一种抛光液冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在出液腔顶部设有出液管，入水管接头通过管道与水泵出液口相接，水泵入液口通过管道与水冷箱出水口相接，出水管接头通过管道与水冷箱入水口相接。本实用新型专利技术通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储液腔、出液腔和冷却腔三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。

A cooling device for polishing fluid

【技术实现步骤摘要】
一种抛光液冷却装置
本技术涉及半导体材料抛光
，具体涉及一种抛光液冷却装置。
技术介绍
抛光设备尤其是化学机械抛光设备是一种精密加工设备，其抛光过程所需的相对运动由抛光头和抛光盘之间的相对运动而产生。待抛光工件放在抛光头内，抛光垫粘贴在抛光盘表面，通过抛光头对工件施加一定压力，使工件压于抛光垫表面，依靠工件和抛光垫之间的相对运动，并借助于抛光液中的磨粒实现对工件表面的精加工。抛光过程中，由于工件与抛光垫之间的摩擦及抛光液中磨粒的微观切削作用，将会产生大量的热，使抛光液温度升高，故在抛光液的循环使用中，若不对其进行降温处理将会加速化学机械抛光过程中的化学作用，从而造成化学作用与机械去除作用失衡，会使表面加工质量受到很大影响。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种抛光液冷却装置，该装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强。按照本技术提供的技术方案，所述一种抛光液冷却装置，包括供液桶、水冷箱、水泵，其特征是：所述供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔，在所述出液腔的内壁上开设有一个或多个出液孔，在所述出液腔顶面设有出液管，在所述冷却腔外壁上设有入水管接头和出水管接头，所述入水管接头通过管道与水泵出液口相接，所述水泵入液口通过管道与所述水冷箱出水口相接，所述出水管接头通过管道与所述水冷箱入水口相接。进一步地，所述出液孔在所述内壁下侧沿周向均匀设置。进一步地，在所述储液腔的内壁上侧设有液位传感器，所述液位传感器连接有报警器。进一步地，所述出液孔处设有滤网。在所述入水管接头与所述水泵出液口相接的管道上设有压力传感器。所述出液管上设有温度传感器。本技术结构通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储蓄抛光液的储液腔、用于出液的出液腔和用于冷却的冷却腔这三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、实用性强，能节约资源、降低成本。附图说明图1为本技术所述一种抛光液冷却装置的结构示意图。附图标记说明：1-供液桶、2-水冷箱、3-水泵、4-内壁、5-中间壁、6-外壁、7-储液腔、8-出液腔、9-冷却腔、10-出液孔、11-出液管、12-入水管接头、13-出水管接头、14-液位传感器、15-压力传感器、16-温度传感器、17-回流管。具体实施方式下面结合具体附图对本技术作进一步说明。如图1所示，本技术一种抛光液冷却装置包括供液桶1、水冷箱2、水泵3，所述供液桶1的桶壁是由内壁4、中间壁5和外壁6构成的三层结构，三层结构的内壁4形成储液腔7，三层结构的内壁4和中间壁5之间形成出液腔8，三层结构的中间壁5和外壁6之间形成冷却腔9，在所述出液腔8的内壁4下侧沿周向开设有一排间隔均匀的出液孔10，在所述出液腔8顶面设有出液管11，出液腔8内的抛光液在流出的过程中能与冷却腔9内的冷却水进行充分的冷热交换冷却，在所述冷却腔9外壁6下侧设有入水管接头12、在外壁6上侧设有出水管接头13，入水管接头12通过管道与水泵3出液口相接，水泵3入液口通过管道与水冷箱2出水口相接，出水管接头13通过管道与水冷箱2入水口相接。在所述储液腔7的内壁4上侧设有液位传感器14，所述液位传感器14连接有报警器，当储液腔7内储蓄的抛光液在循环使用过程中损耗过多，液位较低时，液位传感器14检测液位信息并通过报警器报警，提醒需要向供液桶中新添抛光液。所述出液孔10处设有滤网对循环使用的抛光液的流出进行预过滤处理。在所述入水管接头12与水泵3出液口相接的管道上设有压力传感器15，在所述出液管11上设有温度传感器16，通过温度传感器16实时监测出液管11内抛光液的温度，当温度超过预设的温度阈值时，通过压力传感器15实时调节入水管接头12内冷却水的流量，达到及时对出液腔8内的抛光液进行冷却降温的目的。本技术的工作原理是：如图1所示，向供液桶1内侧的储液腔7添加抛光液至一定液位，在供液桶1的储液腔7放置抛光液回流管17，工作时，冷却水通过压力传感器15以一定流量从入水管接头12进入冷却腔9，并经出水管接头13流出，形成循环冷却水通道，同时，回流管17中的抛光液流入储液腔7内，储液腔7下侧的抛光液通过出液孔10流进出液腔8内，分别与外侧冷却腔9内的冷却水和内侧储液腔7内的抛光液进行充分的冷热交换冷却后通过顶面的出液管11流出循环利用。出液管11上设有温度传感器16，通过温度传感器16实时监测出液管11内抛光液的温度，当温度超过预设的温度阈值时，通过压力传感器15实时调节入水管接头12内冷却水的流量，达到及时对出液腔8内的抛光液进行冷却降温的目的。当储液腔7内储蓄的抛光液在循环使用过程中损耗过多，液位较低时，液位传感器14检测液位信息并通过报警器报警，提醒需要向供液桶中新添抛光液。本技术结构通过设置三层结构桶壁，将抛光液冷却装置分为储蓄抛光液的储液腔7、用于出液的出液腔8和用于冷却的冷却腔9这三个腔室，使得抛光液冷却装置能对待使用的抛光液快速降温后循环利用，结构简单、冷却效果好、实用性强，能节约资源、降低成本。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光液冷却装置，包括供液桶（1）、水冷箱（2）、水泵（3），其特征是：所述供液桶（1）的桶壁是由内壁（4）、中间壁（5）和外壁（6）构成的三层结构，三层结构的内壁（4）形成储液腔（7），三层结构的内壁（4）和中间壁（5）之间形成出液腔（8），三层结构的中间壁（5）和外壁（6）之间形成冷却腔（9），在所述出液腔（8）的内壁（4）上开设有一个或多个出液孔（10），在所述出液腔（8）顶面设有出液管（11），在所述冷却腔（9）外壁（6）上设有入水管接头（12）和出水管接头（13），所述入水管接头（12）通过管道与水泵（3）出液口相接，所述水泵（3）入液口通过管道与所述水冷箱（2）出水口相接，所述出水管接头（13）通过管道与所述水冷箱（2）入水口相接。/n

【技术特征摘要】
1.一种抛光液冷却装置，包括供液桶（1）、水冷箱（2）、水泵（3），其特征是：所述供液桶（1）的桶壁是由内壁（4）、中间壁（5）和外壁（6）构成的三层结构，三层结构的内壁（4）形成储液腔（7），三层结构的内壁（4）和中间壁（5）之间形成出液腔（8），三层结构的中间壁（5）和外壁（6）之间形成冷却腔（9），在所述出液腔（8）的内壁（4）上开设有一个或多个出液孔（10），在所述出液腔（8）顶面设有出液管（11），在所述冷却腔（9）外壁（6）上设有入水管接头（12）和出水管接头（13），所述入水管接头（12）通过管道与水泵（3）出液口相接，所述水泵（3）入液口通过管道与所述水冷箱（2）出水口相接，所述出水管接头（13）通过管道与所述水冷箱（2）入水口相接。

【专利技术属性】
技术研发人员：宋迎顺，
申请(专利权)人：精晶科技湖北有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42