【技术实现步骤摘要】
游轮盘
本技术涉及晶片加工
,具体涉及一种游轮盘。
技术介绍
在晶片加工过程中,对晶片的厚度加工(研磨、抛光)成了一道必不可少的工序,研磨抛光设备采用游轮盘将待加工的晶片放在游轮盘的型腔内,在游轮盘外圈设有齿圈,齿圈齿轮与研磨抛光设备的下盘壁上的齿圈齿轮啮合,下磨盘通过齿圈带动游轮盘转动,从而带动放置于游轮盘型腔内的晶片运转,在研磨抛光设备上通过机械上下盘面的压力,使晶片在研磨盘面中不断挤压并磨损,最终产生形变而达到厚度要求。现有技术的游轮盘一般采用普通树脂材料或弹簧钢一体制成,在齿圈啮合的过程中,游轮盘外圈的齿圈齿轮由于受力容易变形、磨损,影响游轮盘的转动从而影响晶片的加工质量和精度,造成晶片加工的稳定性不高,因此需要经常更换,导致加工成本增加。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种结构简单、可靠性高、降低加工成本,用于晶片研磨抛光用的游轮盘。按照本技术提供的技术方案,所述游轮盘,包括游轮盘本体,所述游轮盘本体包括游轮型腔和设于游轮型腔外侧的齿圈,其特征在于:所述齿圈由多层碳纤维层构成。进一步地,所述齿圈的多层碳纤维层通过环氧树脂结合剂粘合。进一步地,所述游轮型腔内设的通孔为圆形、三角形、正方形或六角形。进一步地,所述游轮型腔内设的通孔沿圆周均匀分布。进一步地,所述游轮型腔可拆卸式的安装在齿圈内侧并且所述游轮型腔与所述齿圈联动。进一步地,所述游轮型腔通过卡扣与所述齿圈连接。本技术的有益效果:采用耐磨的多层碳纤 ...
【技术保护点】
1.一种游轮盘,包括游轮盘本体,所述游轮盘本体包括游轮型腔(1)和设于游轮型腔外侧的齿圈(2),其特征在于:所述齿圈(2)由多层碳纤维层构成;/n所述游轮型腔(1)可拆卸式的安装在齿圈(2)内侧并且所述游轮型腔(1)与所述齿圈(2)联动。/n
【技术特征摘要】
1.一种游轮盘,包括游轮盘本体,所述游轮盘本体包括游轮型腔(1)和设于游轮型腔外侧的齿圈(2),其特征在于:所述齿圈(2)由多层碳纤维层构成;
所述游轮型腔(1)可拆卸式的安装在齿圈(2)内侧并且所述游轮型腔(1)与所述齿圈(2)联动。
2.如权利要求1所述的游轮盘,其特征是:所述齿圈(2)的多层碳纤维层通过环氧树脂结合剂粘合...
【专利技术属性】
技术研发人员:宋迎顺,
申请(专利权)人:精晶科技湖北有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北;42
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