压印装置和物品制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了用于使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，该压印装置的特征在于包括：光学系统，该光学系统用于在模具的台面部与压印材料接触的状态下利用用于增大压印材料的粘度的照射光照射包括台面部的端部的周边区域，该周边区域围绕台面部；以及控制单元，该控制单元在模具的台面部与基板上的压印材料接触的状态下，控制光学系统以使得在相互不同的定时处利用照射光来照射周边区域中的具有距台面部的中心相互不同的距离的多个区(52a至52h、52n)。

Manufacturing method of stamping device and articles

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压印装置和物品制造方法
本专利技术涉及通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置。
技术介绍
作为用于制造诸如半导体设备和MEMS之类的物品的方法，已知用于通过使用模具在基板上成形压印材料的压印方法。根据压印方法，压印材料被供应到基板上，并且使所供应的压印材料与模具接触(被称为“压印”)。然后，压印材料在与模具接触的状态下被固化，并且模具从固化的压印材料被释放(被称为“脱模”)。因此，压印材料的图案形成在基板上。在压印装置中，在使基板上的压印材料与模具接触之后，压印材料被完全填充到在模具中形成的凹凸图案的凹部中，然后压印材料被固化。日本专利公开No.2013-069919公开了一种压印装置，在该压印装置中在压印材料和模具保持彼此接触的同时，用于固化压印材料的光被施加到基板的外周部以防止压印材料扩散到基板的外周部。在压印装置中使用的模具的部分区域是以从周围区域突起的突起物(被称为“台面部”)的形式。模具的台面部具有形成要形成在基板上的图案(图案区域)的表面，或者是由不形成图案的平坦面定义的表面。因而，在基板上的压印材料与模具本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于，所述压印装置包括：光学系统，所述光学系统在模具的台面部保持与压印材料接触的状态下，向周边区域施加用于增大压印材料的粘度的照射光，所述周边区域包括模具的台面部的端部并且围绕台面部；以及/n控制单元，所述控制单元控制光学系统以使得在模具的台面部保持与基板上的压印材料接触的状态下，向周边区域中的多个区施加照射光的定时彼此不同，所述区被定位在距台面部的中心不同的距离处。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171017 JP 2017-201415;20171023 JP 2017-204553;201.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于，所述压印装置包括：光学系统，所述光学系统在模具的台面部保持与压印材料接触的状态下，向周边区域施加用于增大压印材料的粘度的照射光，所述周边区域包括模具的台面部的端部并且围绕台面部；以及
控制单元，所述控制单元控制光学系统以使得在模具的台面部保持与基板上的压印材料接触的状态下，向周边区域中的多个区施加照射光的定时彼此不同，所述区被定位在距台面部的中心不同的距离处。


2.根据权利要求1所述的压印装置，还包括图像捕获单元，所述图像捕获单元捕获模具和压印材料彼此接触的状态；
其中，根据由图像捕获单元捕获的结果确定的压印材料到达周边区域中的所述多个区的时间来改变开始照射光的施加的时间。


3.根据权利要求1所述的压印装置，其中，照射光从最短距离开始以台面部的中心与周边区域中的所述多个区中的每个区之间的距离的升序被施加到所述多个区。


4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，对于从台面部的中心朝着周边区域中的所述多个区中的每个区移动的压印材料，改变开始照射光的施加的时间。


5.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元控制光学系统，以使得对于周边区域中的包括模具的台面部的角落的区施加照射光的定时晚于对周边区域中的其它区施加照射光的定时。


6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，在压印材料到达周边区域中的所述多个区的每个区之前，开始照射光的施加。


7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，光学系统包括光调制器，所述光调制器改变开始照射光的施加的时间。


8.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于，所述压印装置包括：光学系统，所述光学系统在模具的台面部保持与压印材料接触的状态下，向周边区域施加用于增大压印材料的粘度的照射光，所述周边区域包括模具的台面部的端部并且围绕台面部；以及
控制单元，所述控制单元控制光学系统，使得在模具的台面部保持与基板上的压印材料接触的状态下，向周边区域中的压印材料在不同时间处到达台面部的侧面的多个区施加的照射光的照射量彼此不同。


9.根据权利要求1所述的压印装置，其中，控制单元根据朝着周边区域中的所述多个区移动的压印材料到达周边区域中的所述多个区的时间来改变照射光的照射时间。


10.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于，所述压印装置包括：供应单元，所述供应单元将压印材料供应到基板上；
光学系统，所述光学系统向基板上的压印材料施加用于增大压印材料的粘度的照射光；以及
控制单元，所述控制单元控制光学系统，使得在模具的台面部保持与基板上的压印材料接触的状态下，照射光被施加到包括模具的台面部的端部并且围绕台面部的周边区域，
其中，控制单元根据供应单元将压印材料供应到基板上的位置来确定向周边区域中的多个区施加照射光的次序。


11.一种通过使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，其特征在于，所述压印装置包括：固化单元，所述固化单元增大基板上的压印材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：小出博之，舩吉智美，小林谦一，林达也，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP