高贴膜平整度的贴膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高贴膜平整度的贴膜机，其技术方案要点是，包括本体，还包括沿本体宽度方向设置的薄膜解卷辊、设于本体顶面的嵌槽、安装于嵌槽用于对放置的硅片进行定位的定位模具、沿本体宽度方向设置的压膜辊和沿本体宽度方向设置的薄膜收卷辊；所述薄膜解卷辊和薄膜收卷辊分别位于本体长度方向的两端，所述压膜辊位于薄膜解卷辊和薄膜收卷辊之间；还包括沿本体长度方向滑移设置的安装架和用于产生动力驱使安装架沿本体长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊安装于安装架。本实用新型专利技术具有贴膜高效、平整的优势。

Film applicator with high film flatness

【技术实现步骤摘要】
高贴膜平整度的贴膜机
本技术涉及半导体切割加工
，更具体地说，它涉及一种高贴膜平整度的贴膜机。
技术介绍
图1、图2所示的是由硅单晶棒制的矩形硅片9、圆形硅片9，其中圆形的硅片9又称晶圆。硅片9经由切割可得到尺寸更小、适用于制作各类电子元器件的小型硅片9。由于硅片9容易被污染或损坏，且为了便于后续切割，在上机切割前需要对硅片9进行覆膜保护。常规的覆膜操作是手工作业。如图3所示，选择环状模片92作为基础支撑件，在环状模片92上覆一层透明塑料膜91，然后将硅片9手工贴合于透明塑料膜91表面的中央位置。借助金属材质的环状模片92可方便地实现对硅片9的夹持固定，不会造成硅片9污染或损伤。手工贴膜时，需要拉拽塑料膜使其覆盖于环形模片和硅片，容易因为塑料膜宽度方向各处受力不均匀，或拉拽用力过猛造成塑料膜变形，使得贴覆于环状模片的塑料膜起皱，导致需要返工，影响贴膜效率的提升。因而，有必要针对硅片切割前的覆膜操作设计一种专用的、能够高效贴膜且贴膜平整的贴膜装置。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高贴膜平整度的贴膜机，包括本体(1)，其特征在于：还包括沿本体(1)宽度方向设置的薄膜解卷辊(2)、设于本体(1)顶面的嵌槽(11)、安装于嵌槽(11)用于对放置的硅片(9)进行定位的定位模具(12)、沿本体(1)宽度方向设置的压膜辊(4)和沿本体(1)宽度方向设置的薄膜收卷辊(3)；所述薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)分别位于本体(1)长度方向的两端，所述压膜辊(4)位于薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)之间；还包括沿本体(1)长度方向滑移设置的安装架(5)和用于产生动力驱使安装架(5)沿本体(1)长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊(4)安装于安装架(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种高贴膜平整度的贴膜机，包括本体(1)，其特征在于：还包括沿本体(1)宽度方向设置的薄膜解卷辊(2)、设于本体(1)顶面的嵌槽(11)、安装于嵌槽(11)用于对放置的硅片(9)进行定位的定位模具(12)、沿本体(1)宽度方向设置的压膜辊(4)和沿本体(1)宽度方向设置的薄膜收卷辊(3)；所述薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)分别位于本体(1)长度方向的两端，所述压膜辊(4)位于薄膜解卷辊(2)和薄膜收卷辊(3)之间；还包括沿本体(1)长度方向滑移设置的安装架(5)和用于产生动力驱使安装架(5)沿本体(1)长度方向移动的驱动机构；所述压膜辊(4)安装于安装架(5)。


2.根据权利要求1所述的高贴膜平整度的贴膜机，其特征在于：所述安装架(5)呈U型，包括横杆(51)和设置于横杆(51)两端的立柱(52)；所述压膜辊(4)平行于横杆(51)设置，且两端分别转动连接于两立柱(52)；所述本体(1)内设有容纳腔(13)，顶面沿长度方向开有两条与容纳腔(13)连通的滑槽(14)；所述驱动机构包括通过滑轨(61)沿本体(1)长度方向滑移设于容纳腔(13)内底壁的滑块(6)，所述滑块(6)连接有用于产生沿本体(1)长度方向驱动力的动力源；两根所述立柱(52)分别插入滑槽(14)内且远离横杆(51)一端均固定于滑块(6)。


3.根据权利要求2所述的高贴膜平整度的贴膜机，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志卫，张仕俊，孙军，
申请(专利权)人：苏州新米特电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32