形成图案部的方法技术

提供了一种形成图案部的方法，所述方法包括：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。

Method of forming pattern part

【技术实现步骤摘要】
形成图案部的方法于2018年11月14日在韩国知识产权局提交且名称为“图案部、形成图案部的方法和用其制造显示装置的方法”的第10-2018-0139977号韩国专利申请通过引用全部包含于此。
实施例涉及一种图案部、一种形成图案部的方法以及一种用其制造显示装置的方法。
技术介绍
在制造显示装置时，可以通过使用光刻工艺形成构成显示装置的层或图案的至少一部分。光刻工艺可以包括曝光步骤、显影步骤和蚀刻步骤。在曝光步骤中，使用反映图案的设计的掩模和曝光装置来形成光致抗蚀剂图案。
技术实现思路
实施例针对一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：在目标对象上形成第一膜，第一膜具有第一固化收缩率；在第一膜上形成第二膜，第二膜具有大于第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及使第一膜和第二膜图案化以形成图案。在示例实施例中，图案可以包括通过使第一膜图案化形成的第一图案和通过使第二膜图案化形成的第二图案。在示例实施例中，形成图案部的方法还可以包括用于在形成第二膜之后固化第一膜和第二膜的第一固化步骤。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：/n在目标对象上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；/n在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及/n使所述第一膜和所述第二膜图案化以形成图案。/n

【技术特征摘要】
20181114 KR 10-2018-01399771.一种形成图案部的方法，所述方法包括以下步骤：
在目标对象上形成第一膜，所述第一膜具有第一固化收缩率；
在所述第一膜上形成第二膜，所述第二膜具有大于所述第一固化收缩率的第二固化收缩率；以及
使所述第一膜和所述第二膜图案化以形成图案。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述图案包括：
第一图案，通过使所述第一膜图案化来形成；以及
第二图案，通过使所述第二膜图案化来形成。


3.根据权利要求2所述的方法，所述方法还包括用于在形成所述第二膜之后固化所述第一膜和所述第二膜的第一固化步骤。


4.根据权利要求3所述的方法，所述方法还包括用于在形成所述图案之后固化所述图案的第二固化步骤。


5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述第二固化步骤包括：
第一温度固化步骤，用于在第一温度下固化所述图案；以及
第二温度固化步骤，用于在低于所述第一温度的第二温度下固化所述图案。


6.根据权利要求4所述的方法，其中，在所述第二固化步骤中，所述第二图案的收缩程度大于所述第一图案的收缩程度。


7.根据权利要求1所述的方法，其中：
在所述形成所述第一膜的步骤中，以第...

【专利技术属性】
技术研发人员：高昇澈，沈俊昊，吴世允，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR