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本发明公开了一种直排串联真空泵组，包括三轴模块化干式真空泵、真空泵驱动电机、前级真空泵装置、三通管道和弹簧式单向阀，所述真空泵驱动电机与三轴模块化干式真空泵的中泵轴传动连接，所述三通管道三个端口中的一个端口处设置有弹簧式单向阀，三通管道的另...
该专利属于江苏格里克真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏格里克真空技术有限公司授权不得商用。

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