【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置
本申请属于微波屏蔽
，尤其是涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽结构。
技术介绍
微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是用微波等离子体作反应源，在石英管内沉积制备光纤预制棒的一种方法，该方法与其它等离子体化学气相沉积法的不同之处在于原料气体被微波能激发电离产生等离子体，而MPCVD法所使用的微波等离子体化学气相沉积设备的核心部件就是用于产生微波等离子体的微波谐振腔，微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点，但与此同时，微波谐振腔会产生对设备和人员造成危害的微波辐射，因此需要对其进行微波屏蔽。目前，针对微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽方法一般为两种：一种方法是在设备外建造金属隔间，该方法虽然可以减少对人员的伤害，但无法减少对设备本身的危害，另外金属隔间的占地空间大，浪费厂房资源；另一种方法在设备四周做隔板，隔板上贴附吸波材料，该方法虽然对微波的屏蔽效果较好，但微波吸波材料对温度及湿度等环境要求较高，需要根据环境情...
【技术保护点】
1.一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备(3)外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板(1)及其固定底座(2)，所述复合夹心屏蔽板(1)具有内侧板(11)、外侧板(12)和设置在内侧板(11)和外侧板(12)之间的中间隔板(13)，所述内侧板(11)与中间隔板(13)之间的第一空隙(14)内设置有冷却水循环管道及与冷却水循环管道的进出口相连的循环冷却水箱，所述外侧板(12)与中间隔板(13)之间的第二空隙(15)内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网(16)，相邻复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)通过电导线(4)相互连...
【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备(3)外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板(1)及其固定底座(2)，所述复合夹心屏蔽板(1)具有内侧板(11)、外侧板(12)和设置在内侧板(11)和外侧板(12)之间的中间隔板(13)，所述内侧板(11)与中间隔板(13)之间的第一空隙(14)内设置有冷却水循环管道及与冷却水循环管道的进出口相连的循环冷却水箱，所述外侧板(12)与中间隔板(13)之间的第二空隙(15)内填充有孔洞直径小于微波波长的铜网(16)，相邻复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)通过电导线(4)相互连接在一起，每个复合夹心屏蔽板(1)内的铜网(16)上设有用于与地面连接的接地导线(5)。
2.根据权利要求1所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，除首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道不通过水管串联连接之外，其余相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道通过水管串联连接，所述首末两端的相邻两个复合夹心屏蔽板(1)内的两个冷却水循环管道的其中一个底部设置有冷却水进水口，另一个顶部设置有出水口，进水口和出水口与循环冷却水箱连接。
3.根据权利要求1或2所述的微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，其特征在于，所述冷却水循环管道以来回盘绕方式均...
【专利技术属性】
技术研发人员：俞佳宾，李凡，眭立洪，
申请(专利权)人：江苏永鼎光纤科技有限公司，江苏永鼎股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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