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本实用新型涉及清洁设备技术领域，公开了一种搬送装置清洁系统，包括：容纳搬送装置的清洁室；走行所述搬送装置的维修轨道，所述清洁室设置在所述维修轨道上；第一传感器，所述第一传感器设置在所述维修轨道上，所述第一传感器与所述清洁室连接。本实用新型提...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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