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本实用新型涉及一种抛光液冷却装置，属于半导体材料抛光技术领域。其包括供液桶、水冷箱、水泵，供液桶的桶壁是由内壁、中间壁和外壁构成的三层结构，三层结构的内壁形成储液腔，三层结构的内壁和中间壁之间形成出液腔，三层结构的中间壁和外壁之间形成冷却腔...
该专利属于精晶科技(湖北)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过精晶科技(湖北)有限公司授权不得商用。

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