一种可定位固定多种基板的夹具机构制造技术

本发明专利技术涉及一种可定位固定多种基板的夹具机构，该机构的载片台位于XY托板上方并通过旋转机构与XY托板连接；微调机构包括微调螺纹副主动调节部、微调螺纹副被动调节部、拉簧；微调螺纹副主动调节部固定安装在XY托板上；微调螺纹副被动调节部与载片台固定连接；拉簧的一端与XY托板固定连接，另一端与载片台固定连接；转动微调螺纹副主动调节部的旋钮可推动微调螺纹副被动调节部转动从而带动载片台转动并在拉簧的作用下回位；X定位靠边和Y定位靠边相互垂直固定在载片台上；载片台上分布有多个真空吸附口，各真空吸附口连接外部真空泵。本发明专利技术能够实现不同尺寸、厚度基板的高精度定位。

A fixture mechanism for fixing various substrates

【技术实现步骤摘要】
一种可定位固定多种基板的夹具机构
本专利技术涉及半导体功能电路激光加工领域，具体涉及一种可定位固定多种基板的夹具机构。
技术介绍
半导体功能电路产品多样，尺寸不同，厚度不一，单批产品数量不多，且定位精度要求高，须达到10um，对实际生产带来了非常大的难度。半导体激光加工的夹具机构通常只能定位固定一种产品进行批量生产，虽然定位精度达到了10um，但并不适合尺寸多样的产品；功能电路激光加工的夹具种类繁多，一般做法是针对不同产品人工粘贴定位靠边，手动粘贴固定产品，其缺点是很难保证10um的定位精度，粘贴靠边耗时耗力、效率低下，而产品更换又较为频繁，手动粘贴固定产品一致性难以保证。因此设计一种可定位固定多种基板的夹具机构，用于半导体功能电路激光加工设备十分必要。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种可定位固定多种基板的夹具机构。为了解决上述技术问题，本专利技术的可定位固定多种基板的夹具机构包括XY托板，旋转机构，微调机构，载片台，X定位靠边，Y定位靠边；所述的载片台位于XY托板上方并通过旋转机构与XY托板连接；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于包括XY托板(1)，旋转机构，微调机构，载片台(6)，X定位靠边(71)，Y定位靠边(72)；所述的载片台(6)位于XY托板(1)上方并通过旋转机构与XY托板(1)连接；微调机构包括微调螺纹副主动调节部(31)、微调螺纹副被动调节部(32)、拉簧(4)；微调螺纹副主动调节部(31)固定安装在XY托板(1)上；微调螺纹副被动调节部(32)与载片台(6)固定连接；拉簧(4)的一端与XY托板(1)固定连接，另一端与载片台(6)固定连接；转动微调螺纹副主动调节部(31)的旋钮可推动微调螺纹副被动调节部(32)转动从而带动载片台(6)转动并在拉簧(4)的作...

【技术特征摘要】
1.一种可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于包括XY托板(1)，旋转机构，微调机构，载片台(6)，X定位靠边(71)，Y定位靠边(72)；所述的载片台(6)位于XY托板(1)上方并通过旋转机构与XY托板(1)连接；微调机构包括微调螺纹副主动调节部(31)、微调螺纹副被动调节部(32)、拉簧(4)；微调螺纹副主动调节部(31)固定安装在XY托板(1)上；微调螺纹副被动调节部(32)与载片台(6)固定连接；拉簧(4)的一端与XY托板(1)固定连接，另一端与载片台(6)固定连接；转动微调螺纹副主动调节部(31)的旋钮可推动微调螺纹副被动调节部(32)转动从而带动载片台(6)转动并在拉簧(4)的作用下回位；X定位靠边(71)和Y定位靠边(72)相互垂直固定在载片台(6)上；载片台(6)上分布有多个真空吸附口(63)，各真空吸附口(63)连接外部真空泵。


2.根据权利要求1所述的可定位固定多种基板的夹具机构，其特征在于所述的旋转机构包括交叉棍子轴承(2)和连接板(5)；交叉棍子轴承(2)的外圈...

【专利技术属性】
技术研发人员：张政福，王洋，王凯，孙君实，王巍，
申请(专利权)人：长春光华微电子设备工程中心有限公司，
类型：发明
国别省市：吉林;22