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本发明提供了用于使用模具在基板上形成压印材料的图案的压印装置，该压印装置的特征在于包括：光学系统，该光学系统用于在模具的台面部与压印材料接触的状态下利用用于增大压印材料的粘度的照射光照射包括台面部的端部的周边区域，该周边区域围绕台面部；以及...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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