一种共面波导传输线及带有该共面波导传输线的硅基电光调制器制造技术

本发明专利技术公开了一种共面波导传输线及带有该共面波导传输线的硅基电光调制器。共面波导传输线为蜿蜒形状。硅基电光调制器包括脊型光波导；光分束器，用于将所述脊型光波导中的光分成两束分别进入第一光臂和第二光臂；所述第一光臂和所述第二光臂中的至少一个光臂包括周期性间隔设置的多个有源段和多个无源段；光合束器，用于将所述第一光臂和第二光臂中的光信号合成一束；其中，所述至少一个光臂交替地穿过所述共面波导传输线。本发明专利技术的技术方案使得光波导的有源段均匀地分布在共面波导传输线的两侧，从而在抑制了共面波导传输线的不平衡性导致的其他模式的同时，避免光波导的光的传输路径变长减小了电光调制器速度失配，实现了硅基电光调制器的高速率工作。

A coplanar waveguide transmission line and a silicon-based electro-optic modulator with the coplanar waveguide transmission line

【技术实现步骤摘要】
一种共面波导传输线及带有该共面波导传输线的硅基电光调制器
本专利技术涉及光电元器件领域，具体地，涉及一种共面波导传输线及带有该共面波导传输线的硅基电光调制器。
技术介绍
高速硅基马赫增德尔(MZI)电光调制器的电光带宽主要有如下三个因素决定：容性负载电极传输线的微波损耗，沿光波导传输的光信号和沿电极传输线传输的微波信号之间的速度匹配，调制区域中传输线阻抗和终端负载大小的阻抗匹配。当硅基MZI电光调制器的调制区域比较短时，速度匹配情况对电光带宽的影响较小；而当调制区域比较长时，速度匹配情况对电光带宽的影响则比较明显。硅基MZI电光调制器一般利用载流子色散效应改变光波导的折射率从而实现MZI结构的一臂或两臂的光信号相位发生改变，通过合束器产生光强度的变化。载流子色散效应较弱，对于低驱动电压的高速硅基电光调制器，较长的调制区域长度是需要的。对于工作在高速率的电光调制器，当调制区域较长时，合适的行波电极设计对器件的电光性能非常重要。共面波导(CPW)传输线因其灵活的设计以及较好的抗干扰能力，常被应用于高速硅基MZI电光调制器。对于传统的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种共面波导传输线，包括：/n第一接地线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和第二有源对应段之间的第一过渡段、连接第二有源对应段和下一个第一有源对应段的第二过渡段；所述第一接地线的第一有源对应段、第二有源对应段、第一过渡段和第二过渡段周期性重复地延长；/n信号线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和第二有源对应段之间的第一过渡段、连接第二有源对应段和下一个第一有源对应段的第二过渡段；所述信号线的第一有源对应段、第二有源对应段、第一过渡段和第二过渡段形成弯曲形并且周期性重复地延长；/n第二接地线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和...

【技术特征摘要】
1.一种共面波导传输线，包括：
第一接地线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和第二有源对应段之间的第一过渡段、连接第二有源对应段和下一个第一有源对应段的第二过渡段；所述第一接地线的第一有源对应段、第二有源对应段、第一过渡段和第二过渡段周期性重复地延长；
信号线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和第二有源对应段之间的第一过渡段、连接第二有源对应段和下一个第一有源对应段的第二过渡段；所述信号线的第一有源对应段、第二有源对应段、第一过渡段和第二过渡段形成弯曲形并且周期性重复地延长；
第二接地线，包括第一有源对应段、第二有源对应段、连接第一有源对应段和第二有源对应段之间的第一过渡段、连接第二有源对应段和下一个第一有源对应段的第二过渡段；所述第二接地线的第一有源对应段、第二有源对应段、第一过渡段和第二过渡段周期性重复地延长；
第一槽，其位于所述第一接地线和所述信号线之间，包括第一有源槽段、第二有源槽段、连接第一有源槽段和第二有源槽段的第一过渡槽段、连接第二有源槽段和下一个第一有源槽段的第二过渡槽段；所述第一槽的第一有源槽段、第二有源槽段、第一过渡槽段和第二过渡槽段形成弯曲形并且周期性重复地延长；
第二槽，其位于所述第二接地线和所述信号线之间，包括第一有源槽段、第二有源槽段和连接第一有源槽段和第二有源槽段的过渡槽段；所述第二槽的第一有源槽段、第二有源槽段和过渡槽段形成弯曲形并且周期性重复地延长；
其中，所述弯曲形包括大致S形或Z形的蜿蜒形状。


2.根据权利要求1所述的共面波导传输线，其特征在于：所述第一接地线的第一有源对应段、所述第一槽的第一有源槽段、所述信号线的第一有源对应段、所述第二槽的第一有源槽段、所述第二接地线的第一有源对应段彼此对应；所述第二接地线的第一有源对应段向所述信号线的第一有源对应段突出，使得所述第一槽的第一有源槽段的宽度和所述第二槽的第一有源槽段的宽度大致相同。


3.根据权利要求1所述的共面波导传输线，其特征在于：所述第一接地线的第二有源对应段、所述第一槽的第二有源槽段、所述信号线的第二有源对应段、所述第二槽的第二有源槽段、所述第二接地线的第二有源对应段彼此对应；所述第一接地线的第二有源对应段向所述信号线的第二有源对应段突出，使得所述第一槽的第二有源槽段的宽度和所述第二槽的第二有源槽段的宽度大致相同。


4.根据权利要求1所述的共面波导传输线，其特征在于：所述第一接地线的第一过渡段、所述第一槽的第一过渡槽段、所述信号线的第一过渡段、所述第二槽的第一过渡槽段、所述第二接地线的第一过渡段彼此对应，使得所述第一槽的第一过渡槽段的宽度和所述第二槽的第一过渡槽段的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘亚东，蔡鹏飞，苏宗一，潘栋，
申请(专利权)人：NANO科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11