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本发明公开了一种基于AFM可自动调节光斑大小的方法及其激光辅助平台，主要应用于原子力显微镜的光电流的检测，其中主要包括激光器、光束准直器、光束扩束器、光束整形器、光束输出器、Y手动位移台、XZB位移模组、样品台。所述的激光器发出的激光，经过...
该专利属于广州精点科技有限公司;广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广州精点科技有限公司;广东工业大学授权不得商用。

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