下载一种便于清洁的半导体制造设备的技术资料

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本实用新型公开了一种便于清洁的半导体制造设备,属于半导体制造技术领域,包括底座,所述底座的上表面固定安装有刻蚀槽,刻蚀槽内部设置有两个耐腐蚀滤框,耐腐蚀滤框穿过刻蚀槽上表面开设的插孔延伸出刻蚀槽,耐腐蚀滤框的外表面固定安装有限位块;通过设置...
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