【技术实现步骤摘要】
一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置
本技术涉及等离子设备
，具体涉及一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置。
技术介绍
等离子刻蚀机，又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等，等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离子，电离气体原子通过电场加速时，会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。等离子刻蚀机可以蚀刻很多种不同材料的工件，在对工件上料比较麻烦，目前现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置有以下缺点，物料车无法自动进出且运输时不稳定，降低了工作效率，无法满足人们的使用需求，降低了垂直式等离子蚀刻机的上料装置的实用性。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，具备物料车可以自动进出且运输时稳定等优点，解决了现有的垂直式等离子蚀刻机的上料装置，物料车无法自动进出且运输时不稳定的问题。本技术的一种垂直式...
【技术保护点】
1.一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体(2)，所述底板(1)顶部的左侧设置有壳体(3)，所述壳体(3)的右侧贯穿至蚀刻机主体(2)的内腔，所述壳体(3)内腔的正面和背面均设置有驱动装置(4)，所述壳体(3)内腔的底部开设有滑槽(5)，所述壳体(3)的内腔设置有辅助装置(6)。/n
【技术特征摘要】
1.一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体(2)，所述底板(1)顶部的左侧设置有壳体(3)，所述壳体(3)的右侧贯穿至蚀刻机主体(2)的内腔，所述壳体(3)内腔的正面和背面均设置有驱动装置(4)，所述壳体(3)内腔的底部开设有滑槽(5)，所述壳体(3)的内腔设置有辅助装置(6)。
2.根据权利要求1所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述辅助装置(6)包括支撑板(601)，所述支撑板(601)底部的两侧均固定连接有支撑柱(602)，所述支撑柱(602)的底部固定连接有底座(603)，所述底座(603)的底部通过活动轴活动连接有与滑槽(5)配合使用的滚轮(604)。
3.根据权利要求1所述的一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，其特征在于：所述驱动装置(4)包括电机(401)，所述电机(401)的输出端固定连接有转轴(402)，所述转轴(402)的外侧套接有齿轮(403)，所述齿轮(403)的表面啮合有齿条板(404)，所述齿条板(404)的外侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，
申请(专利权)人：苏州爱特维电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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