一种抛光液冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在出液腔顶部设有出液管，入水管接头通过管道与水泵出液口相接，水泵入液口通过管道与水冷箱出水口相接，出水管接头通过管道与水冷箱入水口相接。本实用新型专利技术通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储液腔、出液腔和冷却腔三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。

A cooling device for polishing fluid

【技术实现步骤摘要】
一种抛光液冷却装置
本技术涉及半导体材料抛光
，具体涉及一种抛光液冷却装置。
技术介绍
抛光设备尤其是化学机械抛光设备是一种精密加工设备，其抛光过程所需的相对运动由抛光头和抛光盘之间的相对运动而产生。待抛光工件放在抛光头内，抛光垫粘贴在抛光盘表面，通过抛光头对工件施加一定压力，使工件压于抛光垫表面，依靠工件和抛光垫之间的相对运动，并借助于抛光液中的磨粒实现对工件表面的精加工。抛光过程中，由于工件与抛光垫之间的摩擦及抛光液中磨粒的微观切削作用，将会产生大量的热，使抛光液温度升高，故在抛光液的循环使用中，若不对其进行降温处理将会加速化学机械抛光过程中的化学作用，从而造成化学作用与机械去除作用失衡，会使表面加工质量受到很大影响。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种抛光液冷却装置，该装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。按照本技术提供的技术方案，所述一种抛光液冷却装置，包括供液桶、水冷箱、水泵，其特征是：所述供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光液冷却装置，包括供液桶（1）、水冷箱（2）、水泵（3），其特征是：所述供液桶（1）的桶壁是由内壁（4）、中间壁（5）和外壁（6）构成的三层结构，三层结构的内壁（4）形成储液腔（7），三层结构的内壁（4）和中间壁（5）之间形成出液腔（8），三层结构的中间壁（5）和外壁（6）之间形成冷却腔（9），在所述出液腔（8）的内壁（4）上开设有一个或多个出液孔（10），在所述出液腔（8）顶面设有出液管（11），在所述冷却腔（9）外壁（6）上设有入水管接头（12）和出水管接头（13），所述入水管接头（12）通过管道与水泵（3）出液口相接，所述水泵（3）入液口通过管道与所述水冷箱（2）出水口相接，所...

【技术特征摘要】
1.一种抛光液冷却装置，包括供液桶（1）、水冷箱（2）、水泵（3），其特征是：所述供液桶（1）的桶壁是由内壁（4）、中间壁（5）和外壁（6）构成的三层结构，三层结构的内壁（4）形成储液腔（7），三层结构的内壁（4）和中间壁（5）之间形成出液腔（8），三层结构的中间壁（5）和外壁（6）之间形成冷却腔（9），在所述出液腔（8）的内壁（4）上开设有一个或多个出液孔（10），在所述出液腔（8）顶面设有出液管（11），在所述冷却腔（9）外壁（6）上设有入水管接头（12）和出水管接头（13），所述入水管接头（12）通过管道与水泵（3）出液口相接，所述水泵（3）入液口通过管道与所述水冷箱（2）出水口相接，所述出水管接头（13）通过管道与所述水冷箱（2）入水口相接。

【专利技术属性】
技术研发人员：宋迎顺，
申请(专利权)人：精晶科技湖北有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42