用于在图像传感器中传输光的金属网光管制造技术

各种实施例涉及一种光管。所述光管可包含在图像传感器的衬底内的通道。所述通道可由多个层形成。所述多个层可包含第一层及第二层。所述第二层可沿着所述通道的轴线与所述第一层间隔开。

Metal mesh light tube for transmitting light in image sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于在图像传感器中传输光的金属网光管根据35U.S.C.§119的优先权主张本专利申请案主张2018年10月16日申请的名为“用于在图像传感器中传输光的金属网光管(METALMESHLIGHTPIPEFORTRANSPORTINGLIGHTINANIMAGESENSOR)”的美国非临时申请案第16/161,958号的优先权，所述美国非临时申请案主张2017年10月17日申请的名为“用于在图像传感器中传输光的金属网光管(METALMESHLIGHTPIPEFORTRANSPORTINGLIGHTINANIMAGESENSOR)”的临时申请案第62/573,612号的优先权，且所述临时申请案转让给本受让人并特此以引用的方式明确地并入本文中。
本专利技术涉及金属网光管，且尤其涉及包含用以在图像传感器内传输光的金属网光管的图像传感器。
技术介绍
例如数字相机、智能电话或平板计算机的图像处理装置依赖于图像传感器来捕获图像。图像传感器接收光并将所述光转换成电信号。图像处理装置接着将这些电信号变换成数字图像。当前可得到不同类型的图像传感器。举例来说，图像处理装置通常利用正面照明(FSI)图像传感器或背面照明(BSI)图像传感器。FSI图像传感器通常经定向使得光进入FSI图像传感器的顶部并在照在光感测表面上之前通过金属互连层。与此对比，BSI图像传感器经定向以允许光从BSI图像传感器的顶部进入并照在光感测表面上而不通过BSI图像传感器的金属互连层。虽然FSI图像传感器及BSI图像传感器中的每一者具有有利成像特性，但其皆具有有限空间响应。
技术实现思路
本专利技术描述包含金属网光管的具有延伸空间响应的图像传感器的各种实施例。各种实施例可包含一种装置，其包含第一传感器部分及第二传感器部分。在一些实施例中，所述第一传感器部分可包含第一光检测器。在这些实施例中，所述第二传感器部分可包含第二光检测器。在一些实施例中，所述装置可包含在所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的组合金属互连层。所述组合金属互连层形成包含由多个层形成的通道的光管。所述多个层可包含第一层及第二层。所述第二层可沿着所述通道的轴线与所述第一层间隔开。在一些实施例中，所述第一层可包含金属且所述第二层可包含所述金属。在一些实施例中，所述金属可为光学金属迹线。在一些实施例中，所述金属可为金属互连迹线。在一些实施例中，所述第一层的第一周边可围绕所述轴线连续地延伸，且所述第二层的第二周边可围绕所述轴线连续地延伸。在一些实施例中，所述第一周边可等于所述第二周边。在一些实施例中，所述第二层可与所述第一层间隔开大于0.0微米且小于或等于大约0.5微米的距离。在一些实施例中，所述组合金属互连层可包含在所述第一传感器部分内的第一金属互连层及在所述第二传感器部分内的第二金属互连层。在一些实施例中，所述光管可包含第一光管，所述第一光管包含由所述第一金属互连层内的第一多个层形成的第一通道。在一些实施例中，第二光管可包含由所述第二金属互连层内的第二多个层形成的第二通道。在一些实施例中，所述第一光管及所述第二光管可关于共同轴线对准。在一些实施例中，形成所述第一光管的所述第一通道的所述第一多个层可具有围绕所述轴线延伸的第一周边，且形成所述第二光管的所述第二通道的所述第二多个层可具有围绕所述轴线延伸的第二周边。所述第一周边可大于所述第二周边。在一些实施例中，所述第一层可包含第一多个金属部分，所述第一多个金属部分包含光学金属迹线的第一金属部分及金属互连迹线的第二金属部分。在一些实施例中，所述第二层可包含第二多个金属部分，所述第二多个金属部分包含光学金属迹线的第一金属部分及金属互连迹线的第二金属部分。在一些实施例中，所述光学金属迹线可包含多个边缘，所述多个边缘包含第一边缘及与所述第一边缘相对的第二边缘，且所述金属互连迹线可包含多个边缘，所述多个边缘包含第三边缘及与所述第三边缘相对的第四边缘。在一些实施例中，所述光学金属迹线的所述第一边缘可耦合至所述金属互连迹线的所述第三边缘，且所述光学金属迹线的所述第二边缘可与所述金属互连迹线的所述第四边缘间隔开。在一些实施例中，所述光学金属迹线的所述第一边缘可与所述金属互连迹线的第三边缘间隔开。在一些实施例中，所述光学金属迹线的所述第一边缘及所述第二边缘可与所述金属互连迹线的所述第三边缘及所述第四边缘间隔开。在一些实施例中，所述光学金属迹线的所述第一边缘可耦合至所述金属互连迹线，且所述光学金属迹线的所述第二边缘可与所述金属互连迹线间隔开。在一些实施例中，所述金属互连迹线的所述第三边缘可耦合至所述光学金属迹线，且所述金属互连迹线的所述第四边缘可与所述光学金属迹线间隔开。在一些实施例中，所述装置可包含安置于所述第二光检测器上方的双带通滤波器或安置于所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的窄带通滤波器中的至少一者。在一些实施例中，所述装置可包含光学发送器。所述光学发送器可经配置以发送源光。在一些实施例中，所述装置可包含光学接收器。所述光学接收器可经配置以接收所述源光的反射。所述光学接收器可包含所述第一传感器部分及所述第二传感器部分。在一些实施例中，所述装置可包含处理器。所述处理器可经配置以从第一电信号产生第一数字信号。所述处理器可经配置以从第二电信号产生第二数字信号。所述处理器可经配置以基于所述第一数字信号及所述第二数字信号产生组合数字信号。所述处理器可经配置以基于所述组合数字信号产生数字图像。各种实施例可包含一种用于经由图像传感器捕获图像的方法。在一些实施例中，所述方法可包含经由光学接收器接收光。在一些实施例中，所述光学接收器可包含图像传感器。所述图像传感器可包含第一传感器部分及第二传感器部分。在一些实施例中，所述第一传感器部分可包含第一光检测器。在这些实施例中，所述第二传感器部分可包含第二光检测器。在一些实施例中，所述图像传感器可包含在所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的组合金属互连层。所述组合金属互连层可形成包含由多个层形成的通道的光管。所述多个层可包含第一层及第二层。所述第二层可沿着所述通道的轴线与所述第一层间隔开。在一些实施例中，所述方法可包含经由光学发送器发送源光。所述光学接收器可接收所述源光的反射。在一些实施例中，所述方法可包含经由处理器从第一电信号产生第一数字信号。所述方法可包含经由所述处理器从第二电信号产生第二数字信号。所述方法可包含经由所述处理器基于所述第一数字信号及所述第二数字信号产生组合数字信号。所述方法可包含经由所述处理器基于所述组合数字信号产生数字图像。在一些实施例中，所述第一层可包含金属且所述第二层可包含所述金属。在一些实施例中，所述金属可为光学金属迹线。在一些实施例中，所述金属可为金属互连迹线。在一些实施例中，所述第一层的第一周边可围绕所述轴线连续地延伸，且所述第二层的第二周边可围绕所述轴线连续地延伸。在一些实施例中，所述第一周边可等于所述第二周边。在一些实施例中，所述第二层可与所述第一层间隔开大于0.0微米且小于或本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装置，其包括：/n第一传感器部分，其包含第一光检测器；/n第二传感器部分，其包含第二光检测器；及/n在所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的组合金属互连层，所述组合金属互连层形成包含由多个层形成的通道的光管，所述多个层包含：/n第一层；及/n第二层，其沿着所述通道的轴线与所述第一层间隔开。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171017 US 62/573,612;20181016 US 16/161,9581.一种装置，其包括：
第一传感器部分，其包含第一光检测器；
第二传感器部分，其包含第二光检测器；及
在所述第一光检测器与所述第二光检测器之间的组合金属互连层，所述组合金属互连层形成包含由多个层形成的通道的光管，所述多个层包含：
第一层；及
第二层，其沿着所述通道的轴线与所述第一层间隔开。


2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层包含第一多个金属部分，所述第一多个金属部分包含光学金属迹线的第一金属部分及金属互连迹线的第二金属部分。


3.根据权利要求2所述的装置，其中所述光学金属迹线包含多个边缘，所述多个边缘包含第一边缘及与所述第一边缘相对的第二边缘，且所述金属互连迹线包含多个边缘，所述多个边缘包含第三边缘及与所述第三边缘相对的第四边缘。


4.根据权利要求3所述的装置，其中所述光学金属迹线的所述第一边缘耦合至所述金属互连迹线的所述第三边缘，且所述光学金属迹线的所述第二边缘与所述金属互连迹线的所述第四边缘间隔开。


5.根据权利要求3所述的装置，其中所述光学金属迹线的所述第一边缘与所述金属互连迹线的所述第三边缘间隔开。


6.根据权利要求3所述的装置，其中所述光学金属迹线的所述第一边缘及所述第二边缘与所述金属互连迹线的所述第三边缘及所述第四边缘间隔开。


7.根据权利要求3所述的装置，其中所述光学金属迹线的所述第一边缘耦合至所述金属互连迹线，且所述光学金属迹线的所述第二边缘与所述金属互连迹线间隔开。


8.根据权利要求3所述的装置，其中所述金属互连迹线的所述第三边缘耦合至所述光学金属迹线，且所述金属互连迹线的所述第四边缘与所述光学金属迹线间隔开。


9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二层包含第二多个金属部分，所述第二多个金属部分包含光学金属迹线的第一金属部分及金属互连迹线的第二金属部分。


10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层包含第一光学金属迹线且所述第二层包含第二光学金属迹线。


11.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层包含第一金属互连迹线且所述第二层包含第二金属互连迹线。


12.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一层的第一周边围绕所述通道的所述轴线连续地延伸，且所述第二层的第二周边围绕所述通道的所述轴线连续地延伸。


13.根据权利要求12所述的装置，其中所述第一周边等于所述第二周边。


14.根据权利要求1所述的装置，其中所述第二层与所述第一层间隔开大于0.0微米且小于或等于大约0.5微米的距离。


15.根据权利要求1所述的装置，其中所述组合金属互连层包含在所述第一传感器部分内的第一金属互连层及在所述第二传感器部分内的第二金属互连层。


16.根据权利要求15所述的装置，其中所述光管包含：第一光管，其包含由所述第一金属互连层内的第一多个层形成的第一通道；及第二光管，其包含由所述第二金属互连层内的第二多个层形成的第二通道。

<...

【专利技术属性】
技术研发人员：马建，BC·谢，S·R·戈马，
申请(专利权)人：高通股份有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US