搬送装置清洁系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及清洁设备技术领域，公开了一种搬送装置清洁系统，包括：容纳搬送装置的清洁室；走行所述搬送装置的维修轨道，所述清洁室设置在所述维修轨道上；第一传感器，所述第一传感器设置在所述维修轨道上，所述第一传感器与所述清洁室连接。本实用新型专利技术提供的搬送装置清洁系统能够在短时间内将搬送装置清洁干净的同时，减少人力成本、提高搬送装置的利用率。

Conveyor cleaning system

【技术实现步骤摘要】
搬送装置清洁系统
本技术涉及清洁设备
，特别涉及一种搬送装置清洁系统。
技术介绍
高架起重搬运器(OverheadHoistTransports，简称OHT)是一种自动化搬送装置，能够在空中轨道上行驶，并能够通过皮带传动起重机构“直接”进入保管设备或工艺设备的装卸口。现有技术中OHT的一种应用场景为：将装载芯片的前开式晶圆运载盒(FrontOpeningUnifiedPod，简称FOUP)运送至芯片生产机台的前开式接口机械标准系统，然而此种应用场景容易将OHT上的粉尘震落并沾附于FOUP上，当生产机台开启FOUP门的时候，因机台内为真空状态(负压)，会将FOUP上与环境中的粉尘吸入生产机台内，使得粉尘散落在芯片上，从而使生产出来的芯片有严重缺陷。理想的解决办法是定期去除附着在OHT上及分布于轨道上的粉尘，尤其是囤积在OHT上的粉屑颗粒(Particle)。现有技术中清洁OHT的方法是将OHT从工作轨道上取下，人工用气枪及真空吸尘器对OHT进行清洁。专利技术人发现现有技术至少存在如下问题：人工将OHT从工作轨道上取下以及人工清洁OH本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬送装置清洁系统，其特征在于，包括：/n容纳搬送装置的清洁室；/n走行所述搬送装置的维修轨道，所述清洁室设置在所述维修轨道上；/n第一传感器，所述第一传感器设置在所述维修轨道上，所述第一传感器与所述清洁室连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种搬送装置清洁系统，其特征在于，包括：
容纳搬送装置的清洁室；
走行所述搬送装置的维修轨道，所述清洁室设置在所述维修轨道上；
第一传感器，所述第一传感器设置在所述维修轨道上，所述第一传感器与所述清洁室连接。


2.根据权利要求1所述的搬送装置清洁系统，其特征在于，所述维修轨道设有第二定位装置，所述第二定位装置与所述第一传感器连接。


3.根据权利要求1所述的搬送装置清洁系统，其特征在于，还包括搬送装置工作轨道，所述搬送装置工作轨道与所述维修轨道连接。


4.根据权利要求3所述的搬送装置清洁系统，其特征在于，所述搬送装置工作轨道还设置有通信装置，所述通信装置与所述清洁室通信连接。


5.根据权利要求4所述的搬送装置清洁系统，其特征在于，所述搬送装置工作轨道上设置有第二传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓飞，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34