【技术实现步骤摘要】
表面形貌检测方法
本专利技术是有关于一种表面形貌检测方法，特别是关于一种能侦测与补偿震动的表面形貌检测方法。
技术介绍
在产品制造完成后，都会经过一定的测试程序，用来把关产品的质量。一般来说，会仰赖人力检查产品的外观是否缺损，或者通过观察产品的外观来判断功能是否正常。但有些产品的结构比较细致，有时实在无法要求人员使用肉眼检查出瑕疵。传统上，可以例如使用摄影机来拍摄产品的外观，通过放大拍摄到的影像，便可以检查产品特定区域的外观。但是，如果要检测芯片表面的结构时，由于结构的尺寸非常小，单纯使用传统的表面形貌检测系统易受到外部干扰而严重影响判断的准确度。举例来说，拍摄时的轻微震动即很有可能造成误判。因此，业界在检测小尺寸物品时，需要一种新的表面形貌检测方法，以提高表面形貌的测量准确度。
技术实现思路
本专利技术提供一种表面形貌检测方法，依序开启空间光调制器中的多个像素群组，并于所述多个像素群组中设计有重复像素，藉此补偿震动的干扰，以提高表面形貌的测量准确度。本专利技术提供一种表面形貌检测方法，所...
【技术保护点】
1.一种表面形貌检测方法，其特征在于，包含：/n提供一测试光线，该测试光线用以测量一对象的表面形貌；/n于该测试光线的一光学路径上，提供一空间光调制器，该空间光调制器具有多个像素；以及/n控制该空间光调制器，于一第一时间区间开启该些像素中的一第一像素群组，于一第二时间区间开启该些像素中的一第二像素群组；/n其中该第一像素群组与该第二像素群组分别对应部分的该些像素，且该第一像素群组与该第二像素群组之间有一第一重复像素。/n
【技术特征摘要】
1.一种表面形貌检测方法，其特征在于，包含：
提供一测试光线，该测试光线用以测量一对象的表面形貌；
于该测试光线的一光学路径上，提供一空间光调制器，该空间光调制器具有多个像素；以及
控制该空间光调制器，于一第一时间区间开启该些像素中的一第一像素群组，于一第二时间区间开启该些像素中的一第二像素群组；
其中该第一像素群组与该第二像素群组分别对应部分的该些像素，且该第一像素群组与该第二像素群组之间有一第一重复像素。
2.如权利要求1所述的表面形貌检测方法，其特征在于，于该第一时间区间中，该对象反射该测试光线而取得一第一对象光线，于该第二时间区间中，该对象反射该测试光线而取得一第二对象光线。
3.如权利要求2所述的表面形貌检测方法，其特征在于，更包含：
侦测该第一对象光线，据以产生多个第一表面形貌数据，每一该第一表面形貌数据分别对应该第一像素群组中的每一该像素；
侦测该第二对象光线，据以产生多个第二表面形貌数据，每一该第二表面形貌数据分别对应该第二像素群组中的每一该像素；以及
比对该第一重复像素对应的该第一表面形貌数据与该第一重复像素对应的该第二表面形貌数据，计算一第一震动差值。
4.如权利要求3所述的表面形貌测方法，其特征在于，更包含：
依据该第一震动差值，补偿该些第二表面形貌数据。
5.如权利要求4所述的表面形貌检测方法，其特征在于，更包含：
组合该些第一表面形...
【专利技术属性】
技术研发人员：张群伟，
申请(专利权)人：致茂电子苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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