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本发明提供一种表面形貌检测方法，所述方法包含下列步骤。首先，提供测试光线，测试光线用以测量对象的表面形貌。于测试光线的光学路径上，提供空间光调制器，空间光调制器具有多个像素。控制空间光调制器，于第一时间区间开启所述多个像素中的第一像素群组，...
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