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本申请公开了一种微元件的转移装置及其转移方法，该转移装置包括：至少一个吸嘴，吸嘴具有真空通道；至少一个控制电路及伸缩头，伸缩头耦接控制电路，且位于真空通道内；控制电路用于控制改变伸缩头的长度/横截面面积，以使至少部分伸缩头或受伸缩头驱动的门...该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司授权不得商用。