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本发明提供了显微物镜以及自动光学检测系统，其中，显微物镜沿光轴自物侧面到像侧面至少依次包括：第一镜头组，具有负光焦度；第二镜头组，具有正光焦度，所述第二镜头组用于对从第二镜头组的物侧入射至所述第二镜头组的光束进行偏折；第三镜头组，具有负光焦...
该专利属于上海御微半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海御微半导体技术有限公司授权不得商用。

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