退火装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种退火装置。退火装置包括：退火腔室，用于容纳待处理基板，并对待处理基板退火处理，退火腔室具有进气端与出气端；供气设备，用于向退火腔室提供目标气体，供气设备包括多个加热管道，多个加热管道阵列排布，多个加热管道的连接口分散分布于进气端，各加热管道均通过连接口与退火腔室连通；控制器，用于分别控制加热管道对目标气体进行加热，以使进入加热管道的目标气体加热后输送至退火腔室。本发明专利技术公开的退火装置能够提高退火腔室内温度的均一性。

Annealing device

【技术实现步骤摘要】
退火装置
本专利技术属于显示
，尤其涉及一种退火装置。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiode，OLED)显示具有成本低、视角宽、驱动电压低、响应速度快、发光色彩丰富、制备工艺简单、可实现大面积柔性显示等优点，被认为最具发展前景的显示技术之一。在制备OLED显示器件的过程中，需要将基板在退火装置的退火腔室中进行退火处理，在退火处理过程中，退火腔室内温度的均一性直接影响基板的质量。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种退火装置，旨在提升退火腔室内温度的均一性。本专利技术提供一种退火装置，包括：一种退火装置，其特征在于，包括：退火腔室，用于容纳待处理基板，并对待处理基板退火处理，退火腔室具有进气端与出气端；供气设备，用于向退火腔室提供目标气体，供气设备包括多个加热管道，多个加热管道阵列排布，多个加热管道的连接口分散分布于进气端，各加热管道均通过连接口与退火腔室连通；控制器，用于分别控制加热管道对目标气体进行加热，以使进入加热管道的目标气体加热后输送至退火腔室。根据本专利技术的一个方面，进一步包括流量调节器，流量调节器与加热管道一一对应设置，以检测各加热管道的流量；控制器进一步用于分别控制流量调节器，以调节各加热管道的输送至退火腔室的目标气体的流量。根据本专利技术的一个方面，供气设备进一步包括预热管道，预热管道与各加热管道连通，以向加热管道提供预加热的目标气体；控制器进一步用于控制预热管道对目标气体进行加热，以使进入预热管道的目标气体经预加热后输送至各加热管道。根据本专利技术的一个方面，进一步包括第一温度检测组件，用于检测目标气体的温度；控制器进一步用于根据第一检测组件的检测结果调节预热管道与加热管道的加热温度。根据本专利技术的一个方面，第一温度检测组件包括第一温度检测器，第一温度检测器与加热管道一一对应设置，以检测各加热管道内的目标气体的温度；和/或，温度检测组件包括第二温度检测器，第二温度检测器与预热管道连接，第二温度检测器用于检测预热管道内的目标气体的温度。根据本专利技术的一个方面，进一步包括多个第二温度检测组件，多个第二温度检测组件设置于退火腔室内，多个第二温度检测组件用于检测退火腔室内不同区域的温度；控制器进一步用于根据第二温度检测组件的检测结果，调节各加热管道的加热温度和/或各加热管道的输送至退火腔室的目标气体的流量。根据本专利技术的一个方面，退火腔室内设置有多个分流板，以将退火腔室分为相互隔离且沿进气端至出气端方向延伸的多个子腔室，每个子腔室设置有至少一个第二温度检测组件。根据本专利技术的一个方面，加热管道与预热管道均包括电磁感应加热管道，电磁感应加热管道用于对目标气体加热；优选的，加热管道与预热管道均具有沿自身延伸方向贯穿设置的多个通道。根据本专利技术的一个方面，进一步包括循环管道，循环管道连接于供气设备与退火腔室的出气端之间，以使退火腔室的出气端排出的气体经循环管道进入供气设备；优选的，循环管道内设置有过滤器，过滤器用于对经退火腔室的出气端排出的气体进行过滤。根据本专利技术的一个方面，每个加热管道均对应设置有一个连接口。本实施例的退火装置，供气设备包括多个加热管道，多个加热管道通过分散排布的连接口连接至退火腔室的进气端，且与退火腔室连通，能够向退火腔室的不同区域输送加热的目标气体。通过控制器能够分别控制各加热管道，以控制各加热管道向退火腔室输入的目标气体的温度，通过向退火腔室的不同区域输送不同温度的目标气体，使加热后的目标气体调节退火腔室内的温度，以达到退火腔室内各个区域的温度一致，进而能够提高待处理基板的退火效果。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对本专利技术实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例提供的退火装置的俯视结构示意图；图2是本专利技术一实施例提供的退火腔室的结构示意图；图3是本专利技术另一实施例提供的退火装置的俯视结构示意图；图4是本专利技术一实施例提供的预热管道和加热管道的截面图；图5是本专利技术又一实施例提供的退火装置的俯视结构示意图；图6是本专利技术一实施例提供的过滤器与循环管道连接的结构示意图。图中：100-退火装置；10-退火腔室；11-进气端；12-出气端；13-分流板；14-子腔室；20-供气设备；21-加热管道；22-预热管道；23-分流器；24-通道；25-连接口；30-流量调节器；41-第二温度检测组件；42-第一温度检测器；43-第二温度检测器；50-循环管道；60-过滤器；61-过滤网；X-前后方向；Y-高度方向；Z-进气端至出气端方向。具体实施方式下面将详细描述本专利技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本专利技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本专利技术，并不被配置为限定本专利技术。对于本领域技术人员来说，本专利技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本专利技术的示例来提供对本专利技术更好的理解。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合图1至图6对本专利技术实施例的退火装置进行详细描述。请参阅图1所示，图1是本专利技术一实施例提供的退火装置的俯视结构示意图。退火装置100包括退火腔室10、供气设备20和控制器(图中未示出)。退火腔室10用于容纳待处理基板，并对待处理基板退火处理，退火腔室具有进气端11和出气端12。本实施例中，对于待处理基板的类型不做限制，例如可以为低温多晶硅(lowtemperaturepoly-silicon，LTPS)基板，也可以为低温多晶氧化物(LowTemperaturePolycrystalli本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种退火装置，其特征在于，包括：/n退火腔室，用于容纳待处理基板，并对所述待处理基板退火处理，所述退火腔室具有进气端与出气端；/n供气设备，用于向所述退火腔室提供目标气体，所述供气设备包括多个加热管道，多个所述加热管道阵列排布，多个所述加热管道的连接口分散分布于所述进气端，各所述加热管道均通过所述连接口与所述退火腔室连通；/n控制器，用于分别控制所述加热管道对所述目标气体进行加热，以使进入所述加热管道的目标气体加热后输送至所述退火腔室。/n

【技术特征摘要】
1.一种退火装置，其特征在于，包括：
退火腔室，用于容纳待处理基板，并对所述待处理基板退火处理，所述退火腔室具有进气端与出气端；
供气设备，用于向所述退火腔室提供目标气体，所述供气设备包括多个加热管道，多个所述加热管道阵列排布，多个所述加热管道的连接口分散分布于所述进气端，各所述加热管道均通过所述连接口与所述退火腔室连通；
控制器，用于分别控制所述加热管道对所述目标气体进行加热，以使进入所述加热管道的目标气体加热后输送至所述退火腔室。


2.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，进一步包括流量调节器，所述流量调节器与所述加热管道一一对应设置，以检测各所述加热管道的流量；
所述控制器进一步用于分别控制所述流量调节器，以调节各所述加热管道的输送至所述退火腔室的所述目标气体的流量。


3.根据权利要求1所述的退火装置，其特征在于，所述供气设备进一步包括预热管道，所述预热管道与各所述加热管道连通，以向所述加热管道提供预加热的目标气体；
所述控制器进一步用于控制所述预热管道对所述目标气体进行加热，以使进入所述预热管道的所述目标气体经预加热后输送至各所述加热管道。


4.根据权利要求3所述的退火装置，其特征在于，进一步包括第一温度检测组件，用于检测所述目标气体的温度；
所述控制器进一步用于根据所述第一检测组件的检测结果调节所述预热管道与所述加热管道的加热温度。


5.根据权利要求4所述的退火装置，其特征在于，所述第一温度检测组件包括第一温度检测器，所述第一温度检测器与所述加热管道一一对应设置，以检测各所述加热管道内的所...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯圣，朱盛波，曲参，
申请(专利权)人：合肥维信诺科技有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34