一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台制造技术

本发明专利技术公开了一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台，主要应用于原子力显微镜的光电流的检测，其中主要包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台。所述的激光器发出的激光，经过光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点，焦点光斑将打在样品的表面，激发样品产生光电流反应，光斑大小可由算法自动调节，并附与手动微调位移台，实现光斑大小和位置的精准控制。

A modular laser assisted platform based on AFM

【技术实现步骤摘要】
一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台
本专利技术涉及光电流检测领域，尤其涉及一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台。
技术介绍
理论研究表明，一些金属材料在一定的光照条件下，当入射光的频率大于金属的极限频率，金属会发射出电子，产生微小的电流反应。相比于其他的检测技术，原子力显微镜能够同时将样品表面的特征和形貌表示出来，并且达到纳米级别，而且原子力显微镜的的导电模块也可以检测上述的电流反应。因此在表征这种微小的电流反应，原子力显微镜具有独特的优势。导电模块是通过导电的扫描探针针尖，采用接触式测量方法，在获取样品表面形貌信息的同时，可以获得与形貌对应的局域电导信息，使用电流测量装置结合电流放大器来测量表面电流密度。现有技术中，公开号为CN106546771A中国专利技术专利公开了一种利用导电原子力显微镜检测光电转换材料光电流信号的方法。采用锁相放大器，锁相放大器提供交变的驱动电压用以驱动光源发光照射材料样品，由于光电转换效应样品产生光电流，导电探针接触样品探测该光电流信号并将其传输至电流放大器得到电流放大信号。公本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台，其特征在于，包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台，XZB位移模组包括Z轴位移模组、X轴位移模组、B轴位移模组。/n所述的组件通过笼式结构组合在一起，激光器发出的激光分别经过所述光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点打在样品表面，其光斑的大小可由算法自动调节，并通过微调Y手动位移台，可实现光斑大小和位置的精准控制。/n所述的光束准直器，通过光学三维调整架将光学准直器通过转换原件固定在光学三维调整架上；/n所述的Y手动位移台固定于最底下，用于调节光斑在Y方向的位置...

【技术特征摘要】
1.一种基于原子力显微镜的模块式激光辅助平台，其特征在于，包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台，XZB位移模组包括Z轴位移模组、X轴位移模组、B轴位移模组。
所述的组件通过笼式结构组合在一起，激光器发出的激光分别经过所述光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器之后将会汇聚成一个焦点打在样品表面，其光斑的大小可由算法自动调节，并通过微调Y手动位移台，可实现光斑大小和位置的精准控制。
所述的光束准直器，通过光学三维调整架将光学准直器通过转换原件固定在光学三维调整架上；
所述的Y手动位移台固定于最底下，用于调节光斑在Y方向的位置；
所述的光束输出组件，可以微调双面凸透镜的位置；
所述的XZB位移模组，由高精度的B轴旋转轴、Z轴水平上升轴和X轴水平位移轴组成，上述的笼式结构固定在Y手动位移台上。


2.如权利要求1所述的基于原...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓少木，张嘉荣，邓建南，朱相优，
申请(专利权)人：广州精点科技有限公司，广东工业大学，
类型：发明
国别省市：广东;44