一种便于清洁的半导体制造设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于清洁的半导体制造设备，属于半导体制造技术领域，包括底座，所述底座的上表面固定安装有刻蚀槽，刻蚀槽内部设置有两个耐腐蚀滤框，耐腐蚀滤框穿过刻蚀槽上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽，耐腐蚀滤框的外表面固定安装有限位块；通过设置螺柱、活动板、滑杆、刮环和刮板，利用螺柱的转动带动活动板向上或向下运动，进而通过滑杆带动刮环向上或向下运动，进而对刻蚀槽的内侧壁进行清理，同时刮板跟随转轴a同步转动对刻蚀槽内侧壁的下表面进行清理，进而可以对刻蚀槽内侧壁进行全方位清洁，同时利用耐腐蚀滤框来盛放半导体器件，避免刻蚀产生的较大的杂质调入到刻蚀槽内，结构简单，操作方便。

An easy to clean semiconductor manufacturing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种便于清洁的半导体制造设备
本技术属于半导体制造
，具体涉及一种便于清洁的半导体制造设备。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在消费电子、通信系统、医疗仪器等领域有广泛应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。现有的半导体制造过程中刻蚀后会产生杂质，杂质积聚不方便清理刻蚀槽，给后续的刻蚀作业带来不便，同时在刻蚀时缺乏对刻蚀液的搅拌结构，使得底部的刻蚀液与器件之间不能够很好的接触。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种便于清洁的半导体制造设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于清洁的半导体制造设备，包括底座，所述底座的上表面固定安装有刻蚀槽，所述刻蚀槽内部设置有两个耐腐蚀滤框，所述耐腐蚀滤框穿过刻蚀槽上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽，所述耐腐蚀滤框的外表面固定安装有限位块，所述限位块的外表面与限位槽的内侧壁贴合，且限位槽开设在刻蚀槽的上表面，所述限位块通过螺栓固定安装在刻蚀槽的上表面，所述刻蚀槽的下表面卡接有密封轴承a，且密封轴承a的内侧壁套接有转轴a，所述转轴a的底端与驱动电机a的输出轴固定连接，所述驱动电机a固定安装在刻蚀槽的下表面，所述转轴a的外表面固定安装有若干个搅拌杆，所述转轴a的外表面还固定连接有两个刮板，所述刮板的下表面与刻蚀槽内侧壁的下表面贴合，所述刻蚀槽的上表面固定安装有框架，所述框架内侧壁的上表面和刻蚀槽的上表面均卡接有密封轴承b，且两个密封轴承b的内侧壁均套接有转轴b，且两个转轴b相对的一端分别与螺柱的两端固定连接，所述框架上的转轴b与驱动电机b的输出轴固定连接，所述驱动电机b固定安装在框架的上表面，所述驱动电机b和驱动电机a均与外接电源电性连接，所述螺柱的外表面螺纹连接有螺纹帽，所述螺纹帽卡接在活动板的上表面，所述活动板的下表面与滑杆的顶端固定连接，所述滑杆的外表面套接有滑套，所述滑套卡接在刻蚀槽的上表面，所述滑杆的底端与刮环的上表面固定连接，所述刮环的外表面与刻蚀槽的内侧壁贴合，所述刻蚀槽的下表面设置有出液管，所述出液管上设置有出液阀。采用上述方案，通过设置螺柱、活动板、滑杆、刮环和刮板，利用螺柱的转动带动活动板向上或向下运动，进而通过滑杆带动刮环向上或向下运动，进而对刻蚀槽的内侧壁进行清理，同时刮板跟随转轴a同步转动对刻蚀槽内侧壁的下表面进行清理，进而可以对刻蚀槽内侧壁进行全方位清洁，同时利用耐腐蚀滤框来盛放半导体器件，避免刻蚀产生的较大的杂质调入到刻蚀槽内，结构简单，操作方便，通过设置限位块配合螺栓对耐腐蚀滤框进行安装固定，便于对耐腐蚀滤框的拆卸取出，同时利用转轴a带动搅拌杆转动对刻蚀液进行搅拌，使得刻蚀液与半导体器件接触更加全面，刻蚀效果更好，完善功能多样性。上述方案中，需要说明的是，所述驱动电机a和驱动电机b的型号可以为YE2-112M-4。作为一种优选的实施方式，所述耐腐蚀滤框上的限位块数量为两个，且两个限位块分别位于耐腐蚀滤框外表面的左右两侧。采用上述方案，通过设置有两个限位块来对耐腐蚀滤框进行限位，使得耐腐蚀滤框的安装定位效果更好，有效避免在刻蚀过程中发生移位晃动的现象。作为一种优选的实施方式，所述滑杆的数量为两个，且两个滑杆分别位于刮环上表面的左右两侧。采用上述方案，通过设置两个滑杆来连接活动板和刮环，使得活动板通过滑杆带动刮环上下运动时不易晃动且更加稳定。作为一种优选的实施方式，所述刮环的内环半径比刮板的长度大。采用上述方案，通过将刮环的内环半径设置的比刮板的长度大，进而使得刮环在运动到刻蚀槽内侧壁的最下方时不会受到刮板的阻碍，保证清洁刻蚀槽的顺利进行。作为一种优选的实施方式，所述活动板上正对耐腐蚀滤框的位置开设有操作孔。采用上述方案，通过设置操作孔，进而使得在取出耐腐蚀滤框时不会受到活动板的阻碍，操作方便。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该便于清洁的半导体制造设备通过设置螺柱、活动板、滑杆、刮环和刮板，利用螺柱的转动带动活动板向上或向下运动，进而通过滑杆带动刮环向上或向下运动，进而对刻蚀槽的内侧壁进行清理，同时刮板跟随转轴a同步转动对刻蚀槽内侧壁的下表面进行清理，进而可以对刻蚀槽内侧壁进行全方位清洁，同时利用耐腐蚀滤框来盛放半导体器件，避免刻蚀产生的较大的杂质调入到刻蚀槽内，结构简单，操作方便；该便于清洁的半导体制造设备通过设置限位块配合螺栓对耐腐蚀滤框进行安装固定，便于对耐腐蚀滤框的拆卸取出，同时利用转轴a带动搅拌杆转动对刻蚀液进行搅拌，使得刻蚀液与半导体器件接触更加全面，刻蚀效果更好，完善功能多样性。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术耐腐蚀滤框的结构示意图；图3为本技术活动板俯视的结构示意图；图4为本技术A处放大的结构示意图。图中：1、底座；2、刻蚀槽；3、耐腐蚀滤框；4、限位块；5、螺栓；6、转轴a；7、驱动电机a；8、搅拌杆；9、框架；10、转轴b；11、螺柱；12、驱动电机b；13、螺纹帽；14、活动板；15、滑杆；16、滑套；17、刮环；18、刮板；19、出液管。具体实施方式下面结合实施例对本技术做进一步的描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的保护范围。实施例中的条件可以根据具体条件做进一步的调整，在本技术的构思前提下对本技术的方法简单改进都属于本技术要求保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种便于清洁的半导体制造设备，包括底座1，底座1的上表面固定安装有刻蚀槽2，刻蚀槽2内部设置有两个耐腐蚀滤框3，耐腐蚀滤框3穿过刻蚀槽2上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽2，耐腐蚀滤框3的外表面固定安装有限位块4，耐腐蚀滤框3上的限位块4数量为两个，且两个限位块4分别位于耐腐蚀滤框3外表面的左右两侧(见图1、图2和图4)；通过设置有两个限位块4来对耐腐蚀滤框3进行限位，使得耐腐蚀滤框3的安装定位效果更好，有效避免在刻蚀过程中发生移位晃动的现象。限位块4的外表面与限位槽的内侧壁贴合，且限位槽开设在刻蚀槽2的上表面，限位块4通过螺栓5固定安装在刻蚀槽2的上表面，刻蚀槽2的下表面卡接有密封轴承a，且密封轴承a的内侧壁套接有转轴a6，转轴a6的底端与驱动电机a7的输出轴固定连接，驱动电机a7固定安装在刻蚀槽2的下表面，转轴a6的外表面固定安装有若干个搅拌杆8，转轴a6的外表面还固定连接有两个刮板18，刮环17的内环半径比刮板18的长度大(见图1)；通过将刮环17的内环半径设置的比刮板18的长度大，进而使得刮环17在运动到刻蚀槽2内侧壁的最下方时不会受到刮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于清洁的半导体制造设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定安装有刻蚀槽(2)，所述刻蚀槽(2)内部设置有两个耐腐蚀滤框(3)，所述耐腐蚀滤框(3)穿过刻蚀槽(2)上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽(2)，所述耐腐蚀滤框(3)的外表面固定安装有限位块(4)，所述限位块(4)的外表面与限位槽的内侧壁贴合，且限位槽开设在刻蚀槽(2)的上表面，所述限位块(4)通过螺栓(5)固定安装在刻蚀槽(2)的上表面，所述刻蚀槽(2)的下表面卡接有密封轴承a，且密封轴承a的内侧壁套接有转轴a(6)，所述转轴a(6)的底端与驱动电机a(7)的输出轴固定连接，所述驱动电机a(7)固定安装在刻蚀槽(2)的下表面，所述转轴a(6)的外表面固定安装有若干个搅拌杆(8)，所述转轴a(6)的外表面还固定连接有两个刮板(18)，所述刮板(18)的下表面与刻蚀槽(2)内侧壁的下表面贴合，所述刻蚀槽(2)的上表面固定安装有框架(9)，所述框架(9)内侧壁的上表面和刻蚀槽(2)的上表面均卡接有密封轴承b，且两个密封轴承b的内侧壁均套接有转轴b(10)，且两个转轴b(10)相对的一端分别与螺柱(11)的两端固定连接，所述框架(9)上的转轴b(10)与驱动电机b(12)的输出轴固定连接，所述驱动电机b(12)固定安装在框架(9)的上表面，所述驱动电机b(12)和驱动电机a(7)均与外接电源电性连接，所述螺柱(11)的外表面螺纹连接有螺纹帽(13)，所述螺纹帽(13)卡接在活动板(14)的上表面，所述活动板(14)的下表面与滑杆(15)的顶端固定连接，所述滑杆(15)的外表面套接有滑套(16)，所述滑套(16)卡接在刻蚀槽(2)的上表面，所述滑杆(15)的底端与刮环(17)的上表面固定连接，所述刮环(17)的外表面与刻蚀槽(2)的内侧壁贴合，所述刻蚀槽(2)的下表面设置有出液管(19)，所述出液管(19)上设置有出液阀。/n...

【技术特征摘要】
1.一种便于清洁的半导体制造设备，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定安装有刻蚀槽(2)，所述刻蚀槽(2)内部设置有两个耐腐蚀滤框(3)，所述耐腐蚀滤框(3)穿过刻蚀槽(2)上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽(2)，所述耐腐蚀滤框(3)的外表面固定安装有限位块(4)，所述限位块(4)的外表面与限位槽的内侧壁贴合，且限位槽开设在刻蚀槽(2)的上表面，所述限位块(4)通过螺栓(5)固定安装在刻蚀槽(2)的上表面，所述刻蚀槽(2)的下表面卡接有密封轴承a，且密封轴承a的内侧壁套接有转轴a(6)，所述转轴a(6)的底端与驱动电机a(7)的输出轴固定连接，所述驱动电机a(7)固定安装在刻蚀槽(2)的下表面，所述转轴a(6)的外表面固定安装有若干个搅拌杆(8)，所述转轴a(6)的外表面还固定连接有两个刮板(18)，所述刮板(18)的下表面与刻蚀槽(2)内侧壁的下表面贴合，所述刻蚀槽(2)的上表面固定安装有框架(9)，所述框架(9)内侧壁的上表面和刻蚀槽(2)的上表面均卡接有密封轴承b，且两个密封轴承b的内侧壁均套接有转轴b(10)，且两个转轴b(10)相对的一端分别与螺柱(11)的两端固定连接，所述框架(9)上的转轴b(10)与驱动电机b(12)的输出轴固定连接，所述驱动电机b(12)固定安装在框架(9)的上表面，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张志平，
申请(专利权)人：襄阳斯迈克电气有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42