一种直排串联真空泵组制造技术

本发明专利技术公开了一种直排串联真空泵组，包括三轴模块化干式真空泵、真空泵驱动电机、前级真空泵装置、三通管道和弹簧式单向阀，所述真空泵驱动电机与三轴模块化干式真空泵的中泵轴传动连接，所述三通管道三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀，三通管道的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵的排气口和前级真空泵装置的进气口连通，所述前级真空泵装置的进气口处设有阀门；通过使用本装置，使用一个极小的液环真空泵或者油式旋片真空泵就可以在0‑100kpa时都能够满足最大的抽气能力，不受环境影响，可以达到很高的真空度(0.01‑0.1Pa)，同时在任何阶段可以满足最经济的能耗需求。

A kind of direct row series vacuum pump group

【技术实现步骤摘要】
一种直排串联真空泵组
本专利技术涉及真空设备
，具体涉及一种直排串联真空泵组。
技术介绍
由于真空泵不同结构导致的能力限制，在现有工业真空应用中，很多真空获得设备配置并不是1台真空泵，而是使用多个不同类型的真空泵进行组和搭配构成系统来使用。最为常见的是多台罗茨真空泵配备一个前级真空泵(这个前级真空泵最为常见的是液环真空泵，油式旋片真空泵，螺杆真空泵，滑阀真空泵等)。液环真空泵，可以安全可靠的处理粉尘，黏性物质，腐蚀性气体，高分子化合物，易燃易爆等工艺介质，但由于液环真空泵的真空度和抽气能力受到循环液温度、冷却水温度的影响，一般真空度只能达到5000Pa，而为了得到更高的真空度，例如达到50Pa时，需要在液环真空泵进气口配备一个或者多个罗茨真空泵。油式旋片真空泵，螺杆真空泵，滑阀真空泵，虽然自身可以达到比较高的真空度(可以达到100Pa左右)，但是这类真空泵，由于结构特点，抽气能力都一般在100-800m3/h之间，很多时候无法达到应用上更高的要求，例如抽气能力比较大(>1000m3/h)，真空度更高(1<Pa)本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直排串联真空泵组，其特征在于，包括三轴模块化干式真空泵(1)、真空泵驱动电机(2)、前级真空泵装置(3)、三通管道(4)和弹簧式单向阀(8)，所述真空泵驱动电机(2)与三轴模块化干式真空泵(1)的中泵轴传动连接，所述三通管道(4)三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀(8)，三通管道(4)的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵(1)的排气口和前级真空泵装置(3)的进气口连通，所述前级真空泵装置(3)的进气口处设有阀门。/n

【技术特征摘要】
1.一种直排串联真空泵组，其特征在于，包括三轴模块化干式真空泵(1)、真空泵驱动电机(2)、前级真空泵装置(3)、三通管道(4)和弹簧式单向阀(8)，所述真空泵驱动电机(2)与三轴模块化干式真空泵(1)的中泵轴传动连接，所述三通管道(4)三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀(8)，三通管道(4)的另外两个端口分别与三轴模块化干式真空泵(1)的排气口和前级真空泵装置(3)的进气口连通，所述前级真空泵装置(3)的进气口处设有阀门。


2.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述前级真空泵装置(3)为油式旋片真空泵。


3.根据权利要求1所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述前级真空泵装置(3)包括液环真空泵(10)和汽水分离器(9)，三通管道(4)的一个端口与液环真空泵(10)的进气口连通，所述液环真空泵(10)与汽水分离器(9)连通，液环真空泵(10)排出的汽水混合物进入汽水分离器(9)中分离，分离后的气体从汽水分离器排气口(12)排出，分离后的循环液流回液环真空泵(10)中。


4.根据权利要求3所述的一种直排串联真空泵组，其特征在于，所述汽水分离器(9)上设有补水口，所述补水口上连接有补水管，所述补水管与三轴模块化干式真空泵(1)的排水口连通，汽水分离器(9)内设...

【专利技术属性】
技术研发人员：荣易，
申请(专利权)人：江苏格里克真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32