一种用于陶瓷件的扩膜机制造技术

本申请公开了一种用于陶瓷件的扩膜机，涉及半导体陶瓷件生产设备领域，其包括机体、工作台、上基座、下基座以及用于控制上基座和下基座相对运动的电控模块，所述下基座包括相对工作平台升降的中心基座和多个基座环，多个所述基座环同轴并依次绕设于中心基座外侧，所述下基座的最大直径不大于上基座的直径；所述机体上还升降设置有用于在下基座外侧压紧蓝膜的压圈，所述压圈、上基座和中心基座均呈同轴布设，所述压圈内侧设置有用于可拆卸固定不同规格的切割铁环的固定装置。工作人员能够根据待扩膜的陶瓷件的数量/面积/规格相应地调整下基座的整体面积，提高单台扩膜机对不同数量/面积/规格的陶瓷件的适应性，均匀扩膜并提高扩膜效率。高扩膜效率。高扩膜效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于陶瓷件的扩膜机


[0001]本申请涉及半导体陶瓷件生产设备领域，尤其是涉及一种用于陶瓷件的扩膜机。

技术介绍

[0002]半导体陶瓷件是指具有半导体特性、可用于非线性电阻的陶瓷件，常见的有氮化铝或氧化铝陶瓷材料，一般呈现为晶圆陶瓷或晶带陶瓷。而晶圆陶瓷或晶带陶瓷在生产过程中，均涉及到贴膜、激光切膜、去膜、倒膜、扩膜等工艺；其中，扩膜是指将排列紧密的晶片均匀分开，使之能够更好地植入或焊接到工件上，一般采用扩膜机进行。
[0003]相关技术中，申请公布号为CN108807236A的一篇中国专利技术专利申请文献公开了一种半自动扩膜机及其扩膜工艺，其能够进行手动扩膜和自动扩膜，其包括工作平台、相对工作平台升降的扩膜基座以及压紧产品的压圈，工作平台上设置有两个固定件，其中一个固定件与压圈的外围通过不锈钢铰链连接，使固定压圈能够在垂直平面内转动，另一个固定件设置有锁扣，压圈一端设置有适于与锁扣紧密咬合的锁扣；在对陶瓷件进行扩膜时，首先在基座上放置扩晶子母环，再将粘有经划片待测试的扩张蓝膜平铺在扩膜机基座上，加热蓝膜，并在蓝膜上放置切割铁环，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于陶瓷件的扩膜机，包括机体（1）、设于机体（1）上的工作台（2）、分别设于机体（1）和工作台（2）上的圆盘状的上基座（3）和下基座（4）以及用于控制上基座（3）和下基座（4）相对运动的电控模块，其特征在于：所述下基座（4）包括相对工作平台升降的中心基座（41）和多个基座环（42），多个所述基座环（42）同轴并依次绕设于中心基座（41）外侧；所述机体（1）上还升降设置有用于在下基座（4）外侧压紧蓝膜的压圈（5），所述压圈（5）、上基座（3）和中心基座（41）均呈同轴布设，且所述压圈（5）内侧设置有用于可拆卸固定不同规格的切割铁环的固定装置（6）。2.根据权利要求1所述的一种用于陶瓷件的扩膜机，其特征在于：所述压圈（5）内侧开设有多个安装槽（51），所述固定装置（6）包括一一对应地转动连接于多个安装槽（51）内的多个夹持爪（61）、用于驱动多个夹持爪（61）沿朝向中心基座（41）靠近/远离的方向转动并对多个夹持爪（61）的转动进行锁止的角度调节机构（62）以及用于驱动夹持爪（61）靠近或远离中心基座（41）的驱动机构（63）；所述夹持爪（61）的自由端处设置有电磁铁（611），所述电控模块控制电磁铁（611）的电力通断。3.根据权利要求2所述的一种用于陶瓷件的扩膜机，其特征在于：所述角度调节机构（62）包括多组对应设于夹持爪（61）远离电磁铁（611）的一端端部的调节齿轮（621）、沿压圈（5）的径向方向滑动连接于压圈（5）上的齿条（622）以及用于对齿条（622）的滑动进行控制的控制组件，所述调节齿轮（621）和齿条（622）相啮合。4.根据权利要求3所述的一种用于陶瓷件的扩膜机，其特征在于：所述控制组件包括同轴转动连接于压圈（5）上的空心锥齿环（623）、对应设于多个夹持爪（61）端部的多组锥齿轮（624）和丝杆（625）以及用于驱动空心锥齿环（623）转动的驱动部件，所述锥齿轮（624）的轴线与压圈（5）的轴线相垂直，所述锥齿轮（624）沿其轴线转动连接于压圈（5）上并与空心锥齿环（623）相啮合；所述丝杆（625）同轴设于锥齿轮（624）中部并与锥齿轮（624）螺纹连接，所述齿条（622）固定连接于丝杆（625）靠近压...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志卫，
申请(专利权)人：苏州新米特电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：