微元件的转移装置及其转移方法制造方法及图纸

本申请公开了一种微元件的转移装置及其转移方法，该转移装置包括：至少一个吸嘴，吸嘴具有真空通道；至少一个控制电路及伸缩头，伸缩头耦接控制电路，且位于真空通道内；控制电路用于控制改变伸缩头的长度/横截面面积，以使至少部分伸缩头或受伸缩头驱动的门阀堵塞真空通道，或反过来使真空通道畅通。通过本申请的转移装置能可靠高效地批量转移微元件。

Transfer device and transfer method of micro element

【技术实现步骤摘要】
微元件的转移装置及其转移方法
本申请涉及微元件处理
，特别是涉及一种微元件的转移装置及其转移方法。
技术介绍
微元件显示技术是指在衬底上以高密度集成的微小尺寸的元件阵列。目前，微间距发光二极管(Micro-LED)技术逐渐成为研究热门，相对于有机发光二极管(OLED)技术来说，Micro-LED由于具有高寿命、高亮度、低功耗等优势，其在显示领域具有很强的应用前景。但目前还没有成熟的方法将LED芯片从承载基板上转移到接收基板上，限制了Micro-LED的应用。
技术实现思路
本申请主要提供一种微元件的转移装置及其转移方法，通过该转移装置能可靠高效地批量转移微元件。为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是提供一种微元件的转移装置，该转移装置包括：至少一个吸嘴，吸嘴具有真空通道；至少一个控制电路及至少一个伸缩头，伸缩头耦接控制电路，且位于真空通道内；控制电路用于控制改变伸缩头的长度/横截面面积，以使至少部分伸缩头或受伸缩头驱动的门阀堵塞真空通道，或反过来使真空通道畅通。为解决上述技术问题，本申本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n至少一个吸嘴，所述吸嘴具有真空通道；/n至少一个控制电路及至少一个伸缩头，所述伸缩头耦接所述控制电路，且位于所述真空通道内；/n所述控制电路用于控制改变所述伸缩头的长度/横截面面积，以使至少部分所述伸缩头或受所述伸缩头驱动的门阀堵塞所述真空通道，或反过来使所述真空通道畅通。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
至少一个吸嘴，所述吸嘴具有真空通道；
至少一个控制电路及至少一个伸缩头，所述伸缩头耦接所述控制电路，且位于所述真空通道内；
所述控制电路用于控制改变所述伸缩头的长度/横截面面积，以使至少部分所述伸缩头或受所述伸缩头驱动的门阀堵塞所述真空通道，或反过来使所述真空通道畅通。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，
所述伸缩头为磁致伸缩头，所述磁致伸缩头包括磁致伸缩体及绕设于所述磁致伸缩体外围的电感线圈，所述电感线圈连接所述控制电路。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，
所述磁致伸缩体的材料包括传统金属、传统金属合金或稀土合金超磁致伸缩材料，优选地，传统金属包括纯镍，传统金属合金包括：镍钴合金、铁镍合金、铁铝合金、铁钴合金；稀土合金超磁致伸缩材料为以Tb1-XDyXFe2化合物为基的合金。


4.根据权利要求1-3任一项所述的转移装置，其特征在于，
所述门阀为挡板，所述挡板设置于所述第二通道内，所述挡板的面积大于或等于所述狭窄通道口的横截面积；
所述磁致伸缩体的固定端固定于所述第一通道中，所述磁致伸缩体的伸缩端从所述第一通道通过所述狭窄通道口进入所述第二通道，且与所述挡板靠近所述第一通道一侧直接接触；
所述控制电路控制所述磁致伸缩体为第二长度时，所述磁致伸缩体推动所述挡板离开所述狭窄通道口以使所述真空通道畅通；所述控制电路控制所述磁致伸缩体为第一长度时所述挡板堵塞在所述狭窄通道口邻近所述第二通道一侧，以使所述挡板堵塞所述真空通道。


5.根据权利要求4所述的转移装置，其特征在于，
所述挡板一端与所述狭窄通道口一端转动连接，所述狭窄通道口另一端形成第一阶梯，所述控制电路控制所述磁致伸缩体为所述第二长度时，所述磁致伸...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建明，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32