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本实用新型揭示一种垂直式等离子蚀刻机的上料装置，包括底板，所述底板顶部的右侧固定连接有蚀刻机主体，所述底板顶部的左侧设置有壳体，所述壳体的右侧贯穿至蚀刻机主体的内腔，所述壳体内腔的正面和背面均设置有驱动装置，所述壳体内腔的底部开设有滑槽。本...
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