温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本申请涉及一种微波等离子体化学气相沉积设备的微波屏蔽装置，包括设置于微波等离子体化学气相沉积设备外围的若干个相互连接的复合夹心屏蔽板及其固定底座，复合夹心屏蔽板具有内侧板、外侧板和设置在内侧板和外侧板之间的中间隔板，内侧板与中间隔板之间的第...该专利属于江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏永鼎光纤科技有限公司;江苏永鼎股份有限公司授权不得商用。