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本发明涉及一种可定位固定多种基板的夹具机构,该机构的载片台位于XY托板上方并通过旋转机构与XY托板连接;微调机构包括微调螺纹副主动调节部、微调螺纹副被动调节部、拉簧;微调螺纹副主动调节部固定安装在XY托板上;微调螺纹副被动调节部与载片台固定...该专利属于长春光华微电子设备工程中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长春光华微电子设备工程中心有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种可定位固定多种基板的夹具机构,该机构的载片台位于XY托板上方并通过旋转机构与XY托板连接;微调机构包括微调螺纹副主动调节部、微调螺纹副被动调节部、拉簧;微调螺纹副主动调节部固定安装在XY托板上;微调螺纹副被动调节部与载片台固定...