形成图案部的方法技术

提供了一种形成图案部的方法，所述方法包括：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。

Method of forming pattern part

【技术实现步骤摘要】
形成图案部的方法于2018年11月14日在韩国知识产权局提交且名称为“图案部、形成图案部的方法和用其制造显示装置的方法”的第10-2018-0139977号韩国专利申请通过引用全部包含于此。
实施例涉及一种图案部、一种形成图案部的方法以及一种用其制造显示装置的方法。
技术介绍
在制造显示装置时，可以通过使用光刻工艺形成构成显示装置的层或图案的至少一部分。光刻工艺可以包括曝光步骤、显影步骤和蚀刻步骤。在曝光步骤中，使用反映图案的设计的掩模和曝光装置来形成光致抗蚀剂图案。
技术实现思路
实施例针对一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。在示例实施例中，图案可以包括通过使第一膜图案化形成的第一图案和通过使第二膜图案化形成的第二图案。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括用于在形成第二膜之后固化第一膜和第二膜的第一固化步骤。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括在形成图案之后固化图案的第二固化步骤。在示例实施例中，第二固化步骤可以包括第一温度固化步骤和第二温度固化步骤，第一温度固化步骤用于在第一温度下固化图案，第二温度固化步骤用于在低于第一温度的第二温度下固化图案。在示例实施例中，在第二固化步骤中，第二图案的收缩程度可以大于第一图案的收缩程度。在示例实施例中，在形成第一膜的步骤中，可以以第一厚度形成第一膜，并且在形成第二膜的步骤中，可以以大于第一厚度的第二厚度形成第二膜。在示例实施例中，第一膜可以包括第一单体，第二膜可以包括第二单体，并且第二单体的官能团的数目可以多于第一单体的官能团的数目。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括在第二膜上形成第三膜，其中，可以在形成图案的步骤中使第三膜图案化。在示例实施例中，第三膜可以具有大于第二固化收缩率的第三固化收缩率。在示例实施例中，第一膜可以包括第一单体，第二膜可以包括第二单体，第三膜可以包括第三单体，第二单体的官能团的数目可以多于第一单体的官能团的数目，第三单体的官能团的数目可以多于第二单体的官能团的数目。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括在目标对象上形成牺牲层，其中，可以在牺牲层上形成第一膜。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括在形成图案的步骤之后使牺牲层图案化以形成牺牲图案，其中，牺牲图案可以相对于图案具有底切形状。在示例实施例中，一种制造显示装置的方法包括以下步骤：在基体层上形成电路层；在电路层上形成被构造为限定像素区域的像素限定膜；形成被构造为覆盖像素限定膜的牺牲层；在牺牲层上形成第一膜；形成包括不同于第一膜的材料的材料的第二膜；使第一膜、第二膜和牺牲层图案化以形成第一图案、第二图案和牺牲图案；在像素区域上形成发光层；以及去除第一图案、第二图案和牺牲图案。在示例实施例中，第一膜可以具有第一固化收缩率，并且第二膜可以具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率。在示例实施例中，第一膜可以包括第一单体，第二膜可以包括第二单体，并且第二单体的官能团的数目可以多于第一单体的官能团的数目。在示例实施例中，在形成第一膜的步骤中，可以以第一厚度形成第一膜，并且在形成第二膜的步骤中，可以以大于第一厚度的第二厚度形成第二膜。在示例实施例中，像素区域可以是多个像素区域中的一个，所述多个像素区域可以包括第一像素区域、第二像素区域和第三像素区域，并且在形成第一图案、第二图案和牺牲图案的步骤中，可以将第一图案、第二图案和牺牲图案形成为覆盖所有的第一像素区域和第二像素区域并且暴露第三像素区域。在示例实施例中，制造显示装置的方法还可以包括以下步骤：固化第一图案、第二图案和牺牲图案，其中，固化步骤包括用于提供第一温度的第一温度固化步骤和用于提供低于第一温度的第二温度的第二温度固化步骤。在示例实施例中，牺牲图案可以相对于第一图案具有底切形状。在示例实施例中，图案部包括：牺牲图案，设置在目标对象上；第一图案，设置在牺牲图案上并且包括第一单体；以及第二图案，设置在第一图案上并且包括具有比第一单体的官能团多的官能团的第二单体。在示例实施例中，第二图案的厚度可以大于第一图案的厚度。附图说明通过参照附图详细地描述示例实施例，对于本领域技术人员而言，特征将变得明显，在附图中：图1示出了根据示例实施例的显示装置的透视图；图2示出了根据示例实施例的显示装置的剖视图；图3示出了根据示例实施例的像素的等效电路图；图4A示出了根据示例实施例的显示面板的一些构造的剖视图；图4B示出了根据示例实施例的显示面板的一些构造的平面图；图5A至图5G示出了根据示例实施例的显示装置的一些制造工艺的视图；图6示出了通过图5A至图5E描述的工艺的流程图；图7A和图7B示出了根据示例实施例的显示装置的一些制造工艺的视图；图8示出了包括图7A和图7B中所示的工艺的图案形成方法的流程图；图9A和图9B示出了根据示例实施例的显示装置的一些制造工艺的视图；图10A和图10B示出了根据示例实施例的显示装置的一些制造工艺的视图；图11示出了根据对比示例的图案部的剖视图；以及图12至图14示出了根据示例实施例的图案部的剖视图。具体实施方式现在将参照附图在下文中更加充分地描述示例实施例；然而，它们可以以不同的形式来实施，且不应该解释为局限于在这里阐述的实施例。相反，提供这些实施例使得本公开将是彻底的和完全的，并将示例实施方式充分地传达给本领域技术人员。在附图中，为了图示的清楚，可以夸大层和区域的尺寸。同样的附图标记始终表示同样的元件。在这个说明书中，将意味的是，当元件(或区域、层、部分等)被称作“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件时，该元件可以直接在所述另一元件上、直接连接或直接结合到所述另一元件，或者第三元件可以置于它们之间。术语“和/或”包括可以由相关所列项目限定的一个或更多个组合中的任何组合。将理解的是，虽然术语第一、第二在这里可以用来描述各种元件，但是这些元件不应该受这些术语的限制。上述术语仅用来将一个组件与其他组件区分开。例如，在不脱离本专利技术的精神和范围的情况下，第一元件可以被称为第二元件，第二元件也可以被称为第一元件。除非明确地相反表示，否则单数形式的术语可以包括复数形式。另外，诸如“在……下面”、“在……下方”、“在……上”、“在……上方”等的术语在这里可以用来描述在图中所示的元件之间的关系。上述术语是相对概念，并且相对于图中指示的方向进行描述。除非另有定义，否则在这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本专利技术所属领域的普通技术人员所通常理解的意思相同的意思。还将理解的是，除非在这里本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：/n在目标对象上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；/n在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及/n使所述第一膜和所述第二膜图案化以形成图案。/n

【技术特征摘要】
20181114 KR 10-2018-01399771.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：
在目标对象上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；
在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及
使所述第一膜和所述第二膜图案化以形成图案。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案包括：
第一图案，通过使所述第一膜图案化来形成；以及
第二图案，通过使所述第二膜图案化来形成。


3.根据权利要求2所述的方法，所述方法还包括用于在形成所述第二膜之后固化所述第一膜和所述第二膜的第一固化步骤。


4.根据权利要求3所述的方法，所述方法还包括用于在形成所述图案之后固化所述图案的第二固化步骤。


5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第二固化步骤包括：
第一温度固化步骤，用于在第一温度下固化所述图案；以及
第二温度固化步骤，用于在低于所述第一温度的第二温度下固化所述图案。


6.根据权利要求4所述的方法，其中，在所述第二固化步骤中，所述第二图案的收缩程度大于所述第一图案的收缩程度。


7.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述形成所述第一膜的步骤中，以第...

【专利技术属性】
技术研发人员：高昇澈，沈俊昊，吴世允，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR