全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置制造方法及图纸

技术编号:24484211 阅读:61 留言:0更新日期:2020-06-12 23:06
本实用新型专利技术属于全氢燃气罩式退火炉技术领域,尤其为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置,包括装置本体,装置本体的左右两侧设置有升降装置,装置本体的底部安装有底座,底座的固定连接有固定柱,固定柱远离底座的一端固定连接有垫脚,升降装置的底部设置有安装板,安装板的顶部两端设置有竖板,竖板远离装置本体的一端贯穿有第一转杆。本实用新型专利技术通过设置的升降装置,可以调节工作人员或者检修人员的工作高度,工人在踏板上便于进行操作工作,能够有效的提高工作效率,通过设置的液压缸、伸缩杆、滚动体的相互作用,可以对装置本体进行小范围的转移,达到提高其使用的灵活性,便于移动。

A new type of waste hydrogen combustion device for all hydrogen gas bell type annealing furnace

【技术实现步骤摘要】
全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置
本技术涉及全氢燃气罩式退火炉
,具体为全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的,可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。近几年来,随着市场对黑色金属和有色金属光亮退火的板材、带材需求量的不断增加,而这些板材、带材在生产工序中常以成卷的形式传递,其热处理长期以来主要依赖罩式退火炉,目前最先进的技术是采用全氢燃气罩式退火炉进行处理,在进行退火的过程中需通入氢气对材料进行保护,使其不被氧化,表面光亮,而且提高了传热效率,从而提高了退火能力,也确保了炉温均匀性,保证了钢卷的力学性能。但是这种全氢燃气罩式退火炉在使用时存在以下问题:1、一般的全氢燃气罩式退火炉都是比较大型的圆柱形柱体,重量比较大,在移动时通常比较困难,同时在进行维修本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置,包括装置本体(1),其特征在于:所述装置本体(1)的左右两侧设置有升降装置(2),所述装置本体(1)的底部安装有底座(3),所述底座(3)的固定连接有固定柱(4),所述固定柱(4)远离底座(3)的一端固定连接有垫脚(5),所述升降装置(2)的底部设置有安装板(6),所述安装板(6)的顶部两端设置有竖板(7),所述竖板(7)远离装置本体(1)的一端贯穿有第一转杆(9),所述第一转杆(9)远离竖板(7)的一端固定连接有摇把(8),所述第一转杆(9)远离摇把(8)的一端固定套设有第一齿轮(10),所述第一齿轮(10)的下方啮合连接有第二齿轮(11),所述第二...

【技术特征摘要】
1.全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置,包括装置本体(1),其特征在于:所述装置本体(1)的左右两侧设置有升降装置(2),所述装置本体(1)的底部安装有底座(3),所述底座(3)的固定连接有固定柱(4),所述固定柱(4)远离底座(3)的一端固定连接有垫脚(5),所述升降装置(2)的底部设置有安装板(6),所述安装板(6)的顶部两端设置有竖板(7),所述竖板(7)远离装置本体(1)的一端贯穿有第一转杆(9),所述第一转杆(9)远离竖板(7)的一端固定连接有摇把(8),所述第一转杆(9)远离摇把(8)的一端固定套设有第一齿轮(10),所述第一齿轮(10)的下方啮合连接有第二齿轮(11),所述第二齿轮(11)的中心固定穿设有第二转杆(12),所述第二转杆(12)远离第二齿轮(11)的一端固定套设有第一锥齿轮(13),所述第一锥齿轮(13)上啮合连接有第二锥齿轮(14),所述第二锥齿轮(14)的中心固定穿设有螺纹杆(15),所述螺纹杆(15)远离安装板(6)的一端设置有升降板(16),所述升降板(16)的左右两端分别与两块竖板(7)的侧壁滑动连接,所述升降板(16)的顶部固定连接有立柱(17),所述立柱(17)远离升降板(16)的一端设置踏板(20),所述底座(3)的下端靠近垫脚(5)的一侧设置滚动体(23),所述滚动体(23)的上端设这样液压缸(21),所述液压缸(21)的内侧贯穿设置有伸缩杆(22)。


2.根据权利要求1所述的全氢燃气罩式退火炉用新型废氢燃烧装置,其特征在于:所述固定柱(4)通过螺栓与底座(3)的底部固定连接,所述垫脚(5)通过焊接与固定柱(4)的一端固定。


3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈豪
申请(专利权)人:无锡鹏丰炉业科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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