一种双重真空抽气泵制造技术

技术编号:11451141 阅读:64 留言:0更新日期:2015-05-13 23:53
一种双重真空抽气泵,包括罗茨真空泵(4)和直联旋片泵(7),所述的直联旋片泵(7)设上有吸气管(8)、直联旋片泵皮带轮(9)和皮带(10),罗茨真空泵(4)上设有出气管(5)和罗茨泵用电机(11),直联旋片泵(7)和罗茨真空泵(4)通过连接管(3)连接,并安装在底座(6)上;其特征在于:所述的电机(2)连接电机皮带轮(1),由吸气管(8)从加热炉内吸气经过一级直联旋片泵(7)和二级罗茨真空泵(4)由出气管(5)排出。本发明专利技术,采用直联旋片泵和罗茨真空泵串联,开始工作时直联旋片泵对炉体内的空气抽出,抽出到一定压力后,罗茨真空泵开始抽气,两个泵一起向炉体内抽气,满足较高的抽真空度要求。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种双重真空抽气泵,包括罗茨真空泵(4)和直联旋片泵(7),所述的直联旋片泵(7)设上有吸气管(8)、直联旋片泵皮带轮(9)和皮带(10),罗茨真空泵(4)上设有出气管(5)和罗茨泵用电机(11),直联旋片泵(7)和罗茨真空泵(4)通过连接管(3)连接,并安装在底座(6)上;其特征在于:所述的电机(2)连接电机皮带轮(1),通过皮带(10)和直联旋片泵皮带轮(9)、直联旋片泵(7)和罗茨真空泵(4)连接,电机(2)转动,由吸气管(8)从加热炉内吸气经过一级直联旋片泵(7)和二级罗茨真空泵(4)由出气管(5)排出。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:杨云胜杨星郭颢蒋伟良
申请(专利权)人:镇江博昊科技有限公司
类型:发明
国别省市:江苏;32

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