显微物镜以及自动光学检测系统技术方案

本发明专利技术提供了显微物镜以及自动光学检测系统，其中，显微物镜沿光轴自物侧面到像侧面至少依次包括：第一镜头组，具有负光焦度；第二镜头组，具有正光焦度，所述第二镜头组用于对从第二镜头组的物侧入射至所述第二镜头组的光束进行偏折；第三镜头组，具有负光焦度，所述第三镜头组用于对从所述第三镜头组的物侧入射，并从所述第三镜头组的像侧出射至所述第二镜头组的光束进行像差校正；以及第四镜头组，所述第四镜头组具有负光焦度，所述第四镜头组用于对从第四镜头组的物侧入射至所述第四镜头组的光束进行缩束。本发明专利技术提供了显微物镜，在保持数值孔径不变的条件下，且不牺牲像差的情况下，可以得到较大工作距离的高倍物镜。

Micro objective and automatic optical detection system

【技术实现步骤摘要】
显微物镜以及自动光学检测系统
本专利技术涉及光学领域，具体地说，涉及显微物镜以及自动光学检测系统。
技术介绍
自动光学检测(AOI，英文全称：AutomaticOpticalInspection)技术可实现晶圆、芯片或其他待测对象的快速、高精度、无损伤检测。该技术广泛地应用于PCB(PrintedCircuitBoard，印刷电路板)、IC(IntegratedCircuit，集成电路)晶圆、LED(Light-EmittingDiode，发光二极管)、TFT(ThinFilmTransistor，薄膜晶体管)以及太阳能面板等多个领域。自动光学检测技术一般采用宽带照明实现良好的工艺适应性，并利用长工作距离物镜进行缺陷的检测。而传统的高倍物镜透镜工作距离往往较小，无法满足AOI检测特殊照明的需求。一般来说，为了改善显微镜的操作性，需要增大其工作距离，传统的倍率50倍左右的物镜，工作距离比较短，操作性及工艺适应性比较差。为克服上述问题，需要保持NA(数值孔径)不变的条件下使物镜获得较长的工作距离。然而，满足该条件的物镜，其边缘光束的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微物镜，其特征在于，沿光轴自像侧到物侧至少依次包括：/n第一镜头组，所述第一镜头组具有负光焦度；/n第二镜头组，所述第二镜头组具有正光焦度，所述第二镜头组用于对从第二镜头组的物侧入射至所述第二镜头组的光束进行偏折；/n第三镜头组，所述第三镜头组具有负光焦度，所述第三镜头组用于对从所述第三镜头组的物侧入射，并从所述第三镜头组的像侧出射至所述第二镜头组的光束进行像差校正；以及/n第四镜头组，所述第四镜头组具有负光焦度，所述第四镜头组用于对从第四镜头组的物侧入射至所述第四镜头组的光束进行缩束。/n

【技术特征摘要】
1.一种显微物镜，其特征在于，沿光轴自像侧到物侧至少依次包括：
第一镜头组，所述第一镜头组具有负光焦度；
第二镜头组，所述第二镜头组具有正光焦度，所述第二镜头组用于对从第二镜头组的物侧入射至所述第二镜头组的光束进行偏折；
第三镜头组，所述第三镜头组具有负光焦度，所述第三镜头组用于对从所述第三镜头组的物侧入射，并从所述第三镜头组的像侧出射至所述第二镜头组的光束进行像差校正；以及
第四镜头组，所述第四镜头组具有负光焦度，所述第四镜头组用于对从第四镜头组的物侧入射至所述第四镜头组的光束进行缩束。


2.根据权利要求1所述的显微物镜，其特征在于：所述第一镜头组自像侧到物侧至少依次包括：
第一透镜，所述第一透镜为正透镜；以及
第二透镜，所述第二透镜为负透镜，所述第二透镜与所述第一透镜胶合。


3.根据权利要求2所述的显微物镜，其特征在于：所述第二透镜的阿贝数v1及所述第二透镜的阿贝数v2满足如下公式：
v2-v1＞16。


4.根据权利要求2所述的显微物镜，其特征在于：所述第二镜头组至少包括：第三透镜，所述第三透镜为正透镜，所述第三透镜具有面向物侧的凸形表面的弯月形状。


5.根据权利要求4所述的显微物镜，其特征在于：所述第一镜头组的焦距F1、所述第二镜头组的焦距F2以及所述第二透镜和所述第三透镜之间的相近顶点间隔d3满足如下公式：
0.7(|F1|+d3)＜F2＜2.1(|F1|+d3)。


6.根据权利要求1所述的显微物镜，其特征在于：所述第三镜头组沿光轴自像侧到...

【专利技术属性】
技术研发人员：高建翔，
申请(专利权)人：上海御微半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31