一种MEMS麦克风制造技术

本实用新型专利技术公开了一种MEMS麦克风，包括基板、壳体、MEMS芯片、防尘构件和防水构件，所述壳体与所述基板连接形成空腔；所述MEMS芯片置于所述空腔内并与所述基板连接；所述基板上与MEMS芯片相对的位置设置有贯穿基板的声孔；所述防尘构件和防水构件设置于所述声孔至MEMS芯片的声音通道上。由于MEMS麦克风体积小、部件精度高，所以需要很高的防尘和防水要求，而将防尘构件和防水构件一同设置于MEMS麦克风内部可以在不增加MEMS麦克风的整体尺寸的条件下，起到防尘和防水的双重功能。

A MEMS microphone

【技术实现步骤摘要】
一种MEMS麦克风
本技术涉及微纳电声转换装置领域，具体地，本技术涉及一种MEMS麦克风。
技术介绍
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem，微机电系统)麦克风是一种用微机械加工技术制作的电能换声器，具有体积小、品相特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小型化、薄型化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到各种各样的电子设备上。传统的MEMS麦克风由于其体积小、制作精度高，对防尘防水的要求非常高，而一般的防尘防水操作都是在声孔外部的位置增加复杂而且重量较高的构件，这样就会使整个MEMS麦克风的整体高度增加，不利于现代工业对电子产品轻薄化的发展要求。
技术实现思路
本技术的一个目的是提供一种MEMS麦克风，该MEMS麦克风具有防尘和防水的双重功能，而且防尘和防水结构小，重量轻。根据本技术的第一方面，提供了一种MEMS麦克风，包括：基板；壳体，所述壳体盖设在所述基板上，所述壳体与所述基板形成空腔；MEMS芯片，所述MEMS芯片置于所述空腔内并与所述基板连接；声孔，所述声孔设置于所述基板上与所述MEMS芯片相对的位置；防尘构件和防水构件，所述防尘构件和所述防水构件设置于所述声孔至所述MEMS芯片的声音通道上；所述防尘构件被配置为防止异物从所述声孔进入所述MEMS芯片内；所述防水构件被配置为防止液体进入所述MEMS芯片内。优选地，所述基板上设置有用于支撑MEMS芯片的支撑部；所述支撑部包括顶面和与顶面两端连接的侧壁。优选地，所述MEMS芯片具有背腔，所述支撑部的顶面在与所述背腔相对的位置设置有贯通的第一通孔，所述第一通孔被配置为使所述背腔与所述声孔连通。优选地，所述第一通孔的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第一通孔内切圆的直径范围为6-15μm。优选地，所述防尘构件包括第一防尘网和第二防尘网；所述第一防尘网设置于基板上远离空腔的一侧，所述第一防尘网上与声孔对应位置设置有多个贯通的第二通孔；所述第二防尘网与所述支撑部的两端侧壁连接，所述第二防尘网上设置有多个贯通的第三通孔。优选地，所述第一防尘网的厚度范围为30-80μm，所述第二通孔的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第二通孔内切圆的直径范围为5-10μm。优选地，所述第二防尘网的厚度范围为20-50μm，所述第三通孔的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第三通孔内切圆的直径范围为2-6μm。优选地，所述防水构件设置于所述第二防尘网与所述支撑部的顶面之间。优选地，所述防水构件包括防水膜和设置在所述防水膜边缘的固定部，所述固定部与所述支撑部的两端侧壁连接；所述防水膜为PI膜和PTFE膜中的一种或两种的组合，所述PI膜的厚度范围为15-30μm，所述PI膜的孔径范围为0.05-0.5μm；所述PTFE膜的厚度范围为20-30μm，所述PTFE膜的孔径范围为0.05-0.5μm。优选地，所述基板上与支撑部连接的位置设置有凹槽，所述凹槽的深度范围为50-120μm。本技术的技术效果在于，通过在MEMS麦克风内部设置具有防尘和防水双重功能构件，在不增加MEMS麦克风整体结构的基础上，达到了防尘和防水的效果，保证了MEMS麦克风结构小，重量轻的特点。通过以下参照附图对本技术的示例性实施例的详细描述，本技术的其它特征及其优点将会变得清楚。附图说明被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本技术的实施例，并且连同其说明一起用于解释本技术的原理。图1为本技术MEMS麦克风的结构示意图；图2为本技术一种第一防尘网的第一通孔结构示意图；图3为本技术一种第二防尘网的结构示意图；图4为本技术一种支撑部的结构示意图。其中：1-基板；2-壳体；3-MEMS芯片；4-ASIC芯片；5-空腔；6-声孔；7-支撑部；8-第一通孔；9-背腔；10-金线；11-第一防尘网；12-第二防尘网；13-第二通孔；14-第三通孔；15-防水膜；16-固定部；17-凹槽。具体实施方式现在将参照附图来详细描述本技术的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本技术的范围。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本技术及其应用或使用的任何限制。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。参照图1，本技术公开了一种MEMS麦克风，包括基板1、壳体2、MEMS芯片3、防尘构件和防水构件，所述基板1用于支撑整个MEMS麦克风；所述壳体2盖设在所述基板1上，所述壳体2与所述基板1连接形成空腔5；所述MEMS芯片3置于所述空腔5内并与所述基板1连接；所述基板1上与MEMS芯片3相对的位置设置有贯穿基板1的声孔6；所述防尘构件和防水构件设置于所述声孔6至MEMS芯片3的声音通道上；所述防尘构件被配置为在外部声音传入所述MEMS芯片3的过程中防止异物从所述声孔6进入到所述MEMS芯片3内；所述防水构件被配置为在外部声音传入所述MEMS芯片3的过程中防止液体进入所述MEMS芯片3内。由于MEMS麦克风体积小、部件精度高，所以需要很高的防尘和防水要求，而将防尘构件和防水构件一同设置于MEMS麦克风内部可以在不增加MEMS麦克风的整体尺寸的条件下，起到防尘和防水的双重功能。在本技术一种可能的实施方式中，所述基板1和MEMS芯片3之间设置有用于支撑MEMS芯片3的支撑部7，所述支撑部7可以为倒U形，包括顶面和与顶面两端连接的侧壁。所述支撑部7可以起到支撑MEMS芯片3和设置所述防尘构件和防水构件的作用，便于防尘构件和防水构件分开布置并间隔一定距离，这样就可以分别发挥防尘构件和防水构件的防护作用。进一步地，本实施方式所述MEMS芯片3具有背腔9。参见图4，所述支撑部7的顶面在与所述背腔9相对的位置设置有多个贯穿其上下的第一通孔8，多个第一通孔8之间可以相互隔开，也可以相互连通，所述第一通孔8的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第一通孔8内切圆的直径范围为6-15μm。所述支撑部7上的第一通孔8被配置为使外部的声音通过声孔6快速传入MEMS芯片3的背腔9内。具体本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：/n基板(1)；/n壳体(2)，所述壳体(2)盖设在所述基板(1)上，所述壳体(2)与所述基板(1)形成空腔(5)；/nMEMS芯片(3)，所述MEMS芯片(3)置于所述空腔(5)内并与所述基板(1)连接；/n声孔(6)，所述声孔(6)设置于所述基板(1)上与所述MEMS芯片(3)相对的位置；/n防尘构件和防水构件，所述防尘构件和所述防水构件设置于所述声孔(6)至所述MEMS芯片(3)的声音通道上；/n所述防尘构件被配置为防止异物从所述声孔(6)进入所述MEMS芯片(3)内；/n所述防水构件被配置为防止液体进入所述MEMS芯片(3)内。/n

【技术特征摘要】
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括：
基板(1)；
壳体(2)，所述壳体(2)盖设在所述基板(1)上，所述壳体(2)与所述基板(1)形成空腔(5)；
MEMS芯片(3)，所述MEMS芯片(3)置于所述空腔(5)内并与所述基板(1)连接；
声孔(6)，所述声孔(6)设置于所述基板(1)上与所述MEMS芯片(3)相对的位置；
防尘构件和防水构件，所述防尘构件和所述防水构件设置于所述声孔(6)至所述MEMS芯片(3)的声音通道上；
所述防尘构件被配置为防止异物从所述声孔(6)进入所述MEMS芯片(3)内；
所述防水构件被配置为防止液体进入所述MEMS芯片(3)内。


2.根据权利要求1所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述基板(1)上设置有用于支撑MEMS芯片(3)的支撑部(7)；
所述支撑部(7)包括顶面和与顶面两端连接的侧壁。


3.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS芯片(3)具有背腔(9)，所述支撑部(7)的顶面在与所述背腔(9)相对的位置设置有贯通的第一通孔(8)，所述第一通孔(8)被配置为使所述背腔(9)与所述声孔(6)连通。


4.根据权利要求3所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述第一通孔(8)的形状为圆形、正方形、长方形、六边形中的一种或一种以上的组合，所述第一通孔(8)内切圆的直径范围为6-15μm。


5.根据权利要求2所述的一种MEMS麦克风，其特征在于，所述防尘构件包括第一防尘网(11)和第二防尘网(12)；
所述第一防尘网(11)设置于基板(1)上远离空腔(5)的一侧，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙宁杨，
申请(专利权)人：歌尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37