向的两端，所述压膜辊位于薄膜解卷辊和薄膜收卷辊之间；还包括沿本体长度方向滑移设置的安装架和用于产生动力驱使安装架沿本体长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊安装于安装架。通过采用上述技术方案，对硅片进行贴膜时，先将环状模片放置于本体顶面，然后将硅片放置于定位模具，使得硅片位于环状模片中央。再拉拽塑料膜使得塑料膜沿本体长度方向覆盖于环状模片、硅片，且末端卷绕于薄膜收卷辊。转动薄膜收卷辊，即可使得塑料膜绷平，解决手工拉拽容易因宽度方向各点受力不均匀造成的起皱、破损问题。然后，在驱动机构的驱使下，可使得压膜辊随着安装架沿本体长度方向移动，利用压膜辊轻压塑料膜表面，使得塑料膜与硅片、环状模片贴合牢固，不易造成后续裁切时塑料膜脱离。采用本技术进行硅片切割前的覆膜操作高效、顺利，贴膜平整。进一步地，所述安装架呈U型，包括横杆和设置于横杆两端的立柱；所述压膜辊平行于横杆设置，且两端分别转动连接于两立柱；所述本体内设有容纳腔，顶面沿长度方向开有两条与容纳腔连通的滑槽；所述驱动机构包括通过滑轨沿本体长度方向滑移设于容纳腔内底壁的滑块，所述滑块连接有用于产生沿本体长度方向驱动力的动力源；两根所述立柱分别插入滑槽内且远离横杆一端均固定于滑块。通过采用上述技术方案，动力源产生动力驱使滑块沿本体长度方向滑移，从而带动安装架滑移，完成压膜辊对塑料膜的移动碾压动作，使得塑料膜平整、贴合牢固。进一步地，所述动力源包括伺服电机和沿本体长度方向贯穿滑块设置的丝杠，所述丝杠一端与伺服电机连接、另一端转动连接于容纳腔内壁。通过采用上述技术方案，伺服电机通电即可工作，容易控制启闭和转向，便于控制滑块的滑移方向。进一步地，所述本体顶面沿长边设有两块立板，两块立板相互平行；所述立板上沿垂直于本体顶面方向开有供薄膜解卷辊端部卡入的卡槽，所述卡槽开口处设有阻挡机构。通过采用上述技术方案，贴膜作业前，将卷绕有塑料膜的薄膜解卷辊安装于两立板处即可。安装时，使得薄膜解卷辊两端分别卡嵌于卡槽，然后安装阻挡机构，以防止薄膜解卷辊脱离卡槽。进一步地，所述阻挡机构包括设于卡槽开口处的挡板，所述挡板上插设有若干插入至立板内的固定螺栓。通过采用上述技术方案，挡板可以方便地拆卸安装，使得拆装薄膜解卷辊的操作简单方便。进一步地，所述薄膜收卷辊的两端均设置有安装座，所述安装座均固定于本体长度方向的端面。通过采用上述技术方案，裁切后的废料被收卷于薄膜收卷辊，一方面使得废料更容易处理，另一方面通过薄膜收卷辊的收卷可使得塑料膜处于绷平状态、在塑料膜宽度方向上各处均匀受力，不易出现起皱、破裂问题。进一步地，所述薄膜收卷辊的一端或两端连接有Z字型摇杆。通过采用上述技术方案，旋转薄膜收卷辊的操作简单、使得本技术方案更容易实现。进一步地，所述本体顶面沿本体宽度方向设有两处导向辊，一处所述导向辊沿本体短边设置且设于靠近薄膜收卷辊处，另一导向辊的两端均转动连接于立板。通过采用上述技术方案，塑料膜从薄膜解卷辊解卷后一次绕过两根导向辊，再卷绕于薄膜收卷辊，使得塑料膜受力均匀，不易起皱。综上所述，本技术具有以下有益效果：1、利用薄膜解卷辊和薄膜收卷辊相互配合，一放一卷，使得塑料膜均匀受力，不易出现起皱等问题，同时方便了对废料的清理；2、压膜辊和安装架能够在驱动机构的驱动下沿本体长度方向滑移，完成对塑料膜的碾压贴合，增加了塑料膜的贴合牢度。附图说明图1为
技术介绍
中矩形硅片的结构示意图；图2为
技术介绍
中圆形硅片的结构示意图；图3为
技术介绍
中硅片、塑料膜和环状模片的结构示意图；图4为实施例中高贴膜平整度的贴膜机的结构示意图；图5为实施例中高贴膜平整度的贴膜机的剖视图；图6为图5中A部分的放大图。图中：1、本体；11、嵌槽；111、沉槽；12、定位模具；13、容纳腔；14、滑槽；15、立板；151、卡槽；152、挡板；153、固定螺栓；2、薄膜解卷辊；3、薄膜收卷辊；31、安装座；32、Z字型摇杆；4、压膜辊；5、安装架；51、横杆；52、立柱；6、滑块；61、滑轨；7、伺服电机；71、丝杠；8、导向辊；9、硅片；91、塑料膜；92、环状模片。具体实施方式以下结合附图对本技术作进一步详细说明。实施例：一种高贴膜平整度的贴膜机，参照图4，其包括矩形的本体1，本体1的顶面为用于进行贴膜操作的工作平台。在本体1顶面的一端，沿本体1长边设置有两块相互平行的立板15。立板15上沿垂直于本体1顶面方向开有U型的卡槽151。两块立板15之间设置有薄膜解卷辊2，薄膜解卷辊2两端分别卡嵌于卡槽151。卡槽151的开口处设置有挡板152，挡板上插设有固定螺栓153，固定螺栓153插入至立板15内。挡板152的设置使得薄膜解卷过程中，薄膜解卷辊2不会因拉拽而脱离卡槽151。参照图4，本体1的顶面中部设有圆形的嵌槽11，嵌槽11内嵌设有定位模具12。定位模具12的基体为嵌入嵌槽11内的圆形板，圆形板顶面设置有圆形的垫板。待贴膜的硅片9放置于垫板，使圆形的硅片9与垫板重合即可。参照图4，本体1上还设有两处导向辊8，导向辊8均沿本体1的宽度方向设置。一根导向辊8安装于立板15朝向嵌槽11的侧面，从薄膜解卷辊2解卷的塑料膜91可从该根导向辊8下方绕过后，沿本体1长度方向被拉拽移动。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高贴膜平整度的贴膜机，包括本体(1)，其特征在于：还包括沿本体(1)宽度方向设置的薄膜解卷辊(2)、设于本体(1)顶面的嵌槽(11)、安装于嵌槽(11)用于对放置的硅片(9)进行定位的定位模具(12)、沿本体(1)宽度方向设置的压膜辊(4)和沿本体(1)宽度方向设置的薄膜收卷辊(3)；所述薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)分别位于本体(1)长度方向的两端，所述压膜辊(4)位于薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)之间；还包括沿本体(1)长度方向滑移设置的安装架(5)和用于产生动力驱使安装架(5)沿本体(1)长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊(4)安装于安装架(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种高贴膜平整度的贴膜机，包括本体(1)，其特征在于：还包括沿本体(1)宽度方向设置的薄膜解卷辊(2)、设于本体(1)顶面的嵌槽(11)、安装于嵌槽(11)用于对放置的硅片(9)进行定位的定位模具(12)、沿本体(1)宽度方向设置的压膜辊(4)和沿本体(1)宽度方向设置的薄膜收卷辊(3)；所述薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)分别位于本体(1)长度方向的两端，所述压膜辊(4)位于薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)之间；还包括沿本体(1)长度方向滑移设置的安装架(5)和用于产生动力驱使安装架(5)沿本体(1)长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊(4)安装于安装架(5)。


2.根据权利要求1所述的高贴膜平整度的贴膜机，其特征在于：所述安装架(5)呈U型，包括横杆(51)和设置于横杆(51)两端的立柱(52)；所述压膜辊(4)平行于横杆(51)设置，且两端分别转动连接于两立柱(52)；所述本体(1)内设有容纳腔(13)，顶面沿长度方向开有两条与容纳腔(13)连通的滑槽(14)；所述驱动机构包括通过滑轨(61)沿本体(1)长度方向滑移设于容纳腔(13)内底壁的滑块(6)，所述滑块(6)连接有用于产生沿本体(1)长度方向驱动力的动力源；两根所述立柱(52)分别插入滑槽(14)内且远离横杆(51)一端均固定于滑块(6)。


3.根据权利要求2所述的高贴膜平整度的贴膜机，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志卫，张仕俊，孙军，
申请(专利权)人：苏州新米特电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32